Автоматизированные получения управляющих программ

Предполагает решение задач разработке алгоритмов:

1. покрытие области экспонирования элементарными функциями

2. оптимизации времени работы микрофотонаборной установки

Топологический чертеж интегральной схемы представляет собой совокупность плоских многоугольных областей значительная част отрезков границ областей параллельно осям координат, число прямоугольников покрытия экспонируемых областей фотошаблона – важный фактор для создания управляющих программ. Лучшим считается покрытие слоем топологии состоящее из меньшего числа прямоугольников, т.к. при этом минимизируется время работы микрофотонаборной становк.

Для решения этой задачи меется 2^а подхода :

1 подход: плоские прямоугольные фигуры топологи разбиваются на прямоугольники, при этом используется алгоритм основанный на векторном представлении прямоугольных областей топологии стороны которых параллельно осям координат

Разбиение области топологии Векторное описание Разбиение на прямоугольники

интегральных схем топологии

Вектора описываются математически на вход микрофотонаборной установки поступают прямоугольники в виде кадров

2 подход: произвольной области топологии покрываются прямоугольниками, при этом используется 2^а алгоритма:

1. исходная обл. разбивается на трапеции, которая затем покрывается прямоугольниками

рис. Разбиение области топологии на

прямоугольники с помощью трапеции

2. произвольная обл. покрывается двумя множествами прямоугольников:

а) наклонных, прилегающих к наклонным отрезкам границы области

Этот способ более экономичен с точки зрения программной реализации,

т.к. содержит меньший объем информации, достаточный для формирования изображений, однако менее точен

б) параллельных координатным осям и вписанных в исходную область

Способ применяется в том случае, если изображение нельзя разбить

на трапеции, является менее экономичным с точки зрения программной реализации, но универсальным с точки зрения формы изображения.

Информация о прямоугольниках преобразуется в управляющую программу для микрофотонаборной установки, последовательность эксплуанирования прямоугольников в управляющей программе может быть различной в зависимости от чего меняется время работы установки, поэтому необходимо выбрать оптимальную последовательность эксплуанируемых прямоугольников. При эксплуанировании некоторого прямоугольника состояние установки характеризуется след. параметрами:

- положением координатного стола по осям х и у

- углом поворота платформы

-размером диафрагмы по оси х и у

При переходе от одно прямоугольника к другому эти параметры изменяются независимо друг о дуга, поэтому время перехода установки из состояния i в j рассчитывается

Тij=max(t1,t2,t3,t4,t5),

где t1-t5 –время изменения соответствующих параметров

Общее время работы микрофотонаборной установки

N – количество прямоугольников, Тэ – время экспанирования одного прямоугольника