05 семестр / Лабораторные работы / лаба 1 / lr1_vakuum / Лаба №1_ЭР-1-06

Московский Энергетический Институт (ТУ)

КАФЕДРА

ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ

Лаборатория

Основы вакуумной техники

Лабораторная работа №1

“Высоковакуумная установка и основные приемы работы на ней”

Выполнил:

студент группы

Принял:

преподаватель

Москва, 2008 г.

Цель работы:

Ознакомление с основными элементами вакуумной системы и приемами работы на ней.

Задание:

Определить объем вакуумной системы установки.

ПЛАН ВЫПОЛНЕНИЯ

1. Откачать систему насосом предварительного разрежения.

2. Определить предельное разрежение, создаваемое насосом предварительного разрежения.

3. Откачать систему насосом высокого вакуума.

4. Определить предельное разрежение, создаваемое насосом высокого вакуума.

5. Проверить герметичность.

6. Определить объем системы с помощью дозировального устройства.

Схема установки

PL – компрессорный манометр; CV – баллоны; VF – краны;

CV 1 – уравнительный баллон; BL – ловушки;

PT – манометрические преобразователи, термопарные;

NL – насос предварительного разрежения; ND – насос высокого вакуума;

PA – манометрические преобразователи, ионизационные;

Параметры установки:

U_нвв=220 В; газ – аргон;

I т/пары=136 мА;

С=5,5×10^-6; V=2 л;

V1=1,4 см³; V2=650 см³;

V3=1,65 см³; V4=2500 см³;

Пропускная способность трубопровода для циркуляции 90 см³/с. Формула расчета давления в системе с помощью компрессионного манометра: P=C*H², где H – разность уровней масла в манометре.

Экспериментальные данные

1.Определение предельного разрежения, создаваемое НПР.

h,мм	30	30	30
p, мм.рт.ст.

2.Определение предельного разрежения, создаваемое НВВ.

h,мм	2	2	2
p, мм.рт.ст.

3.Проверка герметичности системы:

t, мин	1	5	10	15
h,мм	2	2	2	2

Проверка герметичности системы показала, что за время опыта система осталась герметична, т. к. давление не изменилось.

4.Определение объема системы с помощью дозировального устройства. Расчет «цены порции»:

- «цена порции» =760 мм.рт.ст.

мм.рт.ст. см³

Объем системы ;

	До впускания воздуха	После 1 порции = Q	После 2 порции = 2Q
h, мм	2	10	13
p, мм.рт.ст.

см³ =5.1 л;

см³=14.2 л;

л.

Вывод:

В результате проделанной лабораторной работы мы ознакомились с основными элементами вакуумной системы и приемами работы на ней, в частности: работали со стеклянным поворотным компрессионным манометром и определили объем вакуумной системы установки с помощью дозировальной системы, напуская порции газа Q (воздуха) в систему по закону Бойля-Мариотта ().

Также мы экспериментально определили предельное разрежение, создаваемое насосом предварительного разряжения, p= мм.рт.ст., и предельное разрежение, создаваемое высоковакуумным насосом, p= мм.рт.ст.