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364 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

Ȑ ȘȜțȠȎȘȠȜȜȏȞȎȕȡȬȧȖȣ ȝȎȞȎȣ, ȖȢȎȘȠȜȞȎȣ, ȐșȖȭȬȧȖȣțȎ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȜȓ ȟȜȟȠȜȭțȖȓ ȝȞȜȒȡȘȠȜȐ ȞȓȎȘȤȖȖ, ȜȠȚȓȠȖȚ, șȖȦȪ ȜȏȧȖȓ ȕȎȘȜțȜȚȓȞțȜȟȠȖ, ȜȝȞȓȒȓșȭȬȧȖȓ ȚȓȣȎțȖȕȚȩ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȝȓȞȓȣȜȒțȩȣ ȟșȜȓȐ ǸǺǽ:

x ȝȞȖ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȖ ȟșȜȓȐ ȚȓȠȎșșȎ ȟ ȏȖțȎȞțȩȚ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȚ ȜȏȞȎȕȡȬȠȟȭ Ȑ ȜȟțȜȐțȜȚ ȢȎȕȩ ȟ ȝȎȞȎȚȓȠȞȎȚȖ, ȏșȖȕȘȖȚȖ Ș ȝȎȞȎȚȓȠȞȎȚ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȧȖȣ ȢȎȕ țȎ ȒȖȎȑȞȎȚȚȎȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȭ ȒȐȜȗțȩȣ ȟȖȟȠȓȚ;

x ȝȓȞȓȣȜȒțȩȓȟșȜȖȚȜȑȡȠȖȚȓȠȪȐȟȐȜȓȚȟȜȟȠȎȐȓțȓȟȘȜșȪȘȜȢȎȕ, ȐȘșȬȥȎȭ Ȗ ȠȐȓȞȒȩȓ ȞȎȟȠȐȜȞȩ ȕȎȚȓȧȓțȖȭ, ȐțȓȒȞȓțȖȭ, ȐȩȥȖȠȎțȖȭ; x țȎȞȭȒȡ ȟ ȒȐȡȣȘȜȚȝȜțȓțȠțȩȚȖ ȢȎȕȎȚȖ, Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȓ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȭ ȚȓȠȎșșȎ ȟ GaAs ȚȜȑȡȠ ȐȜȕțȖȘȎȠȪ Ȗ ȠȞȓȣȘȜȚȝȜțȓțȠțȩȓ

ȢȎȕȩ ȝȓȞȓȚȓțțȜȑȜ ȟȜȟȠȎȐȎ;

x ȝȞȜȒȡȘȠȩȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȭȚȜȑȡȠțȎȣȜȒȖȠȪȟȭȐȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȚ, ȝȜșȖȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȚ Ȗ ȎȚȜȞȢțȜȚ ȟȜȟȠȜȭțȖȭȣ;

x Ȑ ȞȭȒȓ ȟșȡȥȎȓȐ ȏȩșȜ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ, ȥȠȜ Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȓ ȠȐȓȞȒȜȢȎȕțȩȣ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȗ ȢȜȞȚȖȞȡȓȠȟȭ ȝȞȜȟȠȞȎțȟȠȐȓțțȎȭ ȟșȜȓȐȎȭ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎ, ȟȜȟȠȜȭȧȎȭ Ȗȕ ȢȎȕ ȞȎȕțȜȗ ȝȞȖȞȜȒȩ.

ǿȖȠȡȎȤȖȭ ȜȟșȜȔțȭȓȠȟȭ ȝȞȖ ȞȎȟȟȚȜȠȞȓțȖȖ ȚȓȔȢȎȕțȩȣ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȗ Ȑ ȞȓȎșȪțȩȣ ȘȜțȠȎȘȠȎȣ, Ƞ. ȓ. ȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ ȟ ȠȜțȘȖȚ ȝȞȜȚȓȔȡȠȜȥțȩȚ ȟșȜȓȚ ȟȜȏȟȠȐȓțțȜȑȜ ȜȘȟȖȒȎ. ǼȘȖȟșȖȠȓșȪțȩȓ ȝȞȜȤȓȟȟȩ ȝȞȖȐȜȒȭȠ Ș ȒȓȟȠȞȡȘȤȖȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ Ȗ ȡȟȖșȓțȖȬ ȚȓȔȢȎȕțȩȣȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȗȕȎȟȥȓȠȕțȎȥȖȠȓșȪțȜȑȜȝȞȜțȖȘțȜȐȓțȖȭ ȎȠȜȚȜȐ ȚȓȠȎșșȎ ȐȑșȡȏȪ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ.

ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȘȜțȠȎȘȠ Ǻǽ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȠȓȞȚȜȒȖțȎȚȖȥȓȟȘȖ țȓȞȎȐțȜȐȓȟțȜȗȑȓȠȓȞȜȑȓțțȜȗȟȖȟȠȓȚȜȗ, ȐȘșȬȥȎȬȧȓȗȐȟȐȜȗȟȜȟȠȎȐȝȓȞȓȣȜȒțȜȗȟșȜȗ, ȟȜȟȠȜȭȧȖȗȖȕțȓȟȘȜșȪȘȖȣȢȎȕ, ȖȚȓȬȧȖȣȞȎȕșȖȥțȡȬ ȢȖȕȖȘȜ-ȣȖȚȖȥȓȟȘȡȬ ȝȞȖȞȜȒȡ. Dzșȭ țȓȑȜ ȣȎȞȎȘȠȓȞțȜ țȎșȖȥȖȓ ȐțȡȠȞȓțțȖȣȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȓȗȞȎȕȒȓșȎȞȎȕțȜȞȜȒțȩȣȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ, ȑȞȎȒȖȓțȠȜȐ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȗ ȘȜȚȝȜțȓțȠ ȘȜțȠȎȘȠȖȞȡȬȧȖȣ ȝȎȞ, ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȣ Ȗ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȣ ȝȜșȓȗ.

ǿșȜȔțȜȟȠȪȖȚțȜȑȜȝȎȞȎȚȓȠȞȖȥțȜȟȠȪ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ, ȜȝȞȓȒȓșȭȬȧȖȣ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓ ǸǺǽ, țȎȦșȖ ȟȐȜȓ ȜȠȞȎȔȓțȖȓ Ȑ ȟȜȕȒȎțȖȖ ȤȓșȜȑȜ ȞȭȒȎ ȠȓȜȞȖȗ [3, 6–7], Ȑ ȘȜȠȜȞȩȣ ȝȞȓȒȝȞȖțȖȚȎșȖȟȪ ȏȜșȓȓ ȖșȖ Țȓțȓȓ ȡȒȎȥțȩȓ ȝȜȝȩȠȘȖ ȡȟȠȎțȜȐșȓțȖȭ ȐȕȎȖȚȜȟȐȭȕȖ ȫșȓȘȠȞȜȢȖȕȖȥȓȟȘȖȣ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȟ ȚȓȣȎțȖȕȚȎȚȖ Ȗȣ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ.

ǼȒțȎȘȜ ȒȓȠȎșȪțȩȓ ȚȓȣȎțȖȕȚȩ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȭ, ȐȜȕțȖȘȎȬȧȖȓ ȝȞȜȒȡȘȠȩ ȞȓȎȘȤȖȖ, Ȗȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȜȓ ȟȜȟȠȜȭțȖȓ Ȗ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ

Ȑ ǽǿ, ȐșȖȭțȖȓ țȎ ȫșȓȘȠȞȜțțȡȬ ȟȠȞȡȘȠȡȞȡ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ țȓ Ȗȕȡȥȓțȩ țȖ Ȓșȭ ȜȒțȜȗ ȘȜțȠȎȘȠțȜȗ ȟȖȟȠȓȚȩ Ȑ ȠȎȘȜȗ ȟȠȓȝȓțȖ, ȥȠȜȏȩ ȚȜȔțȜ ȏȩșȜȡȝȞȎȐșȭȠȪȫȠȖȚȖȝȞȜȤȓȟȟȎȚȖ, ȝȜȒȏȖȞȎȭȘȜțȠȎȘȠȜȜȏȞȎȕȡȬȧȖȓ ȝȎȞȩ, ȜȏȓȟȝȓȥȖȐȎȬȧȖȓ ȠȞȓȏȡȓȚȩȓ ȫșȓȘȠȞȜȢȖȕȖȥȓȟȘȖȓ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ

ȖȖȣ ȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȪ.

1.2.ǮȠȜȚțȎȭ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎ ȎȠȜȚȎȞțȜ-ȥȖȟȠȩȣ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȓȗ SiC

ǾȎȟȟȚȜȠȞȓțțȩȓ ȐȩȦȓ ȜȏȧȖȓ ȕȎȘȜțȜȚȓȞțȜȟȠȖ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ǺȂDZ ȚȓȠȎșș–ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘ ȚȜȑȡȠ ȖȚȓȠȪ ȚȓȟȠȜ Ȗ ȝȞȖ țȎțȓȟȓțȖȖ ȚȓȠȎșșȜȐ țȎ SiC.

ǻȎȥȎșȪțȩȚ ȫȠȎȝȜȚ, ȝȞȓȒȦȓȟȠȐȡȬȧȖȚ ȜȟȎȔȒȓțȖȬ ȚȓȠȎșșȎ țȎ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘ, ȭȐșȭȓȠȟȭ ȝȜȒȑȜȠȜȐȘȎ ȓȑȜ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ.

ǶȕȡȥȓțȖȬ ȟȐȜȗȟȠȐ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȓȗ SiC, ȝȜȒȐȓȞȑțȡȠȩȣ ȞȎȕșȖȥțȜȑȜ ȞȜȒȎȜȏȞȎȏȜȠȘȎȚ, ȝȜȟȐȭȧȓțȜȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȏȜșȪȦȜȓȘȜșȖȥȓȟȠȐȜȞȎȏȜȠ, ȜȏȜȏȧȓțțȩȓ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȘȜȠȜȞȩȣ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ Ȑ [11–15]. Ƕȕ țȖȣ ȟșȓȒȡȓȠ, ȥȠȜ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȎȭ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎ Ȗ ȫșȓȘȠȞȜțțȩȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȓȗ ȕȎȐȖȟȭȠ ȜȠ ȤȓșȜȑȜ ȞȭȒȎ ȢȖȕȖȥȓȟȘȖȣ ȢȎȘȠȜȞȜȐ: ȘȞȖȟȠȎșșȜȑȞȎȢȖȥȓȟȘȜȗ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȖ ȑȞȎțȓȗ, ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȓȗ ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȗ ȟȐȭȕȖ ȎȠȜȚȜȐ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, țȎșȖȥȖȭ ȥȡȔȓȞȜȒțȩȣ ȎȠȜȚȜȐ țȎ țȓȗ, ȟȝȜȟȜȏȜȐ ȓȓ ȝȜȒȑȜȠȜȐȘȖ Ȗ ȒȞ.

ǼȝȡȏșȖȘȜȐȎțțȩȓ ȞȎȏȜȠȩ Ȑ ȜȠȚȓȥȓțțȜȚ țȎȝȞȎȐșȓțȖȖ ȚȜȔțȜ ȞȎȕȒȓșȖȠȪ țȎ ȒȐȓ ȑȞȡȝȝȩ ȝȜ ȝȞȖȕțȎȘȡ ȝȜȒȑȜȠȜȐȘȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC. ǰȜȒțȡȑȞȡȝȝȡȐȣȜȒȭȠȞȎȏȜȠȩ, ȐȘȜȠȜȞȩȣȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȭȖȟȣȜȒțȜȗȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC țȎȒȓȔțȜ ȡȟȠȎțȜȐșȓțȎ, Ȏ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȎȭ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎ ȭȐșȭȓȠȟȭȡȝȜȞȭȒȜȥȓțțȜȗ. ǽȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȫȠȜȑȜȠȖȝȎȝȞȖȑȜȠȎȐșȖȐȎȬȠȟȭ

ȐȟȐȓȞȣȐȩȟȜȘȜȚ ȐȎȘȡȡȚȓ (ǿǰǰ). ǰȠȜȞȎȭ ȑȞȡȝȝȎ ȜȏȨȓȒȖțȭȓȠ ȞȎȏȜȠȩ,

ȐȘȜȠȜȞȩȣ ȖȟȟșȓȒȡȓȠȟȭ ȞȓȎșȪțȎȭ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ; ȠȎȘȖȓ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȟȜȒȓȞȔȎȠ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȜ ȞȎȕȡȝȜȞȭȒȜȥȓțțȩȓ ȟșȜȖ Ȗ ȕȎȑȞȭȕțȓțȖȭ. ǶȟȟșȓȒȜȐȎțȖȓ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȓȗ ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȓȗ ȝȓȞȐȜȗ ȑȞȡȝȝȩȐȎȔțȜȒșȭȝȜțȖȚȎțȖȭȚȓȣȎțȖȕȚȜȐȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭȟȠȞȡȘȠȡȞ ȚȓȠȎșș–ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘ. ǰȠȜȞȎȭ ȑȞȡȝȝȎ ȠȓȟțȜ ȟȐȭȕȎțȎ ȟ ȐȩȏȜȞȜȚ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȞȓȎșȪțȩȣ ǸǺǽ.

ǯȜșȪȦȖțȟȠȐȜȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗȟȠȞȡȘȠȡȞȩȎȠȜȚȎȞțȜ-ȥȖȟȠȩȣȑȞȎțȓȗ ȐȩȝȜșțȓțȩ țȎ (100) ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝșȓțȜȘ ȘȡȏȖȥȓȟȘȜȑȜ C-SiC [16–21].

ǯȩșȜȡȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜȎȠȜȚȎȞțȜ-ȥȖȟȠȩȓȑȞȎțȖ(100) C-SiC Ȑ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖȜȠȖȕȚȓțȓțȖȭȟȜȜȠțȜȦȓțȖȭSi/C (ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȖțȎȝȩșȓțȖȓ Si

368 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȟțȎȝȞȎȐșȓțȖȓȚ ȜȟȖȒȖȚȓȞȎ. DzșȭȜȏȨȭȟțȓțȖȭ ȞȓȘȜțȟȠȞȡȘȤȖȖ (3×2) ȏȩșȎȝȞȓȒșȜȔȓțȎȚȜȒȓșȪȒȓȢȓȘȠȜȐ[26]. ǸȎȔȒȩȗȠȞȓȠȖȗȞȭȒȎȒȎȠȜȚȜȐ Si țȎȒ Si-ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪȬ ȜȠȟȡȠȟȠȐȡȓȠ. ȋțȓȞȑȖȭ ȝȜțȖȔȎȓȠȟȭ ȝȞȖ ȒȖȚȓȞȖȕȎȤȖȖ ȎȒȎȠȜȚȜȐ Ȗ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȖ Q-ȟȐȭȕȓȗ ȚȓȔȒȡ ȎȠȜȚȎȚȖ Si ȐȠȜȞȜȑȜ ȟșȜȭ, ȟȜȟȓȒȟȠȐȡȬȧȖȚȖ ȟ ȞȭȒȎȚȖ ȐȎȘȎțȟȖȗ. ȋȠȜ ȒȎȓȠ ȐȜȕȚȜȔțȜȟȠȪ ȎȒȟȜȞȏȖȞȜȐȎțțȜȚȡ ȟșȜȬSi ȝȜȒȟȠȞȜȖȠȪȟȭ ȘțȖȔȓșȓȔȎȧȓȗ ȞȓȦȓȠȘȓ SiC.

ǼȠȔȖȑ(100) C-SiC ȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ, ȝȞȖȏșȖȔȎȬȧȖȣȟȭȘ1300°ǿ, ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȒȖȢȞȎȘȤȖȜțțȜȗ ȘȎȞȠȖțȓ (1×1) ȟ ȡȦȖȞȓțțȩȚȖ ȝȡȥȘȎȚȖ Ȗ ȐȩȟȜȘȜȗ ȖțȠȓțȟȖȐțȜȟȠȪȬ ȢȜțȎ, ȥȠȜ ȡȘȎȕȩȐȎȓȠ țȎ ȥȎȟȠȖȥțȜȓ ȞȎȕȡȝȜȞȭȒȜȥȓțȖȓ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ. ǰ ȞȎȏȜȠȓ [18] țȎȏșȬȒȎșȎȟȪ (1×1) ȘȎȞȠȖțȎ DzǺȋ ȝȜȟșȓ ȜȠȔȖȑȎ Si-ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜȑȜ Ȓșȭ ȠȜȑȜ, ȥȠȜȏȩ ȜȑȞȎțȖȥȖȠȪ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȜ ȎȒȟȜȞȏȖȞȜȐȎțțȜȑȜ ȡȑșȓȞȜȒȎ ȝȜșȜȐȖțȜȗ ȚȜțȜȟșȜȭ, Ƞ. ȓ. ȐȓșȖȥȖțȜȗ, ȝȞȜȚȓȔȡȠȜȥțȜȗ ȚȓȔȒȡ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȚȖ ȟȜȟȠȎȐȎȚȖ ȢȎȕ (2×1) Ȗ ȟ(2×2).

ǸȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȓ ȟȠȞȜȓțȖȓ ȒȞȡȑȖȣ ȑȞȎțȓȗ C-SiC, Ȏ ȠȎȘȔȓ B-SiC ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȜ Țȓțȓȓ ȝȜȒȞȜȏțȜ, Ȏ ȝȜșȡȥȓțțȩȓ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȭȐșȭȬȠȟȭ ȝȞȜȠȖȐȜȞȓȥȖȐȩȚȖ. ǺȓȠȜȒ DzǺȋ țȓ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȒȖȟȘȞȖȚȖțȖȞȜȐȎȠȪ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ C (111) Ȗ B-SiC (0001) Ȗȕ-ȕȎ ȝȜȒȜȏȖȭ Ȑ ȞȎȟȝȜșȜȔȓțȖȖ ȎȠȜȚȜȐ. DzȓȗȟȠȐȖȠȓșȪțȜ, Ȗȣ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȡȬ ȟȠȞȡȘȠȡȞȡ ȚȜȔțȜ ȝȞȓȒȟȠȎȐȖȠȪ ȘȎȘ ȟȜȟȠȜȭȧȡȬ Ȗȕ ȏȖȟșȜȓȐ, ȝȎȞȎșșȓșȪțȩȣ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, ȝȞȖȥȓȚ ȘȎȔȒȩȗ Ȗȕ ȎȠȜȚȜȐ Si Ȗ ƙ Ȑ ȝȞȜȠȖȐȜșȓȔȎȧȖȣ ȝșȜȟȘȜȟȠȭȣ ȜȏȞȎȕȡȓȠ ȠȞȖ ȟȐȭȕȖ, țȎȝȞȎȐșȓțțȩȓ Ȑ ȏȖȟșȜȗ, Ȗ ȜȒțȡ ȟȐȭȕȪ, ȜȞȖȓțȠȖȞȜȐȎțțȡȬ ȝȜ țȜȞȚȎșȖ Ș ȟșȜȬ.

ǰ [30] ȝȞȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȖ ȜȠȜȔȔȓțțȜȑȜ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 600°ǿ B-SiC ȏȩșȖ ȜȏțȎȞȡȔȓțȩ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȓ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ (3×3) Ȗ

( 3 × 3)R30D . Dzșȭ ƙ-ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ țȎȏșȬȒȎșȖȟȪ ȘȎȞȠȖțȩ DzǺȋ ȠȖȝȎ (1×1). ǼȒțȎȘȜ Ȑ ȞȭȒȓ ȟșȡȥȎȓȐ ȖȚȓșȖ ȚȓȟȠȜ ȘȎȞȠȖțȩ ȠȖȝȎ (2×2) Ȗ (3×3), Ȏ ȠȎȘȔȓ ( 3 × 3)R30D . DzȎțțȩȓ ȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜ

ȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȥțȜȟȠȖ ȟȜȟȠȎȐȎ ȎȠȜȚȎȞțȜ-ȥȖȟȠȩȣ ȑȞȎțȓȗ B-SiC ȐȓȟȪȚȎ ȝȞȜȠȖȐȜȞȓȥȖȐȩ.

ǰ[16] ȖȟȟșȓȒȜȐȎșȎȟȪȘȞȓȚțȖȓȐȎȭȑȞȎțȪC-SiC (111). ǽȜȟșȓȐȩȒȓȞȔȘȖ Ȑ ȝȜȠȜȘȓ Si ȝȞȖ 850°ǿ țȎȏșȬȒȎșȎȟȪ ȥȓȠȘȎȭ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎ (3×3), Ȏ ȜȠțȜȦȓțȖȓC(KLL)/Si(LVV) ȞȎȐțȭșȜȟȪ0.17. ǼȠȔȖȑȝȞȖ 950°ǿȝȞȖȐȜȒȖș

Ș ȠȜȚȡ, ȥȠȜ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎ (3×3) ȠȞȎțȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȎȟȪ Ȑ ( 3 × 3)R30D ,

Ȏ ȜȠțȜȦȓțȖȓ C(KLL)/Si(LVV) ȡȐȓșȖȥȖȐȎșȜȟȪ ȟ 0.17 ȒȜ 0.29. ǻȓșȪȕȭ ȏȩșȜ ȜȝȞȓȒȓșȖȠȪ, ȜȠȞȎȔȎȓȠ șȖ ȫȠȜ ȡȠȞȎȠȡ ȥȎȟȠȖ ȖșȖ ȐȟȓȑȜ ȏȖȟșȜȭ

ȖȕȏȩȠȜȥțȜȑȜ Si. ǽȜȟșȓ ȒȜȝȜșțȖȠȓșȪțȜȑȜ ȜȠȔȖȑȎ ȘȎȞȠȖțȎ DzǺȋ ȚȓțȭșȎ ȟȐȜȗ ȠȖȝ țȎ (1×1), ȥȠȜ ȟȜȝȞȜȐȜȔȒȎșȜȟȪ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȚ ȞȎȕȡȝȜȞȭȒȜȥȓțȖȓȚ Ȗ țȎȥȎșȜȚ ȟȓȑȞȓȑȎȤȖȖ ȡȑșȓȞȜȒȎ. ǯȩșȜ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ, ȥȠȜ ȝȜȟșȓȒȜȐȎȠȓșȪțȜȟȠȪ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȣ ȝȞȓȐȞȎȧȓțȖȗ ȝȜȒȜȏțȎ ȠȜȗ, ȘȜȠȜȞȎȭ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ C-SiC (100).

1.3.ȋșȓȘȠȞȜțțȎȭ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎ ȎȠȜȚȎȞțȜ-ȥȖȟȠȩȣ

ȖȞȓȎșȪțȩȣ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȓȗ SiC

ǶȕȚȓțȓțȖȓ ȞȎȕȚȓȧȓțȖȭ ȎȠȜȚȜȐ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ, ȝȓȞȓȟȠȞȜȗȘȎ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȣ ȟȐȭȕȓȗ, țȎșȖȥȖȓ ȥȡȔȓȞȜȒțȩȣ ȎȠȜȚȜȐ ȜȘȎȕȩȐȎȬȠ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȓ ȐșȖȭțȖȓ țȎ ȫșȓȘȠȞȜțțȡȬ ȟȠȞȡȘȠȡȞȡ, ȘȜșȓȏȎȠȓșȪțȩȓ Ȗ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȩȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, Ȏ ȕțȎȥȖȠ, Ȗ ȝȞȜȤȓȟȟȩ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ Ȗ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȚȓȠȎșș–ȝȜșȡȝȞȜ- ȐȜȒțȖȘ [2–3, 6, 26]. ȋȠȖ ȐȜȝȞȜȟȩ ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȝȜȒȞȜȏțȜ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȩ Ȓșȭ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ țȓȘȜȠȜȞȩȣ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȩȣ ȟȜȓȒȖțȓțȖȗ Ǯ3ǰ5 Ȗ ȝȞȎȘȠȖȥȓȟȘȖ țȓ Ȗȕȡȥȓțȩ Ȓșȭ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȓȗ SiC. ǻȓȟȚȜȠȞȭ țȎ ȖȚȓȬȧȖȓȟȭ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ, ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȎȬȧȖȓ ȞȓȘȜțȟȠȞȡȘȤȖȬ ȟȐȜȏȜȒțȩȣ ȑȞȎțȓȗ SiC, ȜȠȟȡȠȟȠȐȡȬȠ ȒȎțțȩȓ, ȡȟȠȎțȎȐșȖȐȎȬȧȖȓ ȐȕȎȖȚȜȟȐȭȕȪ ȑȓȜȚȓȠȞȖȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣ ȞȓȦȓȠȜȘ ȟ ȫșȓȘȠȞȜțțȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȓȗ. ǯȜșȓȓ ȠȜȑȜ, Ș țȎȟȠȜȭȧȓȚȡ ȐȞȓȚȓțȖ țȓȠ ȜȒțȜȕțȎȥțȜȑȜ ȜȠȐȓȠȎ ȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜ țȎșȖȥȖȭ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣ ȫșȓȘȠȞȜțțȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ(ǽȋǿ) țȎȥȖȟȠȩȣ ȑȞȎțȭȣSiC. ȀȎȘ, Ȑ[31] țȎȜȟțȜȐȎțȖȖ ȖȕȡȥȓțȖȭ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣȖȜȏȨȓȚțȩȣȢȜȠȜȫȚȖȟȟȖȜțțȩȣ ȟȝȓȘȠȞȜȐSiC ȏȩșȟȒȓșȎț ȐȩȐȜȒ Ȑ ȝȜșȪȕȡ ȜȠȟȡȠȟȠȐȖȭ ǽȋǿ țȎ SiC. ȀȜțȘȖȓ ȝșȎȟȠȖțȩ B-SiC ȜȥȖȧȎșȖȟȪ Ȑ ȎȤȓȠȜțȓ, ȚȓȠȎțȜșȓ, ȘȜțȤȓțȠȞȖȞȜȐȎțțȜȗ ȝșȎȐȖȘȜȐȜȗ ȘȖȟșȜȠȓ, ȎȕȎȠȓȚȜȠȔȖȑȎșȖȟȪȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ850–950°ǿȐȝȜȠȜȘȓ Si. ǰȞȓȕȡșȪȠȎȠȓ ȠȎȘȜȗ ȝȞȜȤȓȒȡȞȩ ȡȒȎșȭșȟȭ ȟȜȏȟȠȐȓțțȩȗ ȜȘȖȟȓș, ȎȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪȟȜȒȓȞȔȎșȎx0.8 ȚȜțȜȟșȜȭȖȕȏȩȠȜȥțȜȑȜȘȞȓȚțȖȭ, ȘȜȠȜȞȩȗ ȡȒȎșȭșȟȭȘȞȎȠȘȜȐȞȓȚȓțțȩȚȜȠȔȖȑȜȚȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ960–1160°ǿ. DzȎțțȩȓ DzǺȋ ȝȜȟșȓ ȜȠȔȖȑȎ ȡȘȎȕȩȐȎșȖ țȎ țȎșȖȥȖȓ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ (1×1). ǾȓȕȡșȪȠȎȠȩ ǼȋǿȕȎȟȐȖȒȓȠȓșȪȟȠȐȜȐȎșȖ ȜȠȟȡȠȟȠȐȖȓ ȑȞȎȢȖȠȖȕȎȤȖȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ.

ǿ ȒȞȡȑȜȗ ȟȠȜȞȜțȩ, ȒȎțțȩȓ [32] ȡȘȎȕȩȐȎȬȠ țȎ ȐȩȟȜȘȡȬ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȬ ȟȜȏȟȠȐȓțțȩȣ ǽȋǿ. ǶȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȏȩșȖ ȐȩȝȜșțȓțȩ țȎ n- Ȗ p-6H-SiC, ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȘȜȠȜȞȩȣȝȜȒȐȓȞȑȎșȖȟȪȜȠȔȖȑȡȒȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ Ȁ-1230°ǿ, ȥȠȜ ȝȜȕȐȜșȭșȜ ȜȏȓȟȝȓȥȖȠȪ Ȗȣ ȜȥȖȟȠȘȡ ȜȠ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȕȎȑȞȭȕțȓțȖȗ.

370ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǰȘȎȘȜȗ-ȠȜ ȟȠȓȝȓțȖ ȖȚȓȬȧȖȓȟȭ ȝȞȜȠȖȐȜȞȓȥȖȭ Ȑ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎȣ ȝȜ ȖȕȡȥȓțȖȬ ǽȋǿ țȎ ȟȐȜȏȜȒțȩȣ ȑȞȎțȭȣ ȚȜȑȡȠ ȏȩȠȪ ȡȟȠȞȎțȓțȩ, ȓȟșȖ ȜȏȞȎȠȖȠȪȟȭ Ș ȞȓȕȡșȪȠȎȠȎȚ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ ȎȠȜȚȎȞțȜ-ȥȖȟȠȩȣ ȑȞȎțȓȗ Si. ǮȞȑȡȚȓțȠȜȚȐȝȜșȪȕȡȝȞȎȐȜȚȓȞțȜȟȠȖȠȎȘȜȑȜȟȞȎȐțȓțȖȭȭȐșȭȓȠȟȭȜȒțȜȠȖȝțȜȟȠȪȣȖȚȖȥȓȟȘȖȣȟȐȭȕȓȗȐȘȞȖȟȠȎșșȎȣ, ȎȠȎȘȔȓȠȜȜȏȟȠȜȭȠȓșȪȟȠȐȜ, ȥȠȜ țȎȏșȬȒȎȓȚȎȭ ȞȓȘȜțȟȠȞȡȘȤȖȭ (100) ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ C-SiC ȝȞȖȐȜȒȖȠ

ȘȠȎȘȜȚȡ Ȕȓ ȠȖȝȡ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȞȓȦȓȠȘȖ ȠȜȑȜ Ȕȓ ȠȖȝȎ, ȘȜȠȜȞȎȭ țȎ- ȏșȬȒȎȓȠȟȭȖțȎȎȠȜȚȎȞțȜ-ȥȖȟȠȜȗȑȞȎțȖ(100) Si – (2×1), ȟȡȧȓȟȠȐȡȬȧȓȗ ȐȦȖȞȜȘȜȚȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȜȚȖțȠȓȞȐȎșȓ[26]. ǸȞȜȚȓȠȜȑȜ, Ȑ[33], ȖȟȝȜșȪȕȡȭ ȒȖȢȞȎȘȤȖȬ ȎȠȜȚȜȐ ȑȓșȖȭ, ȝȞȖȦșȖ Ș ȐȩȐȜȒȡ Ȝ ȟȡȧȓȟȠȐȜȐȎțȖȖ, țȎȞȭȒȡ ȟ ȞȓȦȓȠȘȜȗ (2×1), ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ Si (100) – ȟ(4×2). DzȎțțȎȭ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎ ȠȎȘȔȓ țȎȏșȬȒȎșȎȟȪ țȎ (100) C-SiC. ǰ ȟșȡȥȎȓ Si ȞȓȦȓȠȘȡ (2×1) ȟȥȖȠȎȬȠ ȟȜȏȟȠȐȓțțȜȗȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȜȗȎȠȜȚȎȞțȜ-ȥȖȟȠȜȗȑȞȎțȖ(100), ȎȓȓȝȜșȖȚȜȞȢȖȕȚȜȏȡȟșȜȐșȓțȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȚȖȒȓȢȓȘȠȎȚȖȖțȓȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȚȖ ȝȞȖȚȓȟȭȚȖ. ȋȠȜ ȕȎȘșȬȥȓțȖȓ ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȎȓȠȟȭ Ȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȚȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȚȖ ȑȞȎțȖ (100) C-SiC, Ȝ ȘȜȠȜȞȩȣ ȡȝȜȚȖțȎșȜȟȪ ȞȎțȓȓ.

ǽȞȖȞȜȒȡ ȐȜȕțȖȘȎȬȧȖȣ șȜȘȎșȪțȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ țȎ ȥȖȟȠȩȣ ȑȞȎțȭȣ Si ȜȏȩȥțȜ ȜȠȜȔȒȓȟȠȐșȭȬȠ ȟ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȭȚȖ ȞȓȑȖȏȞȖȒȖȕȎȤȖȖ Ȗ ȝȓȞȓȕȎȝȜșțȓțȖȭ ȜȏȜȞȐȎțțȩȣ ȐȎșȓțȠțȜȟȠȓȗ, ȥȠȜ ȐȩȕȩȐȎȓȠ ȝȜȭȐșȓțȖȓ ȝȡȟȠȩȣ Ȗ ȕȎȝȜșțȓțțȩȣ ȕȜț ǽȋǿ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȧȖȣ p- Ȗ s-ȜȞȏȖȠȎșȭȚ.

DzȐȡȣȕȜțțȎȭȚȜȒȓșȪȎȠȜȚȎȞțȜ-ȥȖȟȠȜȗȑȞȎțȖ(100) Si, ȐȘșȬȥȎȬȧȎȭ ȕȎȝȜșțȓțțȩȓȒȜțȜȞțȩȓȟȜȟȠȜȭțȖȭȐțȖȔțȓȗȥȎȟȠȖȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗȕȜțȩȖ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȓ(ȝȡȟȠȩȓ) – ȐȐȓȞȣțȓȗȥȎȟȠȖȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗȕȜțȩ, ȞȎȕȒȓșȓț-

țȩȓ ȫțȓȞȑȓȠȖȥȓȟȘȖȚ ȕȎȕȜȞȜȚ Eg, ȏȩșȎ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȜ ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȓțȎ ȚțȜȑȜȥȖȟșȓțțȩȚ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȚȖ, ȒȎțțȩȓ ȘȜȠȜȞȩȣ ȜȏȜȏȧȓțȩ Ȑ [26]. ǽȜșȜȔȓțȖȓ ȒȜțȜȞțȩȣ Ȗ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȣ ǽȋǿ Ȗ ȫțȓȞȑȓȠȖȥȓȟȘȖȗ ȕȎȕȜȞȚȓȔȒȡțȖȚȖȕȎȐȖȟȭȠȘȎȘȜȠȟȝȜȟȜȏȎȝȜșȡȥȓțȖȭȎȠȜȚȎȞțȜ-ȥȖȟȠȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, ȠȎȘ Ȗ ȜȠ ȣȎȞȎȘȠȓȞȎ ȞȓȘȜțȟȠȞȡȘȤȖȖ ȟȐȜȏȜȒțȩȣ ȑȞȎțȓȗ.

ǽȜ-ȐȖȒȖȚȜȚȡ, ȞȎȕȐȖȠȩȓȚȜȒȓșȪțȩȓȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȖȭȚȜȔțȜȝȞȖȚȓțȖȠȪ Ȗ Ș ȥȖȟȠȩȚ ȑȞȎțȭȚ (100) C-SiC.

ǰȝȞȖȟȡȠȟȠȐȖȖ ȎȒȎȠȜȚȜȐ (ȘȖȟșȜȞȜȒȎ, ȚȓȠȎșșȜȐ Ȗ ȒȞ.) ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ǽȋǿ ȖȕȚȓțȭȓȠȟȭ, ȐȝșȜȠȪ ȒȜ Ȗȣ ȝȜșțȜȑȜ ȖȟȥȓȕțȜȐȓțȖȭ.

ǰ[34] ȎțȎșȖȕȖȞȜȐȎșȜȟȪ ȖȕȚȓțȓțȖȓ ȫșȓȘȠȞȜțțȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC ȝȞȖ ȜȟȎȔȒȓțȖȖ ȟȡȏȚȜțȜȟșȜȗțȩȣ ȝȜȘȞȩȠȖȗ ȚȓȠȎșșȎ. ǯȩșȖ ȞȎȟȟȥȖȠȎțȩ ȫțȓȞȑȖȖ șȜȘȎșȪțȩȣ ȡȞȜȐțȓȗ ȎȒȎȠȜȚȜȐ. ǽȜșȡȥȓțțȎȭ șȖțȓȗțȎȭ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȑșȡȏȖțȩ ȕȎșȓȑȎțȖȭ șȜȘȎșȪțȩȣ ȡȞȜȐțȓȗ ȜȠ ȝȜȠȓțȤȖȎșȎ ȖȜțȖȕȎȤȖȖ ȎȒȎȠȜȚȜȐ ȡȒȜȐșȓȠȐȜȞȖȠȓșȪțȜ ȟȜȑșȎȟȡȓȠȟȭ

ȟ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȚȖ ȒȎțțȩȚȖ ȝȜ ȖȕȚȓȞȓțȖȬ ȐȩȟȜȠȩ ȏȎȞȪȓȞȜȐ ȆȜȠȠȘȖ, ȢȜȞȚȖȞȡȓȚȩȣ ȝȞȖ ȎȒȟȜȞȏȤȖȖ ȚȓȠȎșșȜȐ ȝȓȞȐȜȗ Ȗ ȠȞȓȠȪȓȗ ȑȞȡȝȝ țȎ 6H-SiC.

ǽȞȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȖ ȎȒȟȜȞȏȤȖȖ ȤȓȕȖȭ țȎ 6H-SiC (0001) [35] ȏȩșȜ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ, ȥȠȜ ȝȞȖ ȟȡȏȚȜțȜȟșȜȗțȩȣ ȝȜȘȞȩȠȖȭȣ (ȝșȓțȘȎ ȝȞȖȜȏȞȓȠȎșȎ ȚȓȠȎșșȖȥȓȟȘȖȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȝȞȖ ȠȜșȧȖțȓ, ȞȎȐțȜȗ ȚȜțȜȟșȜȬ) ȜȏȞȎȕȡȬȠȟȭȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȓȒȜțȜȞțȩȓȟȜȟȠȜȭțȖȭțȎȞȎȟȟȠȜȭțȖȖ 2.96 ȫǰ ȜȠ ȐȓȞȦȖțȩȐȎșȓțȠțȜȗȕȜțȩ, ȐȩȕȐȎțțȩȓȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓȚȟȐȭȕȖ Cs-Si. ȋȠȖ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȎȬȠ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȖȭ Ȝ ȠȜȚ, ȥȠȜ ȐȩȟȜȠȡ ȝȜ- ȠȓțȤȖȎșȪțȜȑȜȏȎȞȪȓȞȎȐȘȜțȠȎȘȠȓȚȓȠȎșș-ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȝȞȓȒȓșȭȬȠ ȖțȒȡȤȖȞȜȐȎțțȩȓȚȓȠȎșșȜȚȟȜȟȠȜȭțȖȭȐȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗȕȜțȓȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ. ǯȩșȜȡȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜȐȩȟȜȠȎȏȎȞȪȓȞȎȆȜȠȠȘȖȐȘȜțȠȎȘȠȎȣ Cs-6H-SiC ȞȎȐțȎ 0.57 ȫǰ (Ȓșȭ n-ȠȖȝȎ) Ȗ 2.28 ȫǰ (Ȓșȭ p-ȠȖȝȎ).

ǻȓȠȜșȪȘȜȜȟȜȏȓțțȜȟȠȖȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖ, țȜȖȠȓȣțȜșȜȑȖȭȝȜȒȑȜȠȜȐȘȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC ȜȘȎȕȩȐȎȬȠ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȓ ȐșȖȭțȖȓ țȎ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ ǽȋǿ. ǾȎȟȥȓȠȩȝșȜȠțȜȟȠȖǽȋǿ, ȐȩȝȜșțȓțțȩȓȐ[36] ȝȞȖ ȎțȎșȖȕȓ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖȐȩȟȜȠȩȏȎȞȪȓȞȎȆȜȠȠȘȖȜȠȞȎȏȜȠȩȐȩȣȜȒȎ, ȝȜȘȎȕȎșȖ, ȥȠȜ țȎȖȏȜșȪȦȎȭȝșȜȠțȜȟȠȪǽȋǿ(_1015 ȟȚ 2ȫǰ 1) țȎȏșȬȒȎȓȠȟȭȐ ȟșȡȥȎȓ ȟȘȜșȎ ȘȞȖȟȠȎșșȎ 6H-SiC Ȑ ȡȟșȜȐȖȭȣ ȐȩȟȜȘȜȑȜ ȐȎȘȡȡȚȎ. ǻȓȟȘȜșȪȘȜ ȚȓțȪȦȎȭ – 2 1014 ȟȚ 2ȫǰ 1 – Ȓșȭ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, ȜȏȞȎȏȜȠȘȎ ȘȜȠȜȞȜȗ ȐȘșȬȥȎșȎ ȝȞȓȒȐȎȞȖȠȓșȪțȜȓ ȜȘȖȟșȓțȖȓ ȟ ȝȜȟșȓȒȡȬȧȖȚ ȡȒȎșȓțȖȓȚ ȜȘȖȟșȎ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȚ ȠȞȎȐșȓțȖȓȚ, ȜȠȚȩȐȘȡ Ȗ ȜȠȔȖȑ Ȑ ȐȩȟȜȘȜȚ ȐȎȘȡȡȚȓ. Ƕ țȎȖȚȓțȪȦȎȭ – 3 1013 ȟȚ 2ȫǰ 1 – țȎ ȑȞȎțȭȣ, ȝȜȒȐȓȞȑțȡȠȩȣ ȘȞȎȠȘȜȐȞȓȚȓțțȜȗ(5–10 c) ȜȏȞȎȏȜȠȘȓȐȞȎȟȝșȎȐȓǸǼǻȟȝȜȟșȓȒȡȬȧȓȗ ȜȠȚȩȐȘȜȗ Ȑ ȒȓȜȖțȖȕȖȞȜȐȎțțȜȗ ȐȜȒȓ Ȗ ȜȞȑȎțȖȥȓȟȘȖȣ ȞȎȟȠȐȜȞȖȠȓșȭȣ Ȗ ȜȠȔȖȑȜȚ ȝȞȖ 500°ǿ (1–1.5 ȚȖț.) Ȑ ȐȎȘȡȡȚȓ (_10 4 ǽȎ).

ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȐȓșȖȥȖțȎ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ǽȋǿ ȚȜȔȓȠ ȖȕȚȓțȭȠȪȟȭ Ȑ ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȦȖȞȜȘȜȚ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ, ȕȎȒȎȐȎȭ ȚȜȒȓșȪ Ȓșȭ ȜȝȖȟȎțȖȭ ȟȐȜȗȟȠȐ ȟȠȞȡȘȠȡȞ ȚȓȠȎșș–SiC [3, 4, 6]. ǽȜȫȠȜȚȡ ȐȎȔțȡȬ ȞȜșȪ ȖȑȞȎȓȠ ȜȤȓțȘȎ ȫșȓȘȠȞȜțțȩȣ ȟȐȜȗȟȠȐ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȓȗ ȝȞȖ ȐȎȞȪȖȞȜȐȎțȖȖ Ȗȣ ȢȖȕȖȘȜ-ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȟȜȟȠȜȭțȖȭ.

ǰ [37] Ȓșȭ ȫȠȖȣ Ȥȓșȓȗ ȏȩș ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎț ȚȓȠȜȒ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȢȜȠȜ ȋDzǿ. ǶȕȡȥȎșȖȟȪ ȫșȓȘȠȞȜțțȩȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ (0001) Si Ȗ (0001) ƙ-ȝȜ- ȐȓȞȣțȜȟȠȓȗ SiC ȑȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȜȗ (6ǻ) Ȗ ȞȜȚȏȜȫȒȞȖȥȓȟȘȜȗ (15R) ȚȜȒȖ-

ȢȖȘȎȤȖȗ. ǽȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȖȟȟșȓȒȜȐȎșȖȟȪ ȝȜȟșȓȖȣȫșȓȘȠȞȜșȖȠȖȥȓȟȘȜȑȜ ȜȘȖȟșȓțȖȭ, ȎȠȎȘȔȓȝȜȟșȓȡȒȎșȓțȖȭȜȘȟȖȒȎȜȏȞȎȏȜȠȘȜȗȐ ȝșȎȐȖȘȜȐȜȗ ȘȖȟșȜȠȓ.

ǰ[37] ȝȞȖȞȜȒȡǽȋǿȟȐȭȕȩȐȎșȖȟȜȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȚȖțȎȞȡȦȓțȖȭȚȖ, ȐȩȕȐȎțțȩȚȖȖȕȚȓțȓțȖȓȚȡȑșȜȐȚȓȔȒȡȘȞȓȚțȖȗȘȖȟșȜȞȜȒțȩȚȖȠȓȠȞȎȫȒȞȎȚȖ Ȗ Ȑ ȟȎȚȖȣ ȠȓȠȞȎȫȒȞȎȣ, țȎȣȜȒȭȧȖȣȟȭ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ ȢȎȕ. ǰȜȕȚȜȔțȜȟȠȪ ȐȜȕțȖȘțȜȐȓțȖȭ ǽȋǿ ȐȟșȓȒȟȠȐȖȓ ȜȠȚȓȥȓțțȩȣ ȝȞȖȥȖț ȏȩșȎ ȜȏȜȟțȜȐȎțȎ Ȑ [39], ȑȒȓ ȜȠȚȓȥȎșȜȟȪ, ȥȠȜ ȒȓȢȜȞȚȎȤȖȭ ȠȓȠȞȎȫȒȞȜȐ ȖȕȚȓțȭȓȠ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȗ ȕȎȞȭȒ (E) ȤȓțȠȞȎșȪțȜȑȜ ȎȠȜȚȎ ȘȞȓȚțȖȗȘȖȟșȜȞȜȒțȜȑȜ ȠȓȠȞȎȫȒȞȎ. ȂșȡȘȠȡȎȤȖȖ E ȭȐșȭȬȠȟȭ ȢȎȘȠȜȞȜȚ, ȜȏȡȟșȜȐșȖȐȎȬȧȖȚ ȐȜȕțȖȘțȜȐȓțȖȓ ǽȋǿ.

DzȎțțȎȭȞȎȏȜȠȎ[40], ȐȘȜȠȜȞȜȗȏȩșȜȡȘȎȕȎțȜțȎȞȜșȪȑȖȒȞȎȠȎȤȖȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC Ȑ ȠȞȎțȟȢȜȞȚȎȤȖȖ ȟȝȓȘȠȞȎ ǽȋǿ, țȓ ȝȞȜȠȖȐȜȞȓȥȎȠ ȞȎȟȟȚȎȠȞȖȐȎȓȚȜȗ ȚȜȒȓșȖ.

ǰ[41] ȎțȎșȖȕȖȞȜȐȎșȎȟȪȐȜȕȚȜȔțȜȟȠȪȐȘșȎȒȎȐȎȘȎțȟȖȗȡȑșȓȞȜȒȎ, țȎȣȜȒȭȧȖȣȟȭ ȐȏșȖȕȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, Ȑ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓ ǽȋǿ. ȋȠȎ ȚȜȒȓșȪ ȏȩșȎ ȡȠȜȥțȓțȎ Ȑ [42], ȑȒȓ ȏȩșȜ ȝȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜ ȜȝȞȓȒȓșȭȬȧȓȓ ȐșȖȭțȖȓ țȎ ȫșȓȘȠȞȜțțȩȗ ȟȝȓȘȠȞ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȜȘȎȕȩȐȎȬȠ ȐȎȘȎțȟȖȖ

ȐȝȜȒȞȓȦȓȠȘȓ ȘȞȓȚțȖȭ.

ǽȞȓȒșȜȔȓțțȎȭ ȚȜȒȓșȪ ȏȩșȎ ȝȞȜȐȓȞȓțȎ ȠȎȘȔȓ Ȑ ȟȎȚȜȟȜȑșȎȟȜȐȎțțȩȣ ȞȎȟȥȓȠȎȣ Ȓșȭ ȟȖȟȠȓȚ Ag Ȗ Au țȎ 3ǿ- Ȗ 6H-SiC ȝȜșȖȠȖȝȎȣ, ȝȜȘȎȕȎȐȦȖȣ ȣȜȞȜȦȓȓ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȖȓ ȟ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȜȚ [43].

ǽȜȒȐȜȒȭ ȖȠȜȑȖ, ȚȜȔțȜ ȜȠȚȓȠȖȠȪ, ȥȠȜ ȣȜȠȭ ȝȞȖȞȜȒȎ ǽȋǿ țȎ SiC ȒȜȟȠȜȐȓȞțȜ țȓ ȡȟȠȎțȜȐșȓțȎ, ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȫșȓȘȠȞȜțțȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ ȚȜȔȓȠ ȚȓțȭȠȪȟȭ Ȑ ȦȖȞȜȘȜȚ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ, ȜȠ 1014 ȟȚ 2 (țȎ ȟȘȜșȜȠȩȣ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȭȣ) ȒȜ 1011 1012 ȟȚ 2 țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȭȣ, ȟȜȒȓȞȔȎȧȖȣ ȠȜțȘȖȗ ȟșȜȗ SiO2.

1.4. ǽȎȞȎȚȓȠȞȩ ȏȎȞȪȓȞțȩȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ țȎ SiC

ǰțȎȟȠȜȭȧȓȓ ȐȞȓȚȭ ȜȟȠȎȓȠȟȭ țȓȭȟțȜȗ ȟȐȭȕȪ ȚȓȔȒȡ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȚȖ Ȗ ȘȜțȠȎȘȠțȩȚȖ ȟȐȜȗȟȠȐȎȚȖ SiC. Dzșȭ ȚțȜȑȖȣ ȘȜțȠȎȘȠțȩȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞ țȓȖȕȐȓȟȠțȜ, ȭȐșȭȓȠȟȭ șȖ ȑȞȎțȖȤȎ ȞȎȕȒȓșȎ ȒȓȗȟȠȐȖȠȓșȪțȜ ȞȓȕȘȜȗ țȎ ȎȠȜȚțȜȚ ȡȞȜȐțȓ Ȗ ȘȎȘȜȐȎ ȟȠȓȝȓțȪ ȓȓ ȞȎȕȚȩȠȖȭ. ǻȎȏșȬȒȎȓȚȜȓ ȐȜ ȚțȜȑȖȣ ȟșȡȥȎȭȣ ȕȎȘȞȓȝșȓțȖȓ ȡȞȜȐțȭ ȂȓȞȚȖ ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȟșȓȒȟȠȐȖȓȚ ȘȎȘ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȣ ȞȓȎȘȤȖȗ ȚȓȔȒȡ ȚȓȠȎșșȜȚ Ȗ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȚ, ȠȎȘ Ȗ ȝȜȐȩȦȓțțȜȗ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȒȓȢȓȘȠȜȐ.

ǰȜȏȧȓȚ ȟșȡȥȎȓ ȐȩȟȜȠȎ ȏȎȞȪȓȞȎ KB Ȑ ǸǺǽ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȞȎȏȜȠȩ ȐȩȣȜȒȎȚȓȠȎșșȎKM ȖȝșȜȠțȜȟȠȖǽȋǿ. ǰȝȞȓȒȝȜșȜȔȓțȖȖ, ȥȠȜǽǿȭȐșȭȓȠȟȭȠȡțțȓșȪțȜȝȞȜȕȞȎȥțȩȚȒșȭȫșȓȘȠȞȜțȜȐ, ȎȐșȖȭțȖȓȫȠȜȑȜȟșȜȭ ȟȐȜȒȖȠȟȭ șȖȦȪ Ș ȝȎȒȓțȖȬ ȝȜȠȓțȤȖȎșȎ Ȑ țȓȚ, ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ ǽȋǿ

374 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȝȜ ȫțȓȞȑȖȖ țȓ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȠȖȝȎ ȚȓȠȎșșȎ Ȗ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȠȜșȪȘȜ ȟȐȜȗȟȠȐȎȚȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ. ǰ [44] ȏȩșȜ ȝȜșȡȥȓțȜ Ȝȏȧȓȓ ȐȩȞȎȔȓțȖȓ Ȓșȭ ȝȜȠȓțȤȖȎșȪțȜȑȜ ȏȎȞȪȓȞȎ KB:

ȑȒȓ c1 = 2qFsFi2 ; c2 = Fi(Fi + q2dDs ) ; Eg – ȦȖȞȖțȎ ȕȎȝȞȓȧȓț-

țȜȗ ȕȜțȩ; f – ȫșȓȘȠȞȜțțȜȓ ȟȞȜȒȟȠȐȜ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ; Fs Ȗ Fi – ȒȖȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȓ ȝȞȜțȖȤȎȓȚȜȟȠȖ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ Ȗ ȝȞȜȚȓȔȡȠȜȥțȜȑȜ ȟșȜȭ; d – ȠȜșȧȖțȎ ȝȞȜȚȓȔȡȠȜȥțȜȑȜ ȟșȜȭ; Ef – ȝȜșȜȔȓțȖȓ ȡȞȜȐțȭ ȂȓȞȚȖ Ȑ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȓ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ; Ds – ȝșȜȠțȜȟȠȪ ǽȋǿ; K0 – ȫțȓȞȑȓȠȖȥȓȟȘȖȗ ȡȞȜȐȓțȪ, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȧȖȗ ȝȜșȜȔȓțȖȬ ȡȞȜȐțȭ ȂȓȞȚȖȐȡȟșȜȐȖȭȣȫșȓȘȠȞȜțȓȗȠȞȎșȪțȜȟȠȖțȎȟȐȜȏȜȒțȜȗȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ [45].

dzȟșȖȜȟțȜȐȩȐȎȠȪȟȭțȎȚȜȒȓșȖ[46] (ȞȖȟ. 1.1), ȠȜSiC ȕȎțȖȚȎȓȠȝȞȜȚȓȔȡȠȜȥțȜȓ ȟȜȟȠȜȭțȖȓ ȚȓȔȒȡ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎȚȖ ȟ ȐȩȟȜȘȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȪȬ ǽȋǿ (ȚȜȒȓșȪ ȏȎȞȪȓȞȎ ǯȎȞȒȖțȎ) Ȗ ȚȎșȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȪȬ ǽȋǿ (ȚȜȒȓșȪ ȏȎȞȪȓȞȎ ȆȜȠȠȘȖ). ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȐȩȟȜȠȎ ȏȎȞȪȓȞȎ ǸǺǽ KB ȏȡȒȓȠ ȟȖșȪțȜ ȕȎȐȖȟȓȠȪȜȠȚȓȠȜȒȜȐȖȞȓȔȖȚȜȐȜȏȞȎȏȜȠȘȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, ȠȓȣțȜșȜȑȖȖțȎțȓȟȓțȖȭ Ȗ ȞȎȏȜȠȩ ȐȩȣȜȒȎ ȚȓȠȎșșȜȐ, Ȏ ȠȎȘȔȓ ȝȜȟșȓȒȡȬȧȖȣ ȜȏȞȎȏȜȠȜȘ.

ǾȎȟȟȚȜȠȞȖȚ, ȘȎȘ ȟȒȓșȎțțȜȓ ȕȎȘșȬȥȓțȖȓ ȟȜȑșȎȟȡȓȠȟȭ ȟ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȜȚ.

ǾȖȟ. 1.1. ǽȜȘȎȕȎȠȓșȪ ȝȜȐȓȒȓțȖȭ ȑȞȎțȖȤȩ ȞȎȕȒȓșȎ S Ȑ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ ȞȎȕțȜȟȠȖ ȫșȓȘȠȞȜȜȠȞȖȤȎȠȓșȪțȜȟȠȓȗ %D ȘȜȚȝȜțȓțȠ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐ [46]

ǾȖȟ. 1.2. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȣ Ȗ ȠȓȜȞȓȠȖȥȓȟȘȖȣ ȐȩȟȜȠ ȏȎȞȪȓȞȜȐ țȎ 6ǻ-SiC (0001) n-ȠȖȝȎȜȠȞȎȏȜȠȩ ȐȩȣȜȒȎ ȚȓȠȎșșȖȥȓȟȘȖȣȘȜțȠȎȘȠȜȐ(S – țȎȘșȜț țȎȖșȡȥȦȓȗ șȖțȓȗțȜȗ ȎȝȝȞȜȘȟȖȚȎȤȖȖ Ȓșȭ ȘȎȔȒȜȑȜ țȎȏȜȞȎ ȕțȎȥȓțȖȗ) [12, 48, 49]

ǰȞȎȏȜȠȓ [47] ȝȞȖ ȖȕȡȥȓțȖȖ B-SiC ȝ-ȠȖȝȎ țȓ ȏȩșȜ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ

ȘȎȘȜȗ-șȖȏȜ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ KB ȜȠ ȞȎȏȜȠȩ ȐȩȣȜȒȎ ȚȓȠȎșșȜȐ. Dzșȭ Au, Ag, Ȗ Al ȐȩȟȜȠȎ ȏȎȞȪȓȞȎ ȞȎȐțȭșȎȟȪ 1.45 ȫǰ, țȓȟȚȜȠȞȭ țȎ ȕȎȚȓȠțȩȓ ȜȠșȖȥȖȭȞȎȏȜȠȐȩȣȜȒȎȚȓȠȎșșȜȐ(Au: 5.28 ȫǰ; Ag: 4.31 ȫǰ; Al: 4.20 ȫǰ).

ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, ȐȩȟȜȠȎ ȏȎȞȪȓȞȎ KB ȏȩșȎ ȜȒȖțȎȘȜȐȜȗ Ȓșȭ ȝȜșȖȠȖȝȜȐ 6H- Ȗ15R-SiC. ȋȠȖȞȓȕȡșȪȠȎȠȩȟȐȖȒȓȠȓșȪȟȠȐȡȬȠ, ȥȠȜȡȞȜȐȓțȪȂȓȞȚȖ

ȕȎȢȖȘȟȖȞȜȐȎțȖȕ-ȕȎȐȩȟȜȘȜȗȝșȜȠțȜȟȠȖǽȋǿ, ȘȜȠȜȞȎȭțȎȎȠȜȚȎȞțȜȥȖȟȠȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȒȜȟȠȖȑȎȓȠ _1014 ȟȚ 2.

ǰ[48, 49] ȖȕȡȥȎșȖȟȪ ȘȜțȠȎȘȠȩ, ȝȜșȡȥȓțțȩȓ ȜȟȎȔȒȓțȖȓȚ Ȑ ȐȩȟȜȘȜȚ ȐȎȘȡȡȚȓ ȝȞȖ ȘȜȚțȎȠțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ Pd, Au, Ag, Tb, Er, Mn, Al, Mg, Ni, Ti, Al țȎ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȜ ȐȩȞȎȧȓțțȩȗ 6H-SiC n-ȠȖȝȎ.

ǾȓȕȡșȪȠȖȞȡȬȧȖȓ ȕțȎȥȓțȖȭ KB ȞȎȟȝȜșȜȔȓțȩ Ȑ ȖțȠȓȞȐȎșȓ ȦȖȞȖțȜȗ 1.3 ȫǰ (ȞȖȟ. 1.2). ǶȟȘșȬȥȎȭ ȞȓȒȘȜȕȓȚȓșȪțȩȓ ȫșȓȚȓțȠȩ, ȐȜ Ȑȟȓȣ

ȜȟȠȎșȪțȩȣ ȟșȡȥȎȭȣ ȐȓșȖȥȖțȎ KB ȡȐȓșȖȥȖȐȎșȎȟȪ ȟ ȞȜȟȠȜȚ KM. ǻȎȘșȜțșȖțȖȗS= BK0/BKM ȭȐșȭȓȠȟȭȝȜȘȎȕȎȠȓșȓȚȝȜȐȓȒȓțȖȭȑȞȎțȖȤȩ ȞȎȕȒȓșȎ[46]. ǰȓșȖȥȖțȎS ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȠȓȝȓțȪ ȐșȖȭțȖȭȣȖȚȖȥȓȟȘȜȗ ȝȞȖȞȜȒȩȚȓȠȎșșȎțȎȟȐȜȗȟȠȐȎȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ. ǼțȎ ȖȕȚȓțȭȓȠȟȭ ȜȠ 0.47 ȒȜ 0.63. ȀȜȠ ȢȎȘȠ, ȥȠȜ 0< S< 1, ȟȐȖȒȓȠȓșȪȟȠȐȡȓȠ

ȜȥȎȟȠȖȥțȜȚ ȕȎȘȞȓȝșȓțȖȖ ȡȞȜȐțȭ ȂȓȞȚȖ Ȑ 6H-SiC (ȕțȎȥȓțȖȓ S= 0 ȜȠȐȓȥȎȓȠ ȝȞȓȒȓșȪțȜȚȡ ȟșȡȥȎȬ ǯȎȞȒȖțȎ, ȠȜȑȒȎ ȘȎȘ S= 1 – ȖȒȓȎșȪțȜȚȡ ȟșȡȥȎȬ ȆȜȠȠȘȖ Ȓșȭ ȑȞȎțȖȤȩ ȞȎȕȒȓșȎ Ǻǽ). Ȃȋǿ ȎțȎșȖȕ, ȝȞȜȐȓȒȓțțȩȗ ȝȓȞȓȒ țȎțȓȟȓțȖȓȚ ȚȓȠȎșșȎ, ȜȏțȎȞȡȔȖș ȝȞȖȟȡȠȟȠȐȖȓ x0.5 ȚȜțȜȟșȜȭ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC (0001) (ȟ țȎȞȡȔțȩȚ ȡȑșȓȞȜȒȜȚ) Ȗ x0.75 ȚȜțȜȟșȜȭ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC (0001) (ȟ țȎȞȡȔțȩȚ ȘȞȓȚțȖȓȚ).

376 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 1.3. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȐȩȟȜȠȩ ȏȎȞȪȓȞȎ ȜȠ ȞȎȏȜȠȩ ȐȩȣȜȒȎ ȫșȓȘȠȞȜțȎ Ȗȕ ȚȓȠȎșșȎ [36]

ǰȩȝȜșțȓțțȩȗ ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ Ȃȋǿ ȎțȎșȖȕ ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȗ ȎȘ- ȠȖȐțȜȟȠȖȚȓȠȎșșȜȐȞȎȕțȜȗȝȞȖȞȜȒȩȝȜȘȎȕȎșȜȠȟȡȠȟȠȐȖȓȘȎȘȖȣ-șȖȏȜ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȗȚȓȔȒȡNi c SiC, ȐȝșȜȠȪȒȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȜȠȔȖȑȎ 400°ǿ. ǰȠȜȔȓȐȞȓȚȭȒșȭTi țȎȏșȬȒȎșȜȟȪȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓTiC ȖTiSi, ȒȎȔȓțȎ țȓȝȞȜȑȞȓȠȩȣ ȜȏȞȎȕȤȎȣ. ǰȜȕȚȜȔțȜȗ ȝȞȖȥȖțȜȗ țȎȏșȬȒȎȓȚȩȣ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȓȗ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ǺȂDZ Ȓșȭ ȞȎȕțȜȗ ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖ ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȝȞȖȟȡȠȟȠȐȖȓ țȓȏȜșȪȦȖȣ ȘȜșȖȥȓȟȠȐ ȘȖȟșȜȞȜȒȎ (0.5–0.75 ȚȜțȜȟșȜȭ) țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȭȣ, ȝȜȒȑȜȠȜȐșȓțțȩȣ ȝȜȒ ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȬ.

Dzșȭ ȠȜȑȜ ȥȠȜȏȩ ȜȤȓțȖȠȪ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȐȩȟȜȠȩ ȏȎȞȪȓȞȎ ȜȠȞȎȏȜȠȩ ȐȩȣȜȒȎȫșȓȘȠȞȜțȜȐȖȕȚȓȠȎșșȜȐ, ȐȞȎȏȜȠȓ[36] ȏȩșȝȞȜȎțȎșȖȕȖȞȜȐȎț ȦȖȞȜȘȖȗ ȟȝȓȘȠȞ ȚȓȠȎșșȜȐ ȟ ȟȖșȪțȜ ȞȎȕșȖȥȎȬȧȖȚȖȟȭ ȞȎȏȜȠȎȚȖ ȐȩȣȜȒȎ țȎ ȝȞȖȚȓȞȓ KB Ȑ ȒȖȜȒȎȣ ȆȜȠȠȘȖ, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȣ țȎ ȜȟțȜȐȓ n-6H-SiC.

ǻȎ ȞȖȟ. 1.3 ȟȡȚȚȖȞȜȐȎțȩ ȫȠȖ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ. DZȜȞȖȕȜțȠȎșȪțȎȭ șȖțȖȭ (1) ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȓȠȝȞȓȒȟȘȎȕȎțȖȭȚȚȜȒȓșȖǯȎȞȒȖțȎ: KB ȝȜșțȜȟȠȪȬ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭȐȩȟȜȘȜȗȝșȜȠțȜȟȠȪȬǽȋǿȐȘȜțȠȎȘȠȓ. ǹȖțȖȭ 4 ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȓȠ ȠȓȜȞȖȖ ȆȜȠȠȘȖ-ǺȜȠȠȎ (ȝșȜȠțȜȟȠȪ ǽȋǿ x3 1013 ȟȚ 2ȫǰ 1). ǸȎȘ ȟșȓȒȡȓȠ Ȗȕ ȞȖȟ. 1.3, ȝȞȎȘȠȖȥȓȟȘȖ Ȑȟȓ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȓ ȒȎțțȩȓ ȝȜȝȎȒȎȬȠ Ȑ ȜȏșȎȟȠȪ, ȜȑȞȎțȖȥȓțțȡȬ șȖțȖȭȚȖ 1 Ȗ 4.

ǽȞȖȐȓȒȓțțȩȓȒȎțțȩȓȟȐȖȒȓȠȓșȪȟȠȐȡȬȠȜȟșȎȏȜȗȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ KB ȜȠ ȞȎȏȜȠȩ ȐȩȣȜȒȎ ȚȓȠȎșșȜȐ.

ǽȞȓȒȟȠȎȐșȓțțȩȓțȎ ȞȖȟ. 1.3 ȒȎțțȩȓȏȩșȖȝȜșȡȥȓțȩȒșȭȞȎȕțȩȣ ȠȓȣțȜșȜȑȖȗ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ. ȋȠȜ ȜȏȟȠȜȭȠȓșȪȟȠȐȜ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȜȒțȖȚȖȕȜȟțȜȐțȩȣȢȎȘȠȜȞȜȐțȎȏșȬȒȎȓȚȩȣȜȠșȖȥȖȗȐȐȓșȖȥȖțȎȣ KB Ȗ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȓ țȎȘșȜțȎ șȖțȓȗțȜȗ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ (ȝȎȞȎȚȓȠȞ S), ȟȐȭȕȩȐȎȬȧȓȗ KB Ȗ KM.

ȀȎȏșȖȤȎ 1.2. ǰȩȟȜȠȎ ȏȎȞȪȓȞȎ ȆȜȠȠȘȖ (KB) Ȓșȭ ȚȓȠȎșșȜȐ țȎ B(6H)-SiC n-ȠȖȝȎ [12]

378 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȝȞȜȒȜșȔȓțȖȓ ȠȎȏșȖȤȩ 1.2.

Ȁ – ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȓ ȖȟȝȎȞȓțȖȓ; ȋǹ – ȫșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȜȓ ȖȟȝȎȞȓțȖȓ; ǶǾ – ȖȜțțȜȓ ȞȎȟȝȩșȓțȖȓ; ȘȜȚț. – ȘȜȚțȎȠțȎȭ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎ; ǿ – ȟȘȜș Ȑ ȐȎȘȡȡȚȓ; ȃ – ȣȖȚȖȥȓȟȘȎȭ ȜȥȖȟȠȘȎ; ȃǼ – ȣȖȚȖȥȓȟȘȎȭ ȜȥȖȟȠȘȎ + ȜȠȔȖȑ

ǰȩȝȜșțȓțȜ ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȏȜșȪȦȜȓ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȜ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ, ȜȏȜȏȧȓțțȩȣ Ȑ [11, 12, 14, 15], ȜȠȞȎȔȎȬȧȖȣ ȐșȖȭțȖȓ ȚȓȠȜȒȜȐ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎțȎȫșȓȘȠȞȜȢȖȕȖȥȓȟȘȖȓȟȐȜȗȟȠȐȎ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ. ǮțȎșȖȕ ȫȠȖȣ ȒȎțțȩȣ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȕȎȘșȬȥȖȠȪ, ȥȠȜ ȖȕȚȓțȓțȖȓ ȫșȓȘȠȞȜțțȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ ȐȩȕȐȎț- țȜȓȢȖȕȖȘȜ-ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȗȜȏȞȎȏȜȠȘȜȗȖțȎțȓȟȓțȖȓȚȚȓȠȎșșȜȐ, ȖȑȞȎȓȠ

ȀȎȏșȖȤȎ 1.3. ǰȩȟȜȠȎ ȏȎȞȪȓȞȎ ȆȜȠȠȘȖ (KB) Ȓșȭ ȚȓȠȎșșȜȐ țȎ B(6ǻ)-SiC p-ȠȖȝȎ [12]

Ȁ – ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȓ ȖȟȝȎȞȓțȖȓ; ȋǹ – ȫșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȜȓ ȖȟȝȎȞȓțȖȓ; ǶǾ – ȖȜțțȜȓ ȞȎȟȝȩșȓțȖȓ; ȘȜȚț. – ȘȜȚțȎȠțȎȭ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎ; ǿ – ȟȘȜș Ȑ ȐȎȘȡȡȚȓ; ȃ – ȣȖȚȖȥȓȟȘȎȭ ȜȥȖȟȠȘȎ; ȃǼ – ȣȖȚȖȥȓȟȘȎȭ ȜȥȖȟȠȘȎ + ȜȠȔȖȑ

ȜȝȞȓȒȓșȭȬȧȡȬȞȜșȪȐȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȖȐȩȟȜȠȩȏȎȞȪȓȞȎȐȚȎȠȓȞȖȎșȎȣ ȟ țȓȐȩȟȜȘȖȚ ȡȞȜȐțȓȚ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ.

ǽȞȖȐȩȟȜȘȖȣȡȞȜȐțȭȣșȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ, țȓȟȚȜȠȞȭțȎȠȜ, ȥȠȜȕȎȘȞȓȝșȓțȖȓȡȞȜȐțȭȂȓȞȚȖțȎȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȟȜȣȞȎțȭȓȠȟȭ, ȐȓșȖȥȖțȎȏȎȞȪȓȞȎ ȝȜțȖȔȎȓȠȟȭ ȐȟșȓȒȟȠȐȖȓ ȠȜȑȜ, ȥȠȜ ȥȎȟȠȪ ȘȜțȠȎȘȠțȜȑȜ ȝȜȠȓțȤȖȎșȎ, ȝȎȒȎȬȧȓȑȜțȎȟȖșȪțȜșȓȑȖȞȜȐȎțțȜȗȜȏșȎȟȠȖȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎȐȟȖșȡ ȠȡțțȓșȪțȜȑȜ ȝȞȜȣȜȔȒȓțȖȭ țȜȟȖȠȓșȭȚȖ ȠȜȘȎ ȐȓȞȣȡȦȘȖ ȏȎȞȪȓȞȎ, țȓ ȝȞȜȭȐșȭȓȠȟȭ Ȑ ȏȎȞȪȓȞțȩȣ ȫȢȢȓȘȠȎȣ.

ǰ[12] ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȓ ȒȎțțȩȓȒșȭKB ȏȎȞȪȓȞȎ ȆȜȠȠȘȖ Ȓșȭ ȐȩȝȞȭȚșȭȬȧȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȘȎȘ Ș ȝ-, ȠȎȘ Ȗ Ș p-B-SiC (ȠȎȏș. 1.2 Ȗ 1.3). ȁ ȏȜșȪȦȖțȟȠȐȎ ȚȓȠȎșșȜȐ țȎ ȑȞȎțȖ 6H-SiC (0001) ȕțȎȥȓțȖȭȐȩȟȜȠȩȏȎȞȪȓȞȎȆȜȠȠȘȖșȓȔȎȠȚȓȔȒȡ0.8–1.3 ȫǰ, Ȏ țȎ ȑȞȎ-

țȖ 6ǻ-SiC (0001) ȚȓȔȒȡ 1.0–1.6 ȫǰ.

ǰȕȎȘșȬȥȓțȖȓȝȞȓȒȟȠȎȐȖȚȒȎțțȩȓȝȜȖȕȡȥȓțȖȬȐȓșȖȥȖțȩȏȎȞȪ- ȓȞȜȐȆȜȠȠȘȖȒșȭȝ-ȠȖȝȎC-SiC. ȁȥȖȠȩȐȎȭțȓȜȝȞȓȒȓșȓțțȜȟȠȪ, ȟȐȭȕȎțțȡȬȟȜȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȚȟȜȟȠȜȭțȖȓȚȖȟȟșȓȒȜȐȎțțȩȣȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȩȣ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐC-SiC, ȖȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪȐȓșȖȥȖțȩȝȜȠȓțȤȖȎșȪțȜȑȜȏȎȞȪȓȞȎ

380 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȀȎȏșȖȤȎ 1.4. ǰȩȟȜȠȎ ȏȎȞȪȓȞȎ ȆȜȠȠȘȖ(KB) țȎ n-ȠȖȝȓ C-SiC [50]

ȜȠ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțțȜȗ ȚȓȠȜȒȖȘȖ ȖȕȚȓȞȓțȖȗ, ȜȑȞȎțȖȥȖȚȟȭ șȖȦȪ ȒȎțțȩȚȖȞȎȏȜȠȩ[50]. ǰȫȠȜȗȞȎȏȜȠȓKB ȜȝȞȓȒȓșȭșȜȟȪȟȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȞȓțȠȑȓțȜȐȟȘȜȗȢȜȠȜȫșȓȘȠȞȜțțȜȗȟȝȓȘȠȞȜȟȘȜȝȖȖ(ȠȎȏș. 1.4). ǺȓȠȎșșȩ ȜȟȎȔȒȎșȖȟȪ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȚ ȖȟȝȎȞȓțȖȓȚ ȝȞȖȘȜȚțȎȠțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȐȟȐȓȞȣȐȩȟȜȘȜȚ ȐȎȘȡȡȚȓȝȜȟșȓȣȖȚȖȥȓȟȘȜȗȖȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗ ȜȥȖȟȠȘȖ, ȘȎȥȓȟȠȐȜ ȘȜȠȜȞȜȗ ȘȜțȠȞȜșȖȞȜȐȎșȜȟȪ ȝȜ ȞȓțȠȑȓțȜȢȜȠȜȫșȓȘȠȞȜțțȩȚ ȟȝȓȘȠȞȎȚ ȜȟȠȜȐțȩȣ ȡȞȜȐțȓȗ ȐȓȞȜȭȠțȩȣ ȕȎȑȞȭȕțȓțȖȗ.

1.5.ȀȓȞȚȜȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȪ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ

ȟȏȎȞȪȓȞȜȜȏȞȎȕȡȬȧȖȚȖ ȟșȜȭȚȖ ȚȓȠȎșșȜȐ țȎ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ

ǽȞȖ ȐȩȟȜȘȖȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ ȡȟȘȜȞȭȬȠȟȭ ȝȞȜȤȓȟȟȩ ȚȓȔȢȎȕțȩȣ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȗ Ȑ ȘȜțȠȎȘȠȜȜȏȞȎȕȡȬȧȖȣ ȝȎȞȎȣ, ȘȜȠȜȞȩȓ ȝȞȖȐȜȒȭȠ Ș ȡȣȡȒȦȓțȖȬ Ȗȣ ȫșȓȘȠȞȜȢȖȕȖȥȓȟȘȖȣ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘ, ȐȝșȜȠȪ ȒȜ Ȗȣ ȝȜșțȜȗ ȒȓȑȞȎȒȎȤȖȖ.

ȃȜȠȭȞȓȦȓțȖȬȝȞȜȏșȓȚȩȝȜȐȩȦȓțȖȭȡȟȠȜȗȥȖȐȜȟȠȖȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ ȘȜțȠȎȘȠțȩȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞ Ș ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȚ ȐȜȕȒȓȗȟȠȐȖȭȚ ȝȜȟȐȭȧȓțȩ ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜȚțȜȑȜȥȖȟșȓțțȩȓȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ[13, 15, 51, 52], ȒȜȟȠȖȑțȡȠȩȗ ȡȞȜȐȓțȪ ȓȓ ȝȜțȖȚȎțȖȭ țȓ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȝȜȟȠȞȜȖȠȪ ȠȜȥțȩȓ ȚȜȒȓșȖ ȠȓȞȚȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȜȗ ȫȐȜșȬȤȖȖ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ, ȕȎȐȖȟȭȧȓȗ ȜȠ ȤȓșȜȑȜ ȞȭȒȎ ȠȞȡȒțȜȘȜțȠȞȜșȖȞȡȓȚȩȣ ȢȎȘȠȜȞȜȐ, ȟȐȭȕȎțțȩȣ ȟ ȠȓȣțȜșȜȑȖȓȗ ȝȞȖȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ, ȝȞȖȞȜȒȜȗ ȞȓȎȘȤȖȗ țȎ ǺȂDZ Ȗ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȭȚȖ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȣ ȞȓșȎȘȟȎȤȖȗ ȑȓȠȓȞȜȝȓȞȓȣȜȒȎ.

ǾȎȟȟȚȜȠȞȖȚ țȓȘȜȠȜȞȩȓ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐȓȒȥȓȟȘȖȓ Ȗ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȓ ȢȎȘȠȜȞȩ, ȐșȖȭȬȧȖȓ țȎ țȎȒȓȔțȜȟȠȪ Ȗ ȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȪ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ

ȟȏȎȞȪȓȞȜȚ ȆȜȠȠȘȖ.

1.5.1.ȀȓȞȚȜȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȎȭ ȟȓȑȞȓȑȎȤȖȭ ȡȑșȓȞȜȒȎ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC

ǸȎȘ SiC (0001) , ȠȎȘ Ȗ SiC (0001) ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȑȞȎȢȖȠȖȕȖȞȡȬȠȟȭ ȝȞȖȝȜȐȩȦȓțȖȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩȐȐȖȒȡȝȞȓȜȏșȎȒȎȬȧȓȑȜȡșȓȠȡȥȖȐȎțȖȭ ȘȞȓȚțȖȭ.

ǾȖȟ. 1.4. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜȗ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȑȜ ȡȑșȓȞȜȒȎ țȎ ȑȞȎțȭȣ

6ǻ-SiC (0001) Ȗ SiC (0001) ȜȠ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȜȠȔȖȑȎ, ȝȜșȡȥȓțțȩȓ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ǾȂȋǿ. ǽȞȎȐȎȭ ȜȟȪ ȝȜȘȎȕȩȐȎȓȠ ȖțȠȓțȟȖȐțȜȟȠȪ ȝȜȠȓȞȪSi ȟȑȞȎțȖSiC (0001) ȐȠȜȚ Ȕȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȜȚ ȖțȠȓȞȐȎșȓ. DzȎțțȩȓ ȐȕȭȠȩ Ȗȕ ȞȎȏȜȠȩ [53]

ǻȎ ȞȖȟ. 1.4 ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠțȜȦȓțȖȭ ȖțȠȓȑȞȎșȪțȩȣȖțȠȓțȟȖȐțȜȟȠȓȗȢȜȠȜȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȣȝȖȘȜȐC(1s)/Si(2p) ȜȠȠȓȚȝȓ- ȞȎȠȡȞȩȜȠȔȖȑȎȐȟȐȓȞȣȐȩȟȜȘȜȚȐȎȘȡȡȚȓȜȏȞȎȕȤȜȐ6H-SiC [53]. ǼȠȥȓȠșȖȐȜȐȖȒțȜȜȠșȖȥȖȓȜȠȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȜȗȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖȝȜȐȓȒȓțȖȭȒȐȡȣ ȑȞȎțȓȗ SiC. ǺȜȔțȜ ȐȩȒȓșȖȠȪ ȥȓȠȩȞȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȩȣ ȖțȠȓȞȐȎșȎ:

x țȖȕȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȎȭ ȜȏșȎȟȠȪ (< 900 K), Ȑ ȘȜȠȜȞȜȗ țȓ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȟȓȑȞȓȑȎȤȖȖ ȡȑșȓȞȜȒȎ țȖ țȎ ȜȒțȜȗ ȑȞȎțȖ SiC; x ȝȞȜȚȓȔȡȠȜȥțȎȭ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȎȭ ȜȏșȎȟȠȪ (900–1100 K), Ȑ ȘȜȠȜȞȜȗ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȝȞȓȖȚȡȧȓȟȠȐȓțțȎȭ ȟȓȑȞȓȑȎȤȖȭ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠ-

țȜȑȜ ƙ țȎ ȜȏȜȑȎȧȓțțȜȗ ȡȑșȓȞȜȒȜȚ ȑȞȎțȖ SiC (0001) , Ȑ ȠȜ ȐȞȓȚȭ ȘȎȘ țȎ ȜȏȜȑȎȧȓțțȜȗȘȞȓȚțȖȓȚȑȞȎțȖSiC (0001) ȝȞȜȖȟȣȜȒȭȠșȖȦȪȟșȎȏȩȓ ȖȕȚȓțȓțȖȭ (șȖȏȜ țȓ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ țȖȘȎȘȖȣ ȖȕȚȓțȓțȖȗ);

x ȐȩȟȜȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȎȭ ȜȏșȎȟȠȪ (1100–1300 K), Ȑ ȘȜȠȜȞȜȗ ȜȠțȜȦȓțȖȓ C/Si ȜȟȠȎȓȠȟȭ țȓȖȕȚȓțțȩȚ țȎ ȜȏȓȖȣ ȑȞȎțȭȣ SiC;

x ȜȏșȎȟȠȪȐȓȟȪȚȎȐȩȟȜȘȖȣȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ(1300–1450 K), ȐȘȜȠȜȞȜȗ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȞȓȕȘȜȓ ȡȟȖșȓțȖȓ ȟȓȑȞȓȑȎȤȖȗ ȡȑșȓȞȜȒȎ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȭȣ ȜȏȓȖȣȑȞȎțȓȗSiC, ȟȏȜșȓȓȐȩȟȜȘȜȗȟȠȓȝȓțȪȬȜȏȜȑȎȧȓțȖȭȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȡȑșȓȞȜȒȜȚ țȎ ƙ-ȑȞȎțȖ.

ǽȜȐȓȞȣțȜȟȠțȎȭȟȓȑȞȓȑȎȤȖȭȡȑșȓȞȜȒȎȐȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȜȚȖțȠȓȞȐȎ- șȓ1300–1450 K ȐȩȕȐȎțȎȝȞȓȖȚȡȧȓȟȠȐȓțțȩȚȡșȓȠȡȥȖȐȎțȖȓȚȘȞȓȚțȖȭ, ȥȠȜ ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȎȬȠ ȚȎȟȟ-ȟȝȓȘȠȞȜȟȘȜȝȖȥȓȟȘȖȓ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ. ǿȓȑȞȓȑȎȤȖȭ ȡȑșȓȞȜȒȎ Ȑ ȖțȠȓȞȐȎșȎȣ ȝȞȜȚȓȔȡȠȜȥțȩȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ ȭȐșȭȓȠȟȭȟșȜȔțȩȚȝȞȜȤȓȟȟȜȚ, ȘȜȠȜȞȩȗ, ȝȜ-ȐȖȒȖȚȜȚȡ, ȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȓȠ ȘȜȚȏȖțȎȤȖȬ ȟȓȑȞȓȑȎȤȖȖ ȡȑșȓȞȜȒȎ ȟ ȝȓȞȓȟȠȞȜȗȘȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȞȖ ȐȩȟȜȘȖȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ.

ǼȏȜȑȎȧȓțțȩȗ ȟșȜȗ ȡȑșȓȞȜȒȎ țȎ SiC ȭȐșȭȓȠȟȭ ȠȜțȘȖȚ. ǼȤȓțȘȖ ȝȜȘȎȕȩȐȎȬȠ, ȥȠȜ Ȓșȭ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ 1200 K ȠȜșȧȖțȎ ȟșȜȭ ȡȑșȓȞȜ-

382 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȒȎ 1.3 Å, ȎȝȞȖ1400 K – 6 Å. ǻȎȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, ȜȏȜȑȎȧȓțțȜȗȘȞȓȚțȖȓȚ, ȠȜșȧȖțȎ ȟșȜȭ ȡȑșȓȞȜȒȎ ȝȞȖ 1400 K ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ 9 Å.

ǽȜȐȩȦȓțțȜȓ ȟȜȒȓȞȔȎțȖȓ ȡȑșȓȞȜȒȎ Ȑ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȚ ȟșȜȓ SiC ȖȚȓȓȠ ȚȓȟȠȜ Ȗ ȝȞȖ ȜȠȔȖȑȓ ȟȠȞȡȘȠȡȞ ȟ țȎȝȩșȓțțȩȚȖ ȝșȓțȘȎȚȖ ȚȓȠȎșșȜȐ, ȥȠȜ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȠȞȎțȟȢȜȞȚȎȤȖȖ ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȟȜȟȠȎȐȎ ȝȓȞȓȣȜȒțȩȣ ȟșȜȓȐ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ [54].

1.5.2. ǼȟȜȏȓțțȜȟȠȖ ȚȓȔȢȎȕțȩȣ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȗ ȚȓȠȎșș–SiC

ǺțȜȑȜȥȖȟșȓțțȩȓ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ, ȐȩȝȜșțȓțțȩȓ țȎ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȜșȖȠȖȝȎȣ SiC ȝȞȖ ȐȎȞȪȖȞȜȐȎțȖȖ Ȗȣ ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖ, ȡȘȎȕȩȐȎȬȠ țȎ ȘȜȞȞȓșȭȤȖȬ ȠȓȞȚȜȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȖ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȟ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȜȗ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ Ȗ ȠȓȣțȜșȜȑȖȓȗ Ȗȣ ȝȞȖȑȜȠȜȐșȓțȖȭ.

DzȎțțȩȓ ȝȜ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗ ȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȖ ȞȭȒȎ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ, ȢȜȞȚȖȞȡȓȚȩȣȠȡȑȜȝșȎȐȘȖȚȖȚȓȠȎșșȎȚȖȟȘȎȞȏȖȒȜȚȘȞȓȚțȖȭȑȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȩȣ ȝȜșȖȠȖȝȜȐ, ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ Ȑ [15].

Dzșȭ ȘȡȏȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȠȐȓȞȒȜȢȎȕțȩȣ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȗ țȎ 150–200°ǿ țȖȔȓ, ȥȓȚ Ȓșȭ ȑȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȩȣ. ȋȠȖ ȜȠșȖȥȖȭ ȜȏȡȟșȜȐșȖȐȎȓȠ ȏȜșȪȦȎȭ ȐȓșȖȥȖțȎ ȫțȓȞȑȖȖ ȟȐȭ-

ȕȖ (dzȟȐ) Si-C 4.68 ȫǰȝȜȟȞȎȐțȓțȖȬȟdzȟȐ Si-Si [5]. ǰȩȟȜȘȜȓȕțȎȥȓțȖȓ dzȟȐ ȝȞȖȐȜȒȖȠ, ȟ ȜȒțȜȗ ȟȠȜȞȜțȩ, Ș ȝȜȐȩȦȓțȖȬ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȞȓȎȘȤȖȗ,

Ȏ ȟ ȒȞȡȑȜȗ – ȜȑȞȎțȖȥȖȐȎȓȠ ȟȖșȖȤȖȒȜȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ Ȑ ȘȜțȠȎȘȠȎȣ Ȗȕ-ȕȎ ȜȠȟȡȠȟȠȐȖȭ ȖȕȏȩȠȘȎ ȟȐȜȏȜȒțȜȑȜ ȘȞȓȚțȖȭ.

ǰ [55] ȜȠȚȓȥȎșȜȟȪ, ȥȠȜ ȝȜȐȩȦȓțȖȓ ȠȓȞȚȜȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȖ ȏȎȞȪȓȞțȩȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞ țȎ ȜȟțȜȐȓ SiC ȚȜȔțȜ ȜȏȓȟȝȓȥȖȠȪ, ȖȟȝȜșȪȕȡȭ ȚȓȠȎșșȖȥȓȟȘȖȓ ȝșȓțȘȖ Cr, W, Ta, Mo Ȗ Ȗȣ ȚțȜȑȜȟșȜȗțȩȓ ȘȜȚȏȖțȎȤȖȖ. ȋȠȜ ȕȎȘșȬȥȓțȖȓ ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȎȬȠ Ȗ ȒȎțțȩȓ ȠȎȏș. 1.5.

ǸȞȎȠȘȜȜȟȠȎțȜȐȖȚȟȭ țȎȟȝȓȤȖȢȖȘȓȝȞȜȠȓȘȎțȖȭ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ ȠȐȓȞȒȜȢȎȕțȩȣȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȗȐȘȜțȠȎȘȠțȩȣȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣ, ȜȏȞȎȕȜȐȎțțȩȣ ȫȠȖȚȖȚȓȠȎșșȎȚȖ. DzșȭȟȖȟȠȓȚȩW-SiC, ȐȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȖȖȟȖȕȜȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȚ ȟȓȥȓțȖȓȚ ȠȞȜȗțȜȗ ȢȎȕȜȐȜȗ ȒȖȎȑȞȎȚȚȩ [56], ȟ SiC Ȑ ȞȎȐțȜȐȓȟȖȖ țȎȣȜȒȭȠȟȭ ȠȞȖ ȢȎȕȩ: WC, WSi2, W3Si3.

DzȎțțȩȓȘȜȚȝșȓȘȟțȩȣȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ[57], ȐȩȝȜșțȓțțȩȣțȎ ȘȜț- ȠȎȘȠȎȣW-n-6H-SiC, ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȎȬȠȫȠȜȠȐȩȐȜȒ. ǯȩșȎȜȏțȎȞȡȔȓțȎȟȠȎ-

ȀȎȏșȖȤȎ 1.5. ȀȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ țȎȥȎșȎ ȠȐȓȞȒȜȢȎȕțȩȣ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȗ ȚȓȠȎșșȜȐ ȟ SiC

ǾȖȟ. 1.5. ǾȓțȠȑȓțȜȒȖȢȞȎȘȠȜȑȞȎȚȚȩ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ W-3C-SiC ȝȜȟșȓ ǯȀǼ ȝȞȖ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ [61]

ȏȖșȪțȜȟȠȪ ȑȞȎțȖȤȩ ȞȎȕȒȓșȎ W-SiC ȒȜ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȜȠȔȖȑȎ 1000°ǿ. ǽȞȖ ȏȜșȓȓ ȐȩȟȜȘȖȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ ȜȠȔȖȑȎ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȎȟȪ ȟșȜȓȐȎȭ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎ W-W5Si3-WC-SiC c ȭȥȓȖȟȠȜȗ ȚȜȞȢȜșȜȑȖȓȗ.

ǾȓȕȡșȪȠȎȠȩȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȖȘȜțȠȎȘȠȜȐ W-n-3C-SiC [58] Ȗ 4H-SiC [59] ȘȎȥȓȟȠȐȓțțȜ ȟȜȑșȎȟȡȬȠȟȭ ȟ ȒȎțțȩȚȖ, ȝȜșȡȥȓțțȩȚȖ țȎ ȝșȎȟȠȖțȓ 6H-SiC. ǼȒțȎȘȜ ȖȚȓȬȠȟȭ ȜȠșȖȥȖȭ Ȑ ȝȞȜȠȓȘȎțȖȖ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ ȢȎȕȜȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ, ȟȐȭȕȎțțȩȓ ȟ ȡȟșȜȐȖȭȚȖ ȝȞȜȐȓȒȓțȖȭ ȜȠȔȖȑȎ.

ǰ [60] ȝȞȖ ȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȓ ȝȞȖ 900°ǿ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ ȥȎȟȎ Ȑ ȎȠȚȜȟȢȓȞȓ ȎȞȑȜțȎ Ȑ ȘȜțȠȎȘȠȎȣ W(500 țȚ)-n-3C-SiC țȓ ȏȩșȖ ȕȎȢȖȘȟȖȞȜȐȎțȩ ȝȞȜȤȓȟȟȩ ȢȎȕȜȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ țȖ ȞȓțȠȑȓțȜȒȖȢȞȎȘȤȖȜțțȩȚ ȚȓȠȜȒȜȚ, țȖ ȚȓȠȜȒȜȚ ȜȏȞȎȠțȜȑȜ ȞȓȕȓȞȢȜȞȒȜȐȟȘȜȑȜ ȞȎȟȟȓȭțȖȭ.

ǽȞȜȒȡȘȠȜȚ ȠȐȓȞȒȜȢȎȕțȩȣ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȗ ȝȞȖ «ȏȩȟȠȞȩȣ ȜȠȔȖȑȎȣ» ȭȐșȭȓȠȟȭțȓȡȟȠȜȗȥȖȐȜȓȟȜȓȒȖțȓțȖȓW2C (ȞȖȟ. 1.5), ȘȎȘțȎ ȑȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȜȚ, ȠȎȘ Ȗ țȎ ȘȡȏȖȥȓȟȘȜȚ ȝȜșȖȠȖȝȎȣ SiC [61]. ȋȠȜ ȜȏȟȠȜȭȠȓșȪȟȠȐȜ, ȝȜ-ȐȖȒȖȚȜȚȡ, ȭȐșȭȓȠȟȭ ȟșȓȒȟȠȐȖȓȚ ȠȜȑȜ, ȥȠȜ ȝȞȖ ȎțȎșȖȕȓ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ ȢȎȕȜȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ Ȑ ȘȜțȠȎȘȠȓ țȓȜȏȣȜȒȖȚ ȡȥȓȠ țȓ ȠȜșȪȘȜ ȠȓȞȚȜȒȖțȎȚȖȥȓȟȘȖȣ, țȜȖȘȖțȓȠȖȥȓȟȘȖȣȢȎȘȠȜȞȜȐ, ȜȝȞȓȒȓșȭȬȧȖȣȡȟșȜȐȖȭ ȝȞȜȠȓȘȎțȖȭ ȞȓȎȘȤȖȖ ȚȓȠȎșșȎ Ȗ ȘȜȚȝȜțȓțȠ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ.

DzșȭȟȖȟȠȓȚȩMo-SiC, ȐȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȖȖȟ[56], ȡȟȠȜȗȥȖȐȩȚȖȢȎȕȎȚȖ, țȓ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȡȬȧȖȚȖ ȟ SiC ȝȞȖ țȎȑȞȓȐȎțȖȖ, ȭȐșȭȬȠȟȭ Mo5Si3

Ȗ MoSi2.

ȃȎȞȎȘȠȓȞ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȜ-ȢȎȕȜȐȜȗ ȝȓȞȓȟȠȞȜȗȘȖ ǺȂDZ ȞȎȕȒȓșȎ ȝȞȖ ȐȩȟȜȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȩȣȜȠȔȖȑȎȣ(.1200°ǿ), ȘȎȘȏȩșȜȝȜȘȎȕȎțȜȐ [58, 62], țȓ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȝȜșȖȠȖȝȎ Ȗ ȟȜȝȞȜȐȜȔȒȎȓȠȟȭ ȐȜȕțȖȘțȜȐȓțȖȓȚ ȟșȜȖȟȠȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ Mo2C-Mo5Si3-SiC (ȞȖȟ. 1.6).