3.3 Оценка результатов испытаний

3.3.1 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа

Вычисляется по результатам сканирования меры TDG01.

Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа тх, нм/пиксель, вдоль направления сканирования вычисляют по формуле

где а - значение проекции наклонной стенки выступа, приведенное в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;

SR - значение проекции наклонной стенки рельефной меры, измеренное по видеопрофилю, пиксель.

Примечание - При вычислении масштабного коэффициента видеоизображения используют значение проекции наклонной стенки SR, соответствующее движению сканера от вершины выступа к дну канавки. Это значение при выполнении условия перпендикулярности плоскости наклона зонда и его перемещения не зависит от угла наклона зонда микроскопа.

Абсолютная погрешность измерений должна быть не более

3.3.2 Вычисление цены деления вертикальной шкалы микроскопа

Вычисляется по результатам сканирования меры TDG01.

Цену деления вертикальной шкалы микроскопа mz, нм/пиксель, вычисляют по формуле

где h - высота выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;

Н - высота выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель.

Абсолютная погрешность измерений должна быть не более

3.3.3 Вычисление относительного отклонения Z-сканера микроскопа от ортогональности

Вычисляется по результатам сканирования меры TDG01.

Если значение SL не равно SR в пределах заданной точности измерений, то относительное отклонение Z-сканера микроскопа от ортогональности по отношению к направлению сканирования Zx (безразмерная величина) вычисляют по формуле

где тх - масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, вычисленный по 9.1, нм/пиксель;

SL, SR - проекции наклонных стенок рельефной меры в направлении слева направо, пиксели;

Н - высота выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель;

mz - цена деления вертикальной шкалы микроскопа, вычисленная по 9.3, нм/пиксель.

Относительная погрешность измерений должна быть не более

3.3.4 Вычисление эффективного радиуса острия зонда микроскопа

Вычисляется по результатам сканирования меры TDG01.

Эффективный радиус острия зонда микроскопа r, нм, вычисляют по формуле

r = 0,966(m_xB_p – b_p) (4)

где тх - масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, вычисленный по 9.1, нм/пиксель;

Вр - ширина нижнего основания, измеренная по видеопрофилю, пиксель;

bр - ширина нижнего основания выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм.

Относительная погрешность измерений должна быть не более

3.3.5 Проверка точности измерений.

Вычисляется по результатам сканирования обоих мер.

По записанным видеопрофилям измеряют высоты H десяти элементов рельефной меры TGZ1 (для проверки точности измерений по оси Z) и десять периодов Т рельефной меры TDG01 (для проверки точности измерений по оси Х). Высчитываются средние арифметические значения результатов измерений. Погрешность не должна превышать +/- 10 нм.