3.2. Проведение исследований.

3.2.1. Пластину БИС положите рабочей стороной на предметный столик 29 (см. рис.2.2.в) Включите осветитель 28.

Установку исследуемого участка измеряемой поверхности по отношению к объективу 6 (см. рис.2.2.а) можно выполнять либо перемещением делали на столике 29, либо сообщением тому же столику продольного и поперечного перемещений посредством микрометрических отсчетных устройств 19. Перекройте пучок лучей, идущий к объективу 10 (см. рис.2.2), с помощью головки 22, повернув ее по часовой стрелке до упора. С помощью микрометрической головки 23, управляющей вертикальным перемещением всей оптической системы, сфокусируйте объект, т.е. получите резкое изображение объекта в поле зрения окулярного микрометра, надетого на тубус 26. Внимание! Перемещение головки нужно осуществлять в очень небольших пределах. Необходимое освещение и глубину резкости изображения регулируют с помощью апертурной диафрагмы 30. После этого поворотом головки 22 включите горизонтальную ветвь прибора и получите изображение исследуемой поверхности и системы интерференционных полос на ней. Поворотом головки 21 вокруг своей оси и поворотом головки 21 вокруг оси механизма 20 расположите полосы нужной Вам ширины перпендикулярно структурам объекта.

3.2.2. Проведите измерение параметров максимальной глубины рельефа объекта в 3-4 точках, вычислите значение глубины, результаты занесите в табл.1 . Зарисуйте вид интерференционных полос.

Табл.1 .

Объект	Вид интерференционной картины	Номер измерения	А	В	h

Установите любой из светофильтров (расположены перед апертурной диафрагмой) и сравните интерференционные картины объекта при белом и монохроматическом свете.

3.2.3.Переверните исследуемый объект (положите его обратной стороной к объективу), сфокусируйте на систему интерференционных полос и зарисуйте их.

3.2.4. Установите на столик вместо образца №1 образец №2 обратной стороной пластины и сфокусируйте изображение. Зарисуйте вид интерференционных полос на химически обработанном кремнии и сравните их с видом полированного кремния.

3.2.5..Установите образец №3 и повторите п.3.2.1., 3.2.2.

5. Вопросы к лабораторной работе.

1. Что такое явление интерференции?

2. Рассмотрите явление интерференции на двойной щели.

3. Изобразите схему интерферометра Майкельсона.

4. Какому условию должны отвечать источники света для получения интерференционной картины?

5. Что такое разность фаз и как она связана с разностью хода.

6. Совпадает ли оптическая длина пути с геометрической?

7. От чего зависит ширина интерференционных полос.

8. Назначение светофильтров в интерференционных приборах.

9. Назначение компенсационной пластины, установленной в ветви сравнения.

10. Какие последствия негативного характера влечет за собой неравенство ветвей интерферометра.

11. Как можно изменить ширину интерференционных полос?