- •Введение
- •Назначение программы
- •Условия применения и выполнения программы
- •Запуск программы
- •5 . Общие правила экранного диалога
- •6. Команды оператора при работе на установке
- •6.1. Общие положения
- •6.2. Настройка параметров установки
- •6.2.1. Предельный уровень высоковакуумной откачки камеры.
- •6.2.2. Угол поворота подложкодержателя от исходного датчика до позиции переукладки.
- •6.2.3. Включать нагрев?
- •6.2.4. Текущая скорость вращения.
- •6.2.5. Минимальная скорость вращения.
- •6.3. Ввод параметров
- •6.3.1. Ввод параметров (вручную)
- •6.3.2. Чтение из библиотеки программ
- •6.3.3. Запись в библиотеку программ
- •6.4. Автоматические режимы
- •6.4.1. Рабочий цикл.
- •6.4.2. Аварийное отключение.
- •6.4.3. Сброс.
- •6.5. Наладочные режимы
- •6.5.1. Управление элементами газо-вакуумной системы (по мнемосхеме).
- •6 .5.2. Откачной пост.
- •6.5.3. Резистивный испаритель.
- •6.5.4. Заслонка.
- •6.5.5. Вращение пластины.
- •7. Формат.
- •7.1. Дискретные входы
- •7.2. Дискретные выходы
- •7.3. Аналоговые входы
- •7.4. Аналоговые выходы
- •8. Статистика
- •9. Архив статистики
6.5.5. Вращение пластины.
Для включения вращения пластины необходимо:
с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска режима «Вращение» пластины и щелкнуть левой кнопкой мыши;
на экране появится окно с клавишами «Да», «Нет»;
с помощью мыши подвести курсор к клавише «Да» и щелкнуть левой кнопкой мыши.
Начнется вращение пластины, клавиша запуска режима «Вращение» изменит цвет с зеленого на белый.
Для останова вращения необходимо нажать клавишу «Стоп механизмов».
7. Формат.
Меню «Формат» содержит дискретные и аналоговые входные и выходные сигналы. Данный режим необходим для наладки установки. Для вывода на экран данной страницы необходимо:
войти в меню «Формат» страницы «Наладка»;
на экране появится страница экранного меню (см. рис. 25);
В левой части страницы отображены дискретные сигналы, в правой -аналоговые сигналы.
Р ис. 25.
7.1. Дискретные входы
Таблица дискретных входных сигналов расположена в левой верхней части экрана (см. рис. 25). В ней отображены:
название платы контроллера, на которую заведены данные входные сигналы (например, ISO-P32C32);
название дискретного входного сигнала (например, "Есть охлаждение поз. РИ");
номер разряда регистра платы (например, DI-0);
наличие входного сигнала - галочка в квадрате напротив названия дискретного входного сигнала.
Чтобы просмотреть все дискретные входные сигналы, надо пролистать все страницы "Дискретные входы", для чего:
подвести курсор к клавише с номером страницы (1,2) и щелкнуть левой кнопкой мыши;
появится соответствующая страница входных дискретных сигналов.
7.2. Дискретные выходы
Таблица дискретных выходных сигналов расположена в левой нижней части экрана (см. рис. 25). В ней отображены:
название платы контроллера, на которую заведены данные выходные сигналы (например, ISO-P32C32);
название дискретного выходного сигнала (например, «Включить враще-ние пластины»)
номер разряда регистра платы (например, DO-0);
наличие выходного сигнала – галочка в квадрате напротив названия дискретного выходного сигнала;
клавиша включения/отключения выходного дискретного сигнала.
Чтобы просмотреть все дискретные выходные сигналы, надо пролистать все страницы "Дискретные выходы", для чего:
- подвести курсор к клавише с номером страницы (1,2) и щелкнуть левой кнопкой мыши;
- появится соответствующая страница выходных дискретных сигналов.
Для того, чтобы подать (снять) выходной дискретный сигнал, необходимо:
листая страницы "Дискретные выходы", найти страницу с нужным выходным сигналом;
с помощью мыши подвести курсор к клавише включения/отключения данного выходного дискретного сигнала и щелкнуть левой кнопкой мыши;
при подаче выходного сигнала появится галочка в соответствующем квадрате, при снятии - пропадет.
7.3. Аналоговые входы
Таблица аналоговых входных сигналов расположена в правой верхней части экрана (см. рис. 25). В ней отображены:
название платы контроллера, на которую заведены данные аналоговые входные сигналы (ISO-813);
название аналогового входного сигнала (например, «Давление воды на вхо-де установки);
диапазон изменения входного сигнала (0...10В);
код входного аналогового сигнала:
Dec - в десятичной системе счисления;
величина аналогового сигнала в вольтах (Uв);
линейный индикатор входного аналогового сигнала (линия лимонного цвета пропорциональна входному сигналу).