- •Разработка методики испытаний с целью подтверждения типа микроскопа сканирующего зондового атомно-силового.
- •Содержание
- •Введение
- •Порядок проведения испытаний с целью подтверждения типа средства измерения:
- •Цель и задачи курсовой работы
- •1 Описание объекта испытаний, его назначение, область применения, условия эксплуатации
- •Конструкция и принцип действия атомно-силового микроскопа
- •1.2 Техническая характеристика
- •2 Требования, предъявляемые к атомно-силовым микроскопам
- •Разработка методики испытаний в целях утверждения типа
- •Условия проведения испытаний
- •Испытательное оборудование
- •3.1 Подготовка к испытаниям
- •3.2 Проведение испытаний
- •3.3 Оценка результатов испытаний
- •4 Расчет межповерочного интервала для микроскопов сканирующих зондовых атомно-силовых solver pro47h.
- •Заключение
- •Список использованных источников
- •Приложение а
- •Приложение б
- •Предисловие
- •Содержание
- •1 Область применения
- •2 Нормативные ссылки
- •3 Термины и определения
- •4 Операции и средства поверки
- •5 Требования к квалификации поверителей
- •6 Требования безопасности
- •7 Условия поверки и подготовка к ней
- •8 Проведение поверки
- •8.1 Внешний осмотр
- •8.2 Опробование
- •8.3 Определение метрологических характеристик
- •8.4 Оформление протокола поверки
- •9 Обработка результатов измерений
- •9.1 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа
- •9.2 Вычисление эффективного радиуса острия зонда микроскопа
- •9.3 Вычисление цены деления вертикальной шкалы микроскопа
- •9.4 Вычисление относительного отклонения z-сканера микроскопа от ортогональности
- •9.5 Погрешности измерений
- •10 Оформление результатов поверки
1.2 Техническая характеристика
|
Измеряемые параметры |
геометрические параметры топографии поверхности сила воздействия зонда на поверхность исследуемого образца в отдельных точках
|
|
Точность измерения, нм |
±10 |
|
Область сканирования, мкм |
50х50х2,5 |
|
Размер образца в нормальных условиях максимальный, мм |
100х20 |
|
Минимальный шаг сканирования(ЦАП), нм |
0,006 |
|
Диапазон измеряемых токов в режиме СТМ |
30 пA – 50 нA |
2 Требования, предъявляемые к атомно-силовым микроскопам
|
Требование |
Обозначение, наимено-вание нормативного документа, номер раз-дела, пункта, где эти требования устанав-ливаются |
Обозначение, наименование нормативного документа, номер раздела, пункта на испытания |
|
Суммарная стандартная неопределенность измерения масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа тх |
ГОСТ Р 8.635-2007, п. 4.1.1 |
ГОСТ 8.593-2009, п. 9.1 |
|
Суммарная стандартная неопределенность измерения цены деления вертикальной шкалы микроскопа mz |
ГОСТ Р 8.635-2007, п. 4.1.2 |
ГОСТ 8.593-2009, п. 9.3 |
|
Суммарная стандартная неопределенность измерения эффективного радиуса острия зонда микроскопа r |
ГОСТ Р 8.635-2007, п. 4.1.3 |
ГОСТ 8.593-2009, п. 9.2 |
|
Суммарная стандартная неопределенность измерения относительного отклонения Z-сканера микроскопа от ортогональности Zx |
ГОСТ Р 8.635-2007, п. 4.1.4 |
ГОСТ 8.593-2009, п. 9.4 |
|
Требования к рельефным мерам нанометрового диапазона |
ГОСТ Р 8.635-2007, п. 4.2.1 |
ГОСТ 8.591-2009 |
-
Разработка методики испытаний в целях утверждения типа
В данной работе мною был разработан порядок утверждения типа атомно-силового микроскопа.
Испытания состоят из определения цены деления по X-, Y-, Z координатам, радиуса острия кантилевера, проверки ортогональности и линейности сканирования по всем осям.
Условия проведения испытаний
Испытание следует проводить при нормальных условиях или близких к ним:
- температура окружающей среды.................. (20 ± 3) °С;
- относительная влажность воздуха................ не более 80 %;
- атмосферное давление................................... (100 ± 4) кПа;
- напряжение питающей сети.......................... (220 ± 22) В;
- частота питающей сети.................................. (50,0 ± 0,4) Гц.
Помещение (зона), в котором размещают микроскоп и средства его
поверки, должно быть в эксплуатируемом состоянии и обеспечивать класс
чистоты не более класса 8 ИСО по взвешенным в воздухе частицам с
размерами 0,5 и 5 мкм и концентрациями, определенными по ГОСТ ИСО
14644-1.