Коэффициенты диффузии d [см2/с] основных легирующих примесей в расплавах германия и кремния при температуре плавления

Примесный элемент

Германий

Кремний

Бор

3^.10^–4

2,4^.10^–4

Алюминий

–

8,5^.10^–5

Галлий

7,0^.10^–5

1,0^.10^–4

Индий

1,0^.10^–4

–

Фосфор

5,0^.10^–5

2,0^.10^–4

Мышьяк

1,26^.10^–4

2,4^.10^-4

Сурьма

5,5^.10^–5

1,5^.10^–4

п-тип

р-тип

ρ,

Ом^.см

п,

_см^–3

ρ,

Ом^.см

п,

см^–3

ρ,

Ом^.см

р,

см^–3

ρ,

Ом^.см

p,

см^–3

0,003

2,41^.10¹⁹

7,2

6,71^.10¹⁴

0,005

2,08^.10¹⁹

7.0

1,85^.10¹⁵

0,005

1,27^.10¹⁹

7,4

6,52^.10¹⁴

0,008

1,17^.10¹⁹

7,2

1,79^.10¹⁵

0,010

4,76^.10¹⁸

7,6

6,35^.10¹⁴

0,009

1,01^.10¹⁹

7,4

1,75^.10¹⁵

0,020

1,51^.10¹⁸

7,8

6,18^.10¹⁴

0,010

8,84^.10¹⁸

7,6

1,70^.10¹⁵

0,030

7,22^.10¹⁷

8,0

6,02^.10¹⁴

0,020

3,35^.10¹⁸

7,8

1,66^.10¹⁵

0,040

4,25^.10¹⁷

8,2

5,87^.10¹⁴

0,030

1,78^.10¹⁸

8,0

1,61^.10¹⁵

0,050

2,85^.10¹⁷

8,4

5,73^.10¹⁴

0,040

1,11^.10¹⁸

8,2

1,57^.10¹⁵

0,060

2,08^.10¹⁷

8,6

5,59^.10¹⁴

0,050

7,76^.10¹⁷

8,4

1,53^.10¹⁵

0.070

1,61^.10¹⁷

8,8

5,47^.10¹⁴

0,060

5,67^.10¹⁷

8,6

1,49^.10¹⁵

0,080

1,29^.10¹⁷

9,0

5,34^.10¹⁴

0,070

4,41^.10¹⁷

8,8

1,43^.10¹⁵