belyaev_a_e_konakova_r_v_red_karbid_kremniya_tehnologiya_svo
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170 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.
ǼȟȠȞȎȭ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜȟȠȪ Ȑ ȟȜȕȒȎțȖȖ ȡȟȠȞȜȗȟȠȐ, ȞȎȏȜȠȎȬȧȖȣ Ȑ ȫȘȟȠȞȓȚȎșȪțȩȣȡȟșȜȐȖȭȣ, ȜȝȞȓȒȓșȖșȎȟțȎȥȎșȎ90-ȣȑ. ȜȟȜȏȓțțȩȗȖțȠȓȞȓȟ ȘȘȎȞȏȖȒȡȘȞȓȚțȖȭ. ǰȩȟȜȘȖȓȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩDzȓȏȎȭȖȠȓȝșȜȝȞȜȐȜȒțȜȟȠȪ, ȏȜșȪȦȎȭȦȖȞȖțȎȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗȕȜțȩȖȒȞȡȑȖȓȝȎȞȎȚȓȠȞȩȝȜȕȐȜșȭȬȠ ȞȎȕȞȎȏȎȠȩȐȎȠȪ ȏȩȟȠȞȜȒȓȗȟȠȐȡȬȧȖȓ, ȞȎȒȖȎȤȖȜțțȜȟȠȜȗȘȖȓ ȡȟȠȞȜȗȟȠȐȎ, ȞȎȏȜȠȎȬȧȖȓ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ ȐȩȦȓ 500°ǿ [260, 261].
ǼȒțȎȘȜ, ȟȡȧȓȟȠȐȡȓȠ ȞȭȒ ȢȎȘȠȜȞȜȐ, ȝȞȓȝȭȠȟȠȐȡȬȧȖȣ ȜȞȑȎțȖȕȎȤȖȖ ȚȎȟȟȜȐȜȑȜ ȝȞȜȖȕȐȜȒȟȠȐȎ ȝȞȖȏȜȞȜȐ țȎ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ. ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, țȓȘȜȠȜȞȩȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ SiC ȭȐșȭȬȠȟȭȝȞȖȥȖțȜȗ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȣ ȕȎȠȞȡȒțȓțȖȗȝȞȖȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȖȝȞȖȏȜȞȜȐ. ȋȠȜ – țȖȕȘȖȓȟȘȜȞȜȟȠȪȜȘȖȟșȓțȖȭȖȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȩȒȖȢȢȡȕȖȖȜȟțȜȐțȩȣșȓȑȖȞȡȬȧȖȣȝȞȖȚȓȟȓȗ ȝȞȖ ȞȓȎșȖȕȡȓȚȩȣ ȟȠȎțȒȎȞȠțȩȚ ȜȏȜȞȡȒȜȐȎțȖȓȚ ȚȖȘȞȜȫșȓȘȠȞȜțțȜȗ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ȞȓȔȖȚȎȣ, ȐȩȟȜȘȎȭ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ țȓȘȜțȠȞȜșȖȞȡȓȚȩȣ ȝȞȖȚȓȟȓȗ, ȐȩȟȜȘȖȓ ȟȠȓȝȓțȪ ȎȚȜȞȢȖȕȎȤȖȖ Ȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎ ȎȘȠȖȐȎȤȖȜțțȜȑȜ ȜȠȔȖȑȎ ȝȞȖ ȖȜțțȜȗ ȖȚȝșȎțȠȎȤȖȖ Ȗ ȒȞ.
ǰȓȒȡȧȖȗ ȝȞȜȖȕȐȜȒȖȠȓșȪ ȘȜȚȚȓȞȥȓȟȘȜȑȜ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ – ȢȖȞȚȎ Cree (ǿȓȐȓȞțȎȭ ǸȎȞȜșȖțȎ, ǿȆǮ) ȝȞȜȒȓȚȜțȟȠȞȖȞȜȐȎș ȝșȎȟȠȖțȩ4ǻ- Ȗ6ǻ-SiC ȒȖȎȚȓȠȞȜȚ100 ȚȚȟțȖȕȘȜȗȝșȜȠțȜȟȠȪȬȘȞȖȟȠȎșșȜȑȞȎȢȖȥȓȟȘȖȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐ [262 264]. ȋȠȖȚ ȟțȭȠȜ ȜȒțȜ Ȗȕ ȜȟțȜȐțȩȣ ȝȞȓȝȭȠȟȠȐȖȗțȎȝȡȠȖȜȞȑȎțȖȕȎȤȖȖȚȎȟȟȜȐȜȑȜȝȞȜȖȕȐȜȒȟȠȐȎȝȞȖȏȜȞȜȐ ȫȘȟȠȞȓȚȎșȪțȜȗ ȫșȓȘȠȞȜțȖȘȖ, Ȗ țȎ ȏȜșȪȦȖțȟȠȐȓ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣ ȜȝȓȞȎȤȖȗ ȚȜȑȡȠ ȏȩȠȪ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȩ ȟȠȎțȒȎȞȠțȩȓ Ȓșȭ ȚȖȘȞȜȫșȓȘȠȞȜțțȜȗ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ȜȏȜȞȡȒȜȐȎțȖȓ Ȗ ȜȟțȎȟȠȘȎ.
ȃȎȞȎȘȠȓȞțȜȗ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȪȬ ȞȎȕȐȖȠȖȭ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ȝȞȖȏȜȞȜȐ țȎ ȜȟțȜȐȓ SiC ȭȐșȭȓȠȟȭ țȓȝȞȓȞȩȐțȩȗ ȝȜȖȟȘ țȜȐȩȣ ȝȜȒȣȜȒȜȐ Ȗ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣ ȞȓȦȓțȖȗ, ȝȞȖȐșȓȥȓțȖȓ ȝȓȞȟȝȓȘȠȖȐțȩȣ ȚȓȠȜȒȜȐ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ Ȗ ȚȜȒȖȢȖȘȎȤȖȖ ȟȐȜȗȟȠȐ ȟȠȞȡȘȠȡȞ.
DzȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȝȓȞȟȝȓȘȠȖȐțȩȚ Ȓșȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȎȘȠȖȐțȩȣ ȜȏșȎȟȠȓȗ ǶǺǿ țȎ SiC ȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȓȠȟȭ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȩȣ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ. ȋȠȜ ȟȐȭȕȎțȜ, ȝȞȓȔȒȓ ȐȟȓȑȜ, ȟ țȎșȎȔȓțțȜȟȠȪȬ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣȝȞȜȤȓȟȟȜȐ ȒșȭȚȖȘȞȜȫșȓȘȠȞȜțȖȘȖ ȖțȎȘȜȝșȓțțȩȚ ȘțȎȟȠȜȭȧȓȚȡ ȐȞȓȚȓțȖ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȚ ȠȓȜȞȓȠȖȥȓȟȘȖȚ ȕȎȒȓșȜȚ.
ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, ȟȜȐȞȓȚȓțțȩȓ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȖȭ Ȝȏ ȎȘȠȖȐȖȞȡȓȚȩȣ ȝȞȜȤȓȟȟȎȣȚȖȘȞȜȫșȓȘȠȞȜțțȜȗȠȓȣțȜșȜȑȖȖȝȜȕȐȜșȭȬȠȞȎȕȞȎȏȎȠȩȐȎȠȪ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȓ ȝȞȜȤȓȟȟȩ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȫȢȢȓȘȠȜȐ țȓȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗȎȘȠȖȐȎȤȖȖ, ȥȠȜȝȜȕȐȜșȭȓȠȢȜȞȚȖȞȜȐȎȠȪp-n ȝȓȞȓȣȜȒȩ ȟ ȘȜțȠȞȜșȖȞȡȓȚȩȚȖ ȝȎȞȎȚȓȠȞȎȚȖ [265].
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 8 |
171 |
|
|
8.5.2.ǺȓȣȎțȖȕȚȩ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȝȞȖȚȓȟȓȗ Ȑ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎȣ
8.5.2.1.ǰȎȘȎțȟȖȜțțȩȗ ȚȓȣȎțȖȕȚ
DzȖȢȢȡȕȖȭ ȝȜ ȫȠȜȚȡ ȚȓȣȎțȖȕȚȡ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȕȎ ȟȥȓȠ ȠȜȥȓȥțȩȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐ – ȐȎȘȎțȟȖȗ (CV* ) Ȗ ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȣ ȎȠȜȚȜȐ (CI* ) . ǽȞȓ-
ȖȚȡȧȓȟȠȐȓțțȩȗ ȚȓȣȎțȖȕȚ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȟȜȜȠțȜȦȓțȖȓȚ |
||
ȖȣȞȎȐțȜȐȓȟțȩȣȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȗ: ȝȞȖ C* |
C* |
– ȐȎȘȎțȟȖȜțțȩȗ, ȝȞȖ |
V |
I |
|
CV* CI* – ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȗ. dzȟșȖȐȓșȖȥȖțȩ (CV* ) Ȗ (CI* ) ȟȞȎȐțȖȚȩ,
ȠȜ ȖȚȓȓȠ ȚȓȟȠȜ ȐȎȘȎțȟȖȜțțȜ-ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȗ ȚȓȣȎțȖȕȚ [266, 267]. DzȖȢȢȡȕȖȭ ȜȟȡȧȓȟȠȐșȭȓȠȟȭ, ȘȎȘ ȝȞȎȐȖșȜ, ȏșȎȑȜȒȎȞȭ ȚȖȑȞȎȤȖȖ Ȗ ȞȎȟȝȎȒȡ ȘȜȚȝșȓȘȟȜȐ ȝȞȖȚȓȟțȩȗ ȎȠȜȚ – ȐȎȘȎțȟȖȭ. ǿȣȓȚȎȠȖ-
ȥȓȟȘȖ ȝȞȜȤȓȟȟ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȝȜ ȐȎȘȎțȟȖȜțțȜȚȡ ȚȓȣȎțȖȕȚȡ ȝȜȘȎȕȎț țȎ ȞȖȟ. 8.10. ǺȖȑȞȎȤȖȭȘȜȚȝșȓȘȟȜȐȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠȝȡȠȓȚȤȖȘșȖȥȓȟȘȖȣ ȠȞȎțȟȝȜȕȖȤȖȗ Ȗ ȝȓȞȓȜȞȖȓțȠȎȤȖȗ.
ȋȠȎȑȖȝȜȠȓȕȎȜȏȨȭȟțȭȓȠȏȜșȓȓțȖȕȘȖȓȕțȎȥȓțȖȭȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȜ ȜȝȞȓȒȓșȓțțȩȣ ȝȞȓȒȫȘȟȝȜțȓțȤȖȎșȪțȩȣ ȚțȜȔȖȠȓșȓȗ Ȗ ȫțȓȞȑȖȗ ȎȘȠȖȐȎȤȖȖȐȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎȣȒȖȢȢȡȕȖȖȝȞȖȚȓȟțȩȣȎȠȜȚȜȐ, ȥȓȚȐ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎȣ ȟȎȚȜȒȖȢȢȡȕȖȖ ȘȞȓȚțȖȭ. ǰ ȫȠȜȚ ȟșȡȥȎȓ ȫțȓȞȑȖȭ ȎȘȠȖȐȎȤȖȖ ȒȖȢȢȡȕȖȖȡȚȓțȪȦȎȓȠȟȭȕȎȟȥȓȠȟțȖȔȓțȖȭȫțȓȞȑȖȖȟȐȭȕȖȡȘȜȚȝșȓȘȟȜȐ. ǼȒțȜȐȞȓȚȓțțȜ ȡȚȓțȪȦȎȓȠȟȭ ȝȜ ȟȞȎȐțȓțȖȬ ȟ ȟȎȚȜȒȖȢȢȡȕȖȓȗ Ȗ ȝȞȓȒȫȘȟȝȜțȓțȤȖȎșȪțȩȗȚțȜȔȖȠȓșȪ, ȠȎȘȘȎȘȒșȭȫȢȢȓȘȠȖȐțȜȑȜȟȚȓȧȓțȖȭ ȝȞȖȚȓȟȖ ȠȞȓȏȡȓȠȟȭ ȏȜșȪȦȓȓ ȥȖȟșȜ ȝȞȩȔȘȜȐ ȐȎȘȎțȟȖȖ.
dzȟșȖȟȜȏȟȠȐȓțțȩȗ ȖșȖȝȞȖȚȓȟțȩȗ ȎȠȜȚȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȓȠ ȐȜȏȨȓȚ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȜȟȞȓȒȟȠȐȜȚ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȭ ȟ ȠȜȥȓȥțȩȚȖ ȒȓȢȓȘȠȎȚȖ, ȠȜ ȓȑȜ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȒȖȢȢȡȕȖȖȝȞȜȝȜȞȤȖȜțȎșȓțȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜȗȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ CV Ȗ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȡ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȒȓȢȓȘȠȜȐ DV. ǻȎȝȞȖȚȓȞ, ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȟȎȚȜȒȖȢȢȡȕȖȖ ȝȜ țȓȗȠȞȎșȪțȩȚ ȐȎȘȎțȟȖȭȚ DSV ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȢȜȞȚȡșȜȗ:
ǾȖȟ. 8.10. ǰȎȘȎțȟȖȜțțȩȗȚȓȣȎțȖȕȚȒȖȢ- |
DSV = fV DV CV |
(8.7) |
ȢȡȕȖȖ ȝȞȖȚȓȟȖ ȕȎȚȓȧȓțȖȭ |
|
|
172 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.
ȑȒȓ fV – ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȘȜȞȞȓșȭȤȖȖ, ȜȏȡȟșȜȐșȓțțȩȗ ȠȓȚ, ȥȠȜ ȎȠȜȚ ȚȜȔȓȠțȓȜȒțȜȘȞȎȠțȜȜȏȚȓțȖȐȎȠȪȟȭȝȜșȜȔȓțȖȓȚȟȒȎțțȜȗȐȎȘȎțȟȖȓȗ (Ȓșȭ ȎșȚȎȕțȜȗ ȞȓȦȓȠȘȖ fV= 0.5).
ǿ ȡȥȓȠȜȚ ȕȎȞȭȒȜȐȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ ȐȎȘȎțȟȖȗ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȝȞȖȚȓȟȖ ȜȏȡȟșȜȐșȓțțȩȗ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȧȖȚ ȕȎȞȭȒȜȐȩȚ ȟȜȟȠȜȭ-
țȖȓȚ DAV ȚȜȔțȜ ȝȞȓȒȟȠȎȐȖȠȪ Ȑ ȐȖȒȓ [267]: |
¬2 |
|
|
|
|
|
|||||
0 |
n ¬ |
n |
+ |
n ¬ |
|
||||||
|
|
|
= |
|
|
|
i |
|
(8.8) |
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|
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|||
DAV = DAV + DAV |
|
+ DAV |
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|||||||
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+ DAV |
|
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|
n |
|
n |
|
|
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® |
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|
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i ® |
i |
|
|
|
|
|
|||
ȑȒȓ n – ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȐȎȘȎțȟȖȗ; ni – ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȕȎȘȞȓȝșȓțțȩȣ ȐȎȘȎțȟȖȗ.
8.5.2.2. ǺȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȗ ȚȓȣȎțȖȕȚ
ǸȞȜȚȓ ȐȎȘȎțȟȖȜțțȜȑȜ, ȐȎȔțȡȬ ȞȜșȪ Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȎȣ ȝȓȞȓțȜȟȎ ȝȞȖȚȓȟȖȖȑȞȎȓȠȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȗȚȓȣȎțȖȕȚȒȖȢȢȡȕȖȖ, ȘȜȑȒȎȖȚȓȓȠȚȓȟȠȜ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȓ ȎȠȜȚȜȐ ȝȞȖȚȓȟȖ ȟ ȟȜȏȟȠȐȓțțȩȚȖ ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȚȖ ȎȠȜȚȎȚȖ. ǰ ȘȞȓȚțȖȖ ȠȎȘȜȓ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȓ ȚȜȔȓȠ ȝȞȖȐȜȒȖȠȪ Ș ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬ ȘȜȚȝșȓȘȟȜȐ ȎȠȜȚȜȐ ȝȞȖȚȓȟȖ Ȗ ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȣ ȎȠȜȚȜȐ ȘȞȓȚțȖȭ – Ǯ I. ǼȠȒȓșȪțȩȗ ȎȠȜȚ ȝȞȖȚȓȟȖ, ȝȓȞȓȦȓȒȦȖȗ Ȑ ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȜȓ ȝȜșȜȔȓțȖȓ Ȑ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȓ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȭ ȟ ȟȜȏȟȠȐȓțțȩȚ ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȚ ȎȠȜȚȜȚ, ȠȎȘȔȓ ȚȜȔțȜ ȞȎȟȟȚȎȠȞȖȐȎȠȪ ȘȎȘ ȐȩȞȜȔȒȓțțȩȗ ȘȜȚȝșȓȘȟ, ȟȜȟȠȜȭȧȖȗ Ȗȕ ȜȒțȜȑȜ ȎȠȜȚȎ [266].
ǺȓȔȒȡ ȐȎȘȎțȟȖȜțțȩȚ Ȗ ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȚ ȚȓȣȎțȖȕȚȎȚȖ ȖȚȓȓȠȟȭ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȓȞȎȕșȖȥȖȓ. ǰȠȜȐȞȓȚȭȘȎȘȒșȭȝȓȞȓȚȓȧȓțȖȭȝȞȖȚȓȟțȜȑȜ ȎȠȜȚȎȝȜȟȞȓȒȟȠȐȜȚȐȎȘȎțȟȖȜțțȜȑȜȚȓȣȎțȖȕȚȎțȓȜȏȣȜȒȖȚȎ, ȝȜ ȘȞȎȗțȓȗ ȚȓȞȓ, ȥȎȟȠȖȥțȎȭ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȭ ȝȎȞȩ A V, ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȎȭ ȒȖȢȢȡȕȖȭ ȏȡȒȓȠȖȚȓȠȪȚȓȟȠȜȠȜșȪȘȜȘȜȑȒȎȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȧȖȗȘȜȚȝșȓȘȟǮ I ȏȡȒȓȠ țȎȣȜȒȖȠȪȟȭȐțȓȒȖȟȟȜȤȖȖȞȜȐȎțțȜȚȟȜȟȠȜȭțȖȖ. ǽȜȠȓțȤȖȎșȪțȎȭȫțȓȞȑȖȭ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ ȘȜȚȝșȓȘȟȎ Ǯ I Ȗ ȓȑȜ ȚȖȑȞȎȤȖȖ ȝȜȘȎȕȎțȩ țȎ ȞȖȟ. 8.11.
ȋțȓȞȑȖȭ ȎȘȠȖȐȎȤȖȖ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȝȞȖȚȓȟȖ ȝȜ ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȜȚȡ ȚȓȣȎțȖȕȚȡ ȕȎȝȖȟȩȐȎȓȠȟȭ ȟșȓȒȡȬȧȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ [266]:
QA I = HmA I + HAf I = HmA I + HIf EbA I |
(8.9) |
ȑȒȓ HmA I – ȫțȠȎșȪȝȖȭ ȚȖȑȞȎȤȖȖ ȘȜȚȝșȓȘȟȎ; HAf I – ȫțȠȎșȪȝȖȭ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭȘȜȚȝșȓȘȟȎ; HIf – ȫțȠȎșȪȝȖȭȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȜȑȜ ȎȠȜȚȎ; EbA I – ȫțȓȞȑȖȭ ȟȐȭȕȖ ȘȜȚȝșȓȘȟȎ.
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 8 |
173 |
|
|
ǾȖȟ. 8.11. ǽȜȠȓțȤȖȎșȪțȎȭ ȫțȓȞȑȖȭ ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȜȑȜ ȎȠȜȚȎ Ȑ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ ȞȎȟȟȠȜȭțȖȭ ȒȜ ȝȞȖȚȓȟțȜȑȜ ȎȠȜȚȎ
Dzșȭ ȟȎȚȜȒȖȢȢȡȕȖȖ |
|
|
|
Q |
= Hm + H f |
(8.10) |
|
S I |
I |
I |
|
ǾȎȕțȖȤȎ ȚȓȔȒȡ ȫȠȖȚȖ ȐȓșȖȥȖțȎȚȖ |
|
|
|
%QA I w(QS I QA I ) = (HIm HmA I )+ EbA I |
(8.11) |
||
ǿșȓȒȡȓȠ ȜȠȚȓȠȖȠȪ, ȥȠȜ țȓȘȜȠȜȞȩȓ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȜ țȎȏșȬȒȎȓȚȩȓ ȫȢȢȓȘȠȩ (țȎȝȞȖȚȓȞ, ȒȖȢȢȡȕȖȭ, ȡȟȘȜȞȓțțȎȭ ȜȘȖȟșȓțȖȓȚ ȖșȖ ȒȖȢȢȡȕȖȭ, ȕȎȚȓȒșȓțțȎȭȜȘȖȟșȓțȖȓȚ) țȓȐȜȕȚȜȔțȜȜȏȨȭȟțȖȠȪȐ ȞȎȚȘȎȣ ȥȖȟȠȜ ȐȎȘȎțȟȖȜțțȜȗ ȖșȖ ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȜȗ ȚȜȒȓșȖ. ǽȞȖ ȜȘȖȟșȓțȖȖ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȖțȔȓȘȤȖȭ ȟȜȏȟȠȐȓțțȩȣ ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȣ ȎȠȜȚȜȐ ȘȞȓȚțȖȭ, Ȏ țȎȏșȬȒȎȓȚȩȓ ȫȢȢȓȘȠȩ ȡȟȘȜȞȓțȖȭ ȖșȖ ȕȎȚȓȒșȓțȖȭ ȒȖȢȢȡȕȖȖȟȐȖȒȓȠȓșȪȟȠȐȡȬȠȜȐȜȕȚȜȔțȜȚȐșȖȭțȖȖȫȠȖȣȚȓȔȒȜȡȕșȖȗ țȎȝȞȜȤȓȟȟȒȖȢȢȡȕȖȖ ȝȞȖȚȓȟȓȗ. ǽȜȫȠȜȚȡțȓȜȏȣȜȒȖȚȜȝȞȖȐșȓȥȓțȖȓ ȒȐȜȗțȜȑȜ ȐȎȘȎțȟȖȜțțȜ-ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȜȑȜ ȚȓȣȎțȖȕȚȎ.
8.5.2.3. ǰȎȘȎțȟȖȜțțȜ-ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȗ ȚȓȣȎțȖȕȚ
dzȟșȖȝȞȖȚȓȟȪǮȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȓȠȝȜȒȐȜȗțȜȚȡȐȎȘȎțȟȖȜțțȜ-ȚȓȔ- ȒȜȡȕȓșȪțȜȚȡ ȚȓȣȎțȖȕȚȡ, ȠȜ ȓȓ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȒȖȢȢȡȕȖȖ DA ȚȜȔțȜ ȝȞȓȒȟȠȎȐȖȠȪ Ȑ ȐȖȒȓ:
|
|
|
|
|
C |
¬ |
|
|
|
C |
¬ |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
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||||
|
|
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|
I |
|
V |
(8.12) |
|||||||
D |
A |
= D |
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|
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|
|
+ D |
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|||||||||
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A I |
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|
A V |
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|||||
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|
C |
|
|
|
C |
|
|
||||
|
|
|
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|
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I ® |
|
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|
V ® |
|
|||
ȑȒȓ DA I , DA V – ȞȎȐțȜȐȓȟțȩȓȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȩȒȖȢȢȡȕȖȖȝȞȖȚȓȟȖ Ǯ ȝȜ ȚȓȔȒȜȡȕșȖȭȚ Ȗ ȐȎȘȎțȟȖȭȚ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ. ȂȜȞȚȎ ȡȞȎȐțȓțȖȭ
174 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.
ȜȟțȜȐȩȐȎȓȠȟȭ țȎ ȝȞȓȒȝȜșȜȔȓțȖȖ, ȥȠȜ țȖ ȜȒțȎ Ȗȕ ȞȎȐțȜȐȓȟțȩȣ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȗ țȓ ȞȎȐțȎ țȡșȬ.
ǰȐȜȒȭ ȝȜțȭȠȖȓ ȒȜșȖ ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȜȑȜ ȚȓȣȎțȖȕȚȎ fI ȝȞȖ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȝȞȖȚȓȟȖ:
|
|
|
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DA I |
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(8.13) |
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ȑȒȓ DA = DA I + DA V |
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DA |
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– ȞȎȐțȜȐȓȟțȩȗȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȒȖȢȢȡȕȖȖȝȞȖ- |
|||||||||||||||||
ȚȓȟȖ Ǯ, ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȚȜȔțȜ ȜȝȞȓȒȓșȖȠȪ Ȗȕ ȡȞȎȐțȓțȖȭ: |
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(8.14) |
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ǰȓșȖȥȖțȎ fI ȝȞȖ ȢȖȘȟȖȞȜȐȎțțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȝȜȟȠȜȭțțȜȗ Ȗ ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȜȤȓțȓțȎ ȝȜ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȎȚ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȣ
ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ ȞȎȟȠȐȜȞȓțȖȭ Ȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȜȘȖȟșȖȠȓșȪțȩȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȡȝȎȘȜȐȘȖ, ȝȜȕȐȜșȭȬȧȖȣ ȝȜșȡȥȖȠȪ ȟȞȓȒțȬȬ țȜȞȚȖȞȜȐȎțțȡȬ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȬ ȟȜȏȟȠȐȓțțȩȣ ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȣ ȎȠȜȚȜȐ, Ȏ ȠȎȘȔȓ ȟȞȓȒțȖȗ țȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȗ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȝȞȖȚȓȟȖ ȕȎ ȐȞȓȚȭ ȜȘȖȟșȓțȖȭ. ǿȞȓȒțȬȬ țȜȞȚȖȞȜȐȎțțȡȬ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȬ ȐȎȘȎțȟȖȗ țȓșȪȕȭ ȜȝȞȓȒȓșȖȠȪȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȜ, ȣȜȠȭȜțȎȚȜȔȓȠȏȩȠȪȜȤȓțȓțȎȖȕ ȟȎȚȩȣ ȜȏȧȖȣ ȠȓȜȞȓȠȖȥȓȟȘȖȣ ȝȞȓȒȝȜșȜȔȓțȖȗ. ȀȜȠ ȢȎȘȠ, ȥȠȜ ȐȓșȖȥȖțȎ fI ȣȜȠȭ ȏȩ Ȓșȭ ȜȒțȜȑȜ ȠȖȝȎ ȝȞȖȚȓȟȖ țȎȣȜȒȖȠȟȭ ȚȓȔȒȡ țȡșȓȚ Ȗ ȓȒȖțȖȤȓȗ, ȭȐșȭȓȠȟȭ țȎȖșȡȥȦȖȚ ȒȜȘȎȕȎȠȓșȪȟȠȐȜȚ ȠȜȑȜ, ȥȠȜ ȖȚȓȬȠ ȚȓȟȠȜ ȜȏȎ ȚȓȣȎțȖȕȚȎ ȒȖȢȢȡȕȖȖ.
8.5.2.4. ǺȓȣȎțȖȕȚȩ ȒȖȢȢȡȕȖȖ «kick-out» Ȗ ȒȖȟȟȜȤȖȎȠȖȐțȜȐȎȘȎțȟȖȜțțȩȗ
ǰȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȭȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȣȎȠȜȚȜȐȘȞȓȚțȖȭȟȝȞȖȚȓȟțȩȚȖ ȎȠȜȚȎȚȖ(ȚȓȣȎțȖȕȚȩkick-out) ȖșȖȐȎȘȎțȟȖȗȘȞȓȚțȖȭVSi ȟȎȠȜȚȎȚȖ ȝȞȖȚȓȟȖ (ȒȖȟȟȜȤȖȎȠȖȐțȜ-ȐȎȘȎțȟȖȜțțȩȗ ȚȓȣȎțȖȕȚ) ȝȞȖȐȜȒȭȠ Ș ȡȟȘȜȞȓțȖȬ ȒȖȢȢȡȕȖȖ Ȑ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎȣ ȝȞȖ ȜȘȖȟșȓțȖȖ [268].
ǰȟșȡȥȎȓ ȚȓȣȎțȖȕȚȎ kick-out ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȝȓȞȓȕȎȞȭȒȘȎ ȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȧȖȣ ȎȠȜȚȜȐ.
(BiVSi )+ Sii+ Si0 + B0S
(8.15) 2(e + h) + BS0 + Si0 (BiVSi ) + Sii+ + e + h B0S + Sii0
ȑȒȓ Bi – ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȗ ȏȜȞ, BS – ȏȜȞ țȎ ȚȓȟȠȓ Sii.
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 8 |
175 |
|
|
ǼȟțȜȐțȜȗȐȘșȎȒȐȜȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȓȐțȜȟȭȠȖȜțȩǰȖȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȓ ȎȠȜȚȩ Sii, Ȗȣ ȕȎȞȭȒȜȐȜȓ ȟȜȟȠȜȭțȖȓ Ȗ ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȭ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖ ȐȜȕȏȡȔȒȓțțȩȣ țȜȟȖȠȓșȓȗ ȕȎȞȭȒȎ ȥȓȞȓȕ ȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȧȖȓ ȎȠȜȚȩ.
ǰȟșȡȥȎȓȒȖȟȟȜȤȖȎȠȖȐțȜ-ȐȎȘȎțȟȖȜțțȜȑȜȚȓȣȎțȖȕȚȎȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȓ ȝȞȖȚȓȟțȜȑȜȎȠȜȚȎȏȜȞȎȟȐȎȘȎțȟȖȓȗȝȜȟșȓȒȡȬȧȖȚ ȞȓȎȘȤȖȭȚ:
B +V + |
V 0 |
+ B0 |
|
S |
Si |
Si |
S |
BS0 +VSi+ (BiVSi ) +VSi0 + h |
(BiVSi ) +VSi+ VSi0 + BS0 |
||
ǿȜȑșȎȟțȜ [268], ȐȎȘȎțȟȖȖ VSi+ ȟȠȖȚȡșȖȞȡȬȠ ȒȖȢȢȡȕȖȬ Ɗ Ȑ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȎȣ ȘȞȓȚțȖȭ Ȑ țȎȝȞȎȐșȓțȖȖ (100).
8.5.2.5. DzȖȟȟȜȤȖȎȠȖȐțȩȗ ȚȓȣȎțȖȕȚ ȒȖȢȢȡȕȖȖ
ǽȞȖ ȒȖȟȟȜȤȖȎȠȖȐțȜȚ ȚȓȣȎțȖȕȚȓ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȜȒțȜȐȞȓȚȓțțȜȓ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȓ ȎȠȜȚȜȐ ȕȎȚȓȧȓțȖȭ NS, ȎȠȜȚȜȐ ȐțȓȒȞȓțȖȭ – Ni, Ȗ ȐȎȘȎțȟȖȗ NV. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȡȞȎȐțȓțȖȭ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȖȚȓȬȠ ȜȒțȜȠȖȝțȩȗ ȐȖȒ, Ȑ ȥȎȟȠțȜȟȠȖ Ȓșȭ Ni [268]:
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i |
|
d |
|
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i |
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(8.16) |
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|
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|
|
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|
|
|||
ȑȒȓDi – ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȎȠȜȚȜȐȐțȓȒȞȓțȖȭ, Z – ȕȎȞȭȒȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȧȓȑȜȎȠȜȚȎ, Ki – ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȖȕȚȓțȓțȖȭȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȣȎȠȜȚȜȐ, Ni0 – ȖȟȣȜȒțȎȭȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȣ ȎȠȜȚȜȐ, E – ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȓ ȝȜșȓ.
ȂȖȑȡȞțȩȚȖ Ȗ ȏȜșȪȦȖȚȖ ȘȐȎȒȞȎȠțȩȚȖ ȟȘȜȏȘȎȚȖ Ȑ ȡȞȎȐțȓțȖȖ ȐȩȒȓșȓțȩ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȩȗ (ȑȞȎȒȖȓțȠțȩȗ) Ȗ ȒȞȓȗȢȜȐȩȗ ȝȜȠȜȘȖ, ȘȐȎȒȞȎȠțȩȚȖ ȟȘȜȏȘȎȚȖ – ȝȜȠȜȘȖ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖ (ȑȓțȓȞȎȤȖȖ) Ȗ ȎȟȟȜȤȖȎȤȖȖ (ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȖ) ȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȧȖȣ ȥȎȟȠȖȤ Ȗ ȘȞȡȑșȩȚȖ ȟȘȜȏȘȎȚȖ – ȟȠȜȘȖ ȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȧȖȣ ȥȎȟȠȖȤ ȕȎ ȟȥȓȠ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗ ȞȓȦȓȠȘȖ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ.
ǰȡȞȎȐțȓțȖȭȣȝȞȓȒȝȜșȎȑȎȓȠȟȭ, ȥȠȜȟȘȜȞȜȟȠȪȬ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȚȜȔțȜ ȡȝȞȎȐșȭȠȪ țȓ ȠȜșȪȘȜ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȜȗ (Ȁ), ȑȞȎȒȖȓțȠȜȚ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ (dN/ dx), ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȚ ȝȜșȓȚ (dz), țȜ Ȗ ȟȘȜȞȜȟȠȪȬ ȒȖȟȟȜȤȖȎȤȖȖ (ȑȓțȓȞȎȤȖȖ) Ȗ ȎȟȟȜȤȖȎȤȖȖ (ȞȓȘȜȚȏȖțȎȤȖȖ) ȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȧȖȣ ȥȎȟȠȖȤ ȝȡȠȓȚ ȐȜȕȒȓȗȟȠȐȖȭ ȒȞȡȑȖȚȖ ȢȎȘȠȜȞȎȚȖ, ȠȎȘȖȚȖ ȘȎȘ ȟȐȓȠ (hO), ȞȎȒȖȎȤȖȭ (B, C, H), ȖȜțțȎȭ ȖȚȝșȎțȠȎȤȖȭ [268]. ǰ ȫȠȜȚ ȟșȡȥȎȓ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȡȬ ȞȜșȪ ȖȑȞȎȬȠ ȐȜȕȏȡȔȒȓțȖȓ ȫșȓȘȠȞȜțțȜȗ ȝȜȒȟȖȟȠȓȚȩ Ȗ ȝȓȞȓȕȎȞȭȒȘȎ ȎȠȜȚȜȐ ȐțȓȒȞȓțȖȭ, ȕȎȚȓȧȓțȖȭ Ȗ ȐȎȘȎțȟȖȗ.
176 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.
ǻȎ ȜȟțȜȐȓ ȒȖȟȟȜȤȖȎȠȖȐțȜȗ ȚȜȒȓșȖ, Ȏ ȠȎȘȔȓ kick-out Ȗ ȒȖȟȟȜȤȖ- ȎȠȖȐțȜ-ȐȎȘȎțȟȖȜțțȜȗ ȚȜȒȓșȓȗ ȜȏȨȭȟțȭȬȠȟȭ ȜȟțȜȐțȩȓ ȕȎȘȜțȜȚȓȞțȜȟȠȖ Ȗ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȖ ȑȞȎȒȖȓțȠțȜȗ Ȗ ȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȜȗ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȞȖȚȓȟȓȗ Ȑ Si, GaAs, InP Ȗ ȒȞȡȑȖȣ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎȣ.
8.5.3.DzȖȢȢȡȕȖȭ ȝȞȖȚȓȟȓȗ Ȑ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ
ǰȏȖțȎȞțȩȣ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎȣ ȞȎȒȖȡȟ ȑȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȩȣ ȚȓȔȒȜȡȕșȖȗ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȟȜȜȠțȜȦȓțȖȓȚ [269]:
h = 0.415f r0 |
(8.17) |
ȑȒȓ r0 – ȟȞȓȒțȖȗ ȘȜȐȎșȓțȠțȩȗ ȞȎȒȖȡȟ ȎȠȜȚȜȐ ȞȓȦȓȠȘȖ.
ǰ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ, ȟ ȡȥȓȠȜȚ ȘȞȖȟȠȎșșȜȑȞȎȢȖȥȓȟȘȖȣ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ (ȠȎȏșȖȤȎ 8.4) [261] Ȗ ȟȞȓȒțȓȑȜ ȘȜȐȎșȓțȠțȜȑȜ ȞȎȒȖȡȟȎ ȎȠȜȚȜȐ ȞȓȦȓȠȘȖ r0= 0.097 țȚ ȞȎȒȖȡȟ ȑȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȩȣ ȚȓȔȒȜȡȕșȖȗ ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ 0.031 țȚ. ȋȠȜ ȚȓțȪȦȓ ȥȓȚ ȡ ȘȞȓȚțȖȭ (0.054 țȚ), ȑȓȞȚȎțȖȭ (0.061 țȚ) ȖȎȞȟȓțȖȒȎ ȑȎșșȖȭ(0.056 țȚ) [269]. ǿȞȎȐțȓțȖȓ ȞȎȒȖȡȟȜȐ
ȀȎȏșȖȤȎ 8.4. ǸȞȖȟȠȎșșȜȑȞȎȢȖȥȓȟȘȖȓ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȜșȖȠȖȝȜȐ
SiC [261]
|
ǿȠȓȝȓțȪ |
ǽȎȞȎȚȓȠȞȩ ȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗ ȞȓȦȓȠȘȖ |
|||
ǽȜșȖȠȖȝ |
ȑȓȘȟȎȑȜțȎșȪ- |
|
|
|
|
Ȏ, țȚ |
ȟ, țȚ |
c/n, țȚ |
|||
|
țȜȟȠȖ, n |
||||
|
|
|
|
|
|
3C |
0 |
0.308269 |
0.755124 |
0.251708 |
|
8H |
0.25 |
0.308130 |
2.01516 |
0.251895 |
|
21R |
0.29 |
0.308111 |
5.29034 |
0.251921 |
|
6H |
0.33 |
0.308086 |
1.51174 |
0.251955 |
|
33R |
0.36 |
0.308075 |
8.31534 |
0.251980 |
|
15R |
0.40 |
0.308043 |
3.78014 |
0.252009 |
|
10H |
0.40 |
0.308049 |
2.52011 |
0.252011 |
|
27R |
0.44 |
0.308028 |
6.80495 |
0.252035 |
|
4H |
0.5 |
0.307997 |
1.00830 |
0.252076 |
|
2H |
1 |
0.30763 |
0.50480 |
0.2524 |
|
ǽȎȞȎȚȓȠȞȩ ȝȞȖȐȓȒȓțȩ Ȑ ȑȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȩȣ Ȝȟȭȣ Ȓșȭ ȟȞȎȐțȖȠȓșȪțȜȑȜ ȎțȎșȖȕȎ, ȝȎȞȎȚȓȠȞ ȞȓȦȓȠȘȖ ȐȘȡȏȖȥȓȟȘȖȣ Ȝȟȭȣ ȞȎȐȓț Ȏ= 0.43596 țȚ, n – ȥȖȟșȜ ȟșȜȓȐ Ȑ ȫșȓȚȓțȠȎȞțȜȗ ȭȥȓȗȘȓ.
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 8 |
177 |
|
|
ȀȎȏșȖȤȎ 8.5. ǵțȎȥȓțȖȭ ȠȓȠȞȎȫȒȞȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜȐȎșȓțȠțȩȣ Ȗ ȖȜțțȩȣ ȞȎȒȖȡȟȜȐ ȫșȓȚȓțȠȜȐ
|
ȀȓȠȞȎȫȒȞȖ- |
|
|
|
|
|
|
ȋșȓȚȓțȠ |
ȥȓȟȘȖȗ |
r |
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ǶȜțțȩȗ ȞȎȒȖȡȟ, r |
, țȚ |
r / h |
|
ȘȜȐȎșȓțȠțȩȗ |
|||||||
|
t |
|
i |
|
i |
||
|
ȞȎȒȖȡȟ, rt, țȚ |
|
|
|
|
|
|
Si |
0.117 |
3.78 |
0.041(Si4+) |
|
1.32 |
||
C |
0.077 |
2.48 |
0.015(C4+) |
|
0.48 |
||
Ge |
0.122 |
3.94 |
0.053(Ge4+); 0.272(Ge4–) |
1.7; 8.78 |
|||
N |
0.08 |
2.58 |
0.011(N5+); 0.171(N3–) |
0.36; 5.52 |
|||
P |
0.11 |
3.54 |
0.034(P5+); 0.212(P3–) |
1.1; 6.84 |
|||
As |
0.118 |
3.8 |
0.047(As5+); 0.222(As3–) |
1.52; 7.16 |
|||
Sb |
0.135 |
4.36 |
0.062(Sb5+); 0.245(Sb3–) |
2.00; 7.9 |
|||
B |
0.089 |
2.88 |
0.02(B3+) |
|
0.64 |
||
Al |
0.126 |
4.06 |
0.05 (Al3+) |
|
1.62 |
||
Cu |
0.136 |
4.38 |
0.096(Cu+) |
|
3.1 |
||
Ni |
0.124 |
4.00 |
0.069(Ni2+) |
|
2.22 |
||
Ti |
0.141 |
4.54 |
0.068(Ti4+); 0.076(Ti2+) |
2.2; 2.46 |
|||
Cr |
0.124 |
4.00 |
0.052(Cr6+); 0,064(Cr3–) |
1.68; 2.06 |
|||
Co |
0.122 |
3.94 |
0.072(Co2+) |
|
2.32 |
||
Mo |
0.136 |
4.38 |
0.07(Mo5+); 0.067(Mo4+) |
2.26; 2.16 |
|||
Ta |
0.142 |
4.58 |
0.068 (Ta5+) |
|
2.2 |
||
W |
0.137 |
4.42 |
0.068(W4+) |
|
2.2 |
||
Pt |
0.134 |
4.32 |
0.087(Pt2+) |
|
2.8 |
||
Pd |
0.132 |
4.26 |
0.072(Pd2+) |
|
2.32 |
||
ȎȠȜȚȜȐ Ȗ ȖȜțȜȐ ȞȭȒȎ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȣ ȫșȓȚȓțȠȜȐ, ȖȟȝȜșȪȕȡȓȚȩȣ Ȓșȭ ȒȖȢȢȡȕȖȖ Ȑ SiC (ȠȎȏșȖȤȎ 8.5) ȝȜȘȎȕȩȐȎȓȠ, ȥȠȜ ȚțȜȑȖȓ ȎȠȜȚȩ țȓ ȚȜȑȡȠȒȖȢȢȡțȒȖȞȜȐȎȠȪ ȐȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗȞȓȦȓȠȘȓȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭ Ȑ țȓȗȠȞȎșȪțȜȚ ȟȜȟȠȜȭțȖȖ.
ǼȒțȎȘȜ, ȖȚȓȬȠȟȭ ȫșȓȚȓțȠȩ, ȞȎȒȖȡȟȩ ȎțȖȜțȜȐ ȘȜȠȜȞȩȣ ȚȓțȪȦȓ ȖșȖ ȟȞȎȐțȖȚȩ ȟ ȞȎȒȖȡȟȜȚ ȑȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȩȣ ȚȓȔȒȜȡȕșȖȗ, ȥȠȜ ȟȐȖȒȓȠȓșȪȟȠȐȡȓȠȜȐȜȕȚȜȔțȜȟȠȖȖȣȒȖȢȢȡȕȖȖȐȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗȞȓȦȓȠȘȓ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȜ ȟșȜȔțȩȚ ȘȜȚȝșȓȘȟțȩȚ ȚȓȣȎțȖȕȚȎȚ.
178 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.
ȋȠȜ ȝȞȓȒȝȜșȜȔȓțȖȓ ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȎȓȠȟȭ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȭȚȖ ȟȐȜȗȟȠȐ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ, Ș ȘȜȠȜȞȩȚ, ȝȞȓȔȒȓ ȐȟȓȑȜ, ȜȠțȜȟȖȠȟȭ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȎȭ ȟȠȓȝȓțȪ ȝȜșȭȞțȜȟȠȖ ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȗ ȟȐȭȕȖ Ȑ SiC 10 12% ȖȜțțȜȗ ȟȜȟȠȎȐșȭȬȧȓȗ) [270]. ǽȞȖ ȫȠȜȚ, ȐȐȓȒȓțȖȓ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖ ȎȘȠȖȐțȜȗ ȝȞȖȚȓȟȖ ȟȜȝȞȜȐȜȔȒȎȓȠȟȭ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȚ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȎȟȟȜȤȖȎȠȜȐ ȕȎ ȟȥȓȠ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȘȜȚȝȓțȟȖȞȡȬȧȓȑȜ ȟȜȏȟȠȐȓțțȜȑȜ ȒȓȢȓȘȠȎ. ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, ȏȜșȪȦȖțȟȠȐȜ țȓȞȎȐțȜȐȓȟțȩȣ ȟȜȏȟȠȐȓțțȩȣ Ȗ ȝȞȖȚȓȟțȩȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐȐ SiC ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜȟȠȎȏȖșȪțȩȒȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ(1400 1500)°ǿ. ǽȞȖȚȓȟțȩȓ ȎȠȜȚȩ Ȑ SiC ȒȜ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ _700°ǿ ȖȜțȖȕȖȞȜȐȎțȩ țȓ ȝȜșțȜȟȠȪȬ, ȝȞȖ ȫȠȜȚ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȜȟțȜȐțȩȣ țȜȟȖȠȓșȓȗ ȟȖșȪțȜ ȕȎȐȖȟȖȠȜȠȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ, ȎȎȠȜȚȩȝȞȖȚȓȟȖȭȐșȭȬȠȟȭȤȓțȠȞȎȚȖȝȞȖșȖȝȎțȖȭ Ȗ ȕȎȣȐȎȠȩȐȎȬȠ ȖțȔȓȘȠȖȞȜȐȎțțȩȓ țȜȟȖȠȓșȖ ȕȎȞȭȒȎ.
8.5.3.1. ǿȎȚȜȒȖȢȢȡȕȖȭ Ȑ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ
ǵȎȘȜțȜȚȓȞțȜȟȠȖ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ ȟȎȚȜȒȖȢȢȡȕȖȖ Ȑ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ ȐȎȔțȩ ȘȎȘ Ȓșȭ ȝȜțȖȚȎțȖȭ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȝȞȖȚȓȟȓȗ, ȠȎȘ Ȗ ȝȞȖ ȖȕȡȥȓțȖȖ ȞȜȟȠȜȐȩȣ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ.
ǰ ȞȎȏȜȠȓ [261] ȝȞȖȐȓȒȓțȩ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȩȓ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȜȐ ȟȎȚȜȒȖȢȢȡȕȖȖ ȡȑșȓȞȜȒȎ Ȗ ȘȞȓȚțȖȭ Ȑ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȎȣ n-6H-SiC, ȝȜșȡȥȓțțȩȓȟȝȜȚȜȧȪȬȖȕȜȠȜȝȜȐ14ƙȖ30Si. ȋȠȖȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȝȖȟȩȐȎȬȠȟȭ ȢȜȞȚȡșȜȗ:
Di = D0i exp( Wi kT ) |
(8.18) |
ȑȒȓ D0i – ȥȎȟȠțȩȗ ȚțȜȔȖȠȓșȪ; Wi – ȫțȓȞȑȖȭ ȎȘȠȖȐȎȤȖȖ ȒȖȢȢȡȕȖȖ. Ƕȕ ȞȖȟ. 8.12 ȐȖȒțȜ, ȥȠȜ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȟȎȚȜȒȖȢȢȡȕȖȖ ȘȞȓȚțȖȭ Ȑ ȥȖȟȠȩȣ ȘȞȖȟȠȎșșȎȣ ȚȓțȪȦȓ, ȥȓȚ Ȑ șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ ȎȕȜȠȜȚ, Ȏ ȘȜȫȢ-
ǾȖȟ. 8.12. ȀȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȩȓ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȜȐ ȟȎȚȜȒȖȢȢȡȕȖȖ Ȑ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȎȣ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ: 1, 4 – țȓșȓȑȖȞȜȐȎțțȩȗ; 2, 3 – șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȗ ȎȕȜȠȜȚ
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 8 |
179 |
|
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ǾȖȟ. 8.13. ȀȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȩȓ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎ ȟȎȚȜȒȖȢȢȡȕȖȖ ȘȞȓȚțȖȭ Ȑ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȖȣ ȝșȓțȘȎȣ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ
ȢȖȤȖȓțȠ ȟȎȚȜȒȖȢȢȡȕȖȖ ȡȑșȓȞȜȒȎ Ȑ țȓșȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ ȘȞȖȟȠȎșșȎȣ ȐȩȦȓ, ȥȓȚ Ȑ șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ.
ȋȠȜȠ ȫȢȢȓȘȠ ȜȏȨȭȟțȭȓȠȟȭ, ȖȟȣȜȒȭ Ȗȕ ȐȎȘȎțȟȖȜțțȜȑȜ ȚȓȣȎțȖȕȚȎ ȒȖȢȢȡȕȖȖ, ȡȥȖȠȩȐȎȭ, ȥȠȜ ȐȎȘȎțȟȖȖ ȘȞȓȚțȖȭ Ȑ SiC ȜȏșȎȒȎȬȠ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȚȖ ȟȐȜȗȟȠȐȎȚȖ Ȗ ȕȎȞȭȔȓțȩ ȜȠȞȖȤȎȠȓșȪțȜ [271]. ǽȞȖ ȫȠȜȚ, ȝȜ ȕȎȘȜțȡȫșȓȘȠȞȜțȓȗȠȞȎșȪțȜȟȠȖ, ȡȐȓșȖȥȓțȖȓȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖȒȜțȜȞțȜȗȝȞȖȚȓȟȖ(ȎȕȜȠ), ȝȞȖȐȜȒȖȠȘȡȐȓșȖȥȓțȖȬȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖȐȎȘȎțȟȖȗ ȘȞȓȚțȖȭȐSiC ȖȐȜȕȞȎȟȠȎțȖȬȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎȟȎȚȜȒȖȢȢȡȕȖȖȘȞȓȚțȖȭ. ǰȎȘȎțȟȖȖ ȡȑșȓȞȜȒȎ ȕȎȞȭȔȓțȩ ȝȜșȜȔȖȠȓșȪțȜ Ȗ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȬȠȟȭ ȒȜțȜȞțȩȚȖ ȟȐȜȗȟȠȐȎȚȖ, ȝȞȖ ȫȠȜȚ Ȗȣ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȟțȖȔȎȓȠȟȭ ȝȞȖ ȡȐȓșȖȥȓțȖȖ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȒȜțȜȞțȜȗ ȝȞȖȚȓȟȖ, ȥȠȜ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȟțȖȔȓțȖȬȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎȟȎȚȜȒȖȢȢȡȕȖȖȡȑșȓȞȜȒȎȐSiC [261]. ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȩȟȎȚȜȒȖȢȢȡȕȖȖȐȘȎȞȏȖȒȓȘȞȓȚțȖȭȟȖșȪțȜȕȎȐȖȟȭȠȜȠȚȓȠȜȒȎȝȜșȡȥȓțȖȭSiC. ǻȎȞȖȟ. 8.13 ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȩȓȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎȟȎȚȜȒȖȢȢȡȕȖȖȘȞȓȚțȖȭȐȝșȓțȘȎȣ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ, ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȞȎȕșȖȥțȩȚȖ ȚȓȠȜȒȎȚȖ, ȞȎȕșȖȥȖȭ ȎȐȠȜȞȩ ȟȐȭȕȩȐȎȬȠ ȟ ȞȎȕșȖȥțȜȗ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ ȒȓȢȓȘȠȜȐ [272].
8.5.3.2.DzȖȢȢȡȕȖȭ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȣ ȝȞȖȚȓȟȓȗ
ȐȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ. DzȖȢȢȡȕȖȭ ȏȜȞȎ
ǼȒțȜȗ Ȗȕ ȜȟțȜȐțȩȣ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȣ ȝȞȖȚȓȟȓȗ Ȑ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ ȭȐșȭȓȠȟȭȏȜȞ[261, 273, 274]. dzȧȓȐȞȎțțȖȣȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȣȒȖȢȢȡȕȖȖ ȏȜȞȎ Ȑ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ ȏȩș ȡȟȠȎțȜȐșȓț ȞȭȒ ȎțȜȚȎșȪțȩȣ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȓȗ ȫȠȜȑȜ ȝȞȜȤȓȟȟȎ [275, 276]. ǰ ȫȠȖȣ ȞȎȏȜȠȎȣ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȩȗ ȜȠȔȖȑȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȜȐn-SiC ȐȩȞȎȧȓțțȩȣȚȓȠȜȒȜȚǹȓșȖȝȞȜȐȜȒȖșȟȭ Ȑ ȡȟșȜȐȖȭȣ, ȖȟȘșȬȥȎȬȧȖȣ ȖȟȝȎȞȓțȖȓ. ǰ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ ȞȓȔȖȚȜȐ
180 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.
ǾȖȟ. 8.14. ǾȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖ ȎȘȠȖȐțȜȑȜ ȏȜȞȎ Ȑ n-SiC ȝȜȟșȓȒȖȢȢȡȕȖȖȝȞȖȞȎȕșȖȥțȩȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ: Ȁ°ǿ: 1 – 1650, 2 – 1850, 3 – 2050, 4 – 2150, 5 – 2300, 6 – 2550
ȜȠȔȖȑȎ, Ȑ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȖȟȠȜȥțȖȘȎ ȒȖȢȢȡȕȎțȠȎ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȟȭ șȖȏȜ ȫșȓȚȓțȠȎȞțȩȗ ȏȜȞ, șȖȏȜ ƊƊr3.
ǻȎ ȞȖȟ. 8.14 ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ ȝȞȜȢȖșȖ, ȝȜșȡȥȓțțȩȓ Ȑ n-SiC ȚȓȠȜȒȜȚ p-n ȝȓȞȓȣȜȒȎ ȝȜȟșȓ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȏȜȞȎ ȝȞȖ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ [276]. ǽȞȓȒȟȠȎȐșȓțțȩȓ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠȞȎȔȎȬȠ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȪ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȝȞȖȚȓȟȓȗ Ȑ SiC ȝȞȖ ȒȖȢȢȡȕȖȖ – țȎșȖȥȖȓ ȒȐȡȣ ȜȏșȎȟȠȓȗ, ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ, ȟ ȐȩȟȜȘȜȗ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ Ȗ ȚȎșȩȚ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȚ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȜȚ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȝȞȖȚȓȟȖ Ȗ ȜȏȨȓȚțȜȗ, ȟ ȚȓțȪȦȓȗ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ Ȗ ȏȜșȪȦȖȚ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȚ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȜȚ ȒȖȢȢȡȕȖȖ [276, 277].
ǰ ȞȎȏȜȠȎȣ [277, 278] ȝȞȜȐȓȒȓțȩ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȜȟșȓ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȑȜ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ ȏȜȞȜȚ. ȁȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȗ ȟșȜȗ ȟ ȎțȜȚȎșȪțȜ-ȐȩȟȜȘȜȗ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ ȏȜȞȎ (1021 1022 ȟȚ 3) ȜȏȞȎȕȡȓȠȟȭ Ȑ ȜȏȞȎȕȤȎȣ SiC ȝȞȖ ȒȖȢȢȡȕȖȖȖȕȝȎȞȜȐȜȗȢȎȕȩ, ȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ(1500 1600)°ǿȐȠȓȥȓ-
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 8 |
181 |
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țȖȓ 8 10 ȥ., Ȏ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ (2400 2500)°ǿ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 3 5 ȚȖț. ǽȞȖ ȫȠȜȚȏȜȞȢȜȞȚȖȞȡȓȠșȜȘȎșȪțȩȓȐȩȒȓșȓțȖȭȐȠȜȞȜȗȢȎȕȩțȎ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȭȣ, ȑȞȎțȖȤȎȣ ȟȝȖȞȎșȓȗ ȞȜȟȠȎ Ȗ ȞȎȕȒȓșȎ ȝȜșȖȠȖȝȜȐ, Ȏ ȠȎȘȔȓ ȒȞȡȑȖȣ ȜȏȨȓȚțȩȣ ȒȓȢȓȘȠȎȣ, ȘȜȠȜȞȩȓ ȭȐșȭȬȠȟȭ șȜȐȡȦȘȎȚȖ ȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȧȖȣ ȎȠȜȚȜȐ Ȗ ȕȎȚȓȒșȭȬȠ ȒȖȢȢȡȕȖȬ ȏȜȞȎ. ǶȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȚȓȠȜȒȜȚ ȞȓțȠȑȓțȜȐȟȘȜȑȜ ȚȖȘȞȜȎțȎșȖȕȎ ȝȜȘȎȕȎșȖ, ȥȠȜ șȜȘȎșȪțȩȓ ȐȩȒȓșȓțȖȭ ȐȠȜȞȜȗ ȢȎȕȩ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȬȠ ȟȜȏȜȗ ȘȎȞȏȖȒ ȏȜȞȎ [277]. ȁȟȠȎțȜȐșȓțȎ ȏȜșȓȓ ȐȩȟȜȘȎȭ ȟȠȓȝȓțȪ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȏȜȞȎ țȎ ȑȞȎțȖ SiC (0001) , ȥȓȚțȎȑȞȎțȖSiC (0001), ȥȠȜȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭȏȜșȓȓȐȩȟȜȘȜȗ ȟȘȜȞȜȟȠȪȬ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȏȜȞȜȟȜȒȓȞȔȎȧȖȣ ȘȜȚȝșȓȘȟȜȐ țȎ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ ȑȞȎțȖ [278].
ǰȞȎȏȜȠȓ[279] ȡȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȏȜȞȎ 2¸1018 ȟȚ 3 Ȗ ȐȩȦȓ, Ȑ ȝȜȒșȜȔȘȎȣ 6H-SiC țȎȏșȬȒȎȓȠȟȭ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓ țȎȞȡȦȓțțȜȑȜ ȟșȜȭ, ȘȜȠȜȞȜȓ țȓ ȟȜȝȞȜȐȜȔȒȎȓȠȟȭ ȑȓțȓȞȎȤȖȓȗ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ. ǻȎȞȡȦȓțțȩȗȟșȜȗȟȜȒȓȞȔȖȠȒȓȢȓȘȠȩȒȓȢȜȞȚȎȤȖȜțțȜȑȜ ȠȖȝȎ, ȘȜȠȜȞȩȓȟȐȭȕȎțȩȟȞȎȕșȖȥȖȓȚȎȠȜȚțȩȣȞȎȒȖȡȟȜȐȏȜȞȎȖȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ, ȝȞȖȐȜȒȭȧȖȓȘȡȐȓșȖȥȓțȖȬȚȓȔȎȠȜȚțȜȑȜȞȎȟȟȠȜȭțȖȭ [280] ȖȜȏȨȓȚȎȫșȓȚȓțȠȎȞțȜȗȭȥȓȗȘȖSiC, ȝȞȜȒȜșȔȎȬȧȓȚȡȟȭȒȜȐȩȒȓșȓțȖȭ ȐȠȜȞȜȗȢȎȕȩ. ǮȐȠȜȞȩȜȠȚȓȥȎȬȠ, ȥȠȜțȎȞȡȦȓțțȩȗȟșȜȗȟȜȟȞȓȒȜȠȜȥȓțȐ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗȜȏșȎȟȠȖȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȑȜȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭȝȞȖȚȓȟȖ, ȝȞȖ ȫȠȜȚ ȑșȡȏȖțȎ ȓȑȜ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȕțȎȥȓțȖȭ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ, ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ Ȗ ȝȞȜȒȜșȔȖȠȓșȪțȜȟȠȖ ȒȖȢȢȡȕȖȖ [279].
ǶȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȓȗ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȏȜȞȎ Ȑ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ, ȝȞȜȐȓȒȓțțȩȓ Ȑ ȞȎȏȜȠȓ [280], ȝȜȕȐȜșȖșȖ ȡȟȠȎțȜȐȖȠȪ, ȥȠȜ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȜȏȨȓȚțȜȗ Ȗ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȜȏșȎȟȠȓȗ ȢȜȞȚȖȞȡȓȠȟȭ ȟșȜȗ, ȟșȎȏȜ șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȗ ȖȟșȎȏȜȘȜȚȝȓțȟȖȞȜȐȎțțȩȗ ȝȜȟȞȎȐțȓțȖȬ ȟȟȜȟȓȒțȖȚȖ ȜȏșȎȟȠȭȚȖ. Ǽ țȎșȖȥȖȖ ȡȥȎȟȠȘȎ ȟ ȎțȜȚȎșȪțȜ țȖȕȘȜȗ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ țȓȟȘȜȚȝȓțȟȖȞȜȐȎțțȩȣ ȎȘȤȓȝȠȜȞȜȐ ȟȐȖȒȓȠȓșȪȟȠȐȡȓȠ ȠȎȘȔȓ ȝȜȐȩȦȓț- țȜȓȝȎȒȓțȖȓțȎȝȞȭȔȓțȖȭȐSiC-ȟȐȓȠȜȒȖȜȒțȩȣȟȠȞȡȘȠȡȞȎȣȝȞȖȝȞȭȚȜȚ ȐȘșȬȥȓțȖȖ.
ǮțȎșȜȑȖȥțȩȗ ȣȎȞȎȘȠȓȞ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȜțțȜȑȜ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȝȞȖȚȓȟȖ Ȑ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎȣ ȜȏȩȥțȜ ȟȐȭȕȩȐȎȬȠ ȟ ȒȖȟȟȜȤȖȎȠȖȐțȩȚ ȚȓȣȎțȖȕȚȜȚ, ȟȜȑșȎȟțȜȘȜȠȜȞȜȚȡȜȟțȜȐțȜȗȐȘșȎȒȐȒȖȢȢȡȕȖȜțțȩȗȝȞȜȤȓȟȟ ȜȏȡȟșȜȐșȓțȝȜȠȜȘȜȚȏȩȟȠȞȜȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȧȖȣȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȣȎȠȜȚȜȐ. ǰȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȖȖȟȫȠȖȚȚȓȣȎțȖȕȚȜȚ, ȎțȜȚȎșȪțȩȓȟșȜȖȜȏȞȎȕȡȬȠȟȭȝȞȖ ȜȣșȎȔȒȓțȖȖȕȎȟȥȓȠȒȐȖȔȓțȖȭȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȣȎȠȜȚȜȐȘȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, ȑȒȓȜțȖȟȐȭȕȩȐȎȬȠȟȭȐȎȘȎțȟȖȭȚȖ. ǽȞȖȫȠȜȚ, țȎ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ ȒȜșȔțȩ ȜȘȎȕȩȐȎȠȪ ȐșȖȭțȖȓ ȞȓȔȖȚȩ ȜȣșȎȔȒȓțȖȭ
182 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.
ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ, ȝȜȟȘȜșȪȘȡ ȜȠ țȖȣ ȕȎȐȖȟȖȠ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȑȓțȓȞȎȤȖȖ țȓȞȎȐțȜȐȓȟțȩȣ ȐȎȘȎțȟȖȗ [281]. ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, Ȓșȭ ȒȖȟȟȜȤȖȎȠȖȐțȜȑȜ ȚȓȣȎțȖȕȚȎ ȣȎȞȎȘȠȓȞțȜȜȠȟȡȠȟȠȐȖȓȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖȝȞȜȠȭȔȓțțȜȟȠȖȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ ȜȠ ȐȞȓȚȓțȖ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȑȜ ȜȠȔȖȑȎ.
ǼȒțȎȘȜ, ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȝȜȘȎȕȎșȖ ȠȎȘȔȓ, ȥȠȜ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȚȓȔȡȕȓșȪțȜȑȜ ȏȜȞȎ Ȑ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ țȓ ȝȞȓȐȩȦȎȓȠ (3 5)¸1017 ȟȚ 3 ȒȎȔȓȝȞȖȡȞȜȐțȭȣșȓȑȖȞȜȐȎțȖȭȐȩȦȓ1¸1020 ȟȚ 3 [282]. ǸȞȜȚȓȠȜȑȜ, ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȚȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȚȖ, ȝȞȜȐȓȒȓțțȩȚȖ Ȑ ȞȎȏȜȠȓ [280], ȡȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜ ȑșȡȏȖțȎ ȕȎșȓȑȎțȖȭ ȚȖțȖȚȡȚȎ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȖȕȚȓțȭȓȠȟȭ ȝȞȜȝȜȞȤȖȜțȎșȪțȜ t1/2, ȑȒȓ t – ȐȞȓȚȭ ȒȖȢȢȡȕȖȖ, Ȗ ȝȞȎȘȠȖȥȓȟȘȖ țȓ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȞȓȔȖȚȜȐ ȜȣșȎȔȒȓțȖȭ ȜȏȞȎȕȤȎ.
ǼȏȨȭȟțȓțȖȓ ȝȜșȡȥȓțțȩȣ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȣ ȒȎțțȩȣ ȝȞȖȐȜȒȖȠȟȭ Ȑ ȞȎȏȜȠȎȣ [274, 280]. ǽȞȖ ȐȩȟȜȘȖȣ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȣ șȓȑȖȞȡȬȧȓȗ ȝȞȖȚȓȟȖ Ȑ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣ ȜȏșȎȟȠȭȣ SiC ȑȓțȓȞȖȞȡȬȠȟȭ ȡȑșȓȞȜȒțȩȓȐȎȘȎțȟȖȖ, ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȘȜȠȜȞȩȣȐȓșȖȘȎ. ȁȑșȓȞȜȒțȩȓ ȐȎȘȎțȟȖȖȖȎȠȜȚȩȏȜȞȎȢȜȞȚȖȞȡȬȠȝȜȒȐȖȔțȩȓȏȖțȎȞțȩȓȘȜȚȝșȓȘȟȩ VC BC, (D-ȤȓțȠȞȩ), ȘȜȠȜȞȩȓ Ȗ ȜȟȡȧȓȟȠȐșȭȬȠ ȚȎȟȟȜȝȓȞȓțȜȟ [274, 280, 283]. ǯșȎȑȜȒȎȞȭ ȐȩȟȜȘȜȗ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȎȠȜȚȜȐ ȏȜȞȎ, ȘȜȠȜȞȩȓ Ȑ ȫȠȜȚ ȟșȡȥȎȓ ȚȜȑȡȠ ȕȎțȖȚȎȠȪ ȘȎȘ ȘȞȓȚțȖȓȐȩȓ, ȠȎȘ Ȗ ȡȑșȓȞȜȒțȩȓ ȡȕșȩ Ȑ ȞȓȦȓȠȘȓ, Ȑ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ SiC ȐȜȕȞȎȟȠȎȓȠ ȐȓȞȜȭȠțȜȟȠȪ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȚȎșȜȝȜȒȐȖȔțȩȣ ȟșȜȔțȩȣ ȘȜȚȝșȓȘȟȜȐ, ȐȘșȬȥȎȬȧȖȣ ȒȐȎ ȖșȖ ȏȜșȓȓ ȎȠȜȚȜȐ ȏȜȞȎ (BC VC BSi ȖșȖ BC BSi ). ǽȞȖȫȠȜȚȟȐȭȕȩȐȎȬȠȟȭȏȩȟȠȞȜȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȧȖȓȘȜȚȝșȓȘȟȩ, ȜȏȓȟȝȓȥȖȐȎȬȧȖȓ ȚȎȟȟȜȝȓȞȓțȜȟ, Ȗ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȗ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȏȜȞȎ ȟțȖȔȎȓȠȟȭ.
ǰȜȏȨȓȚȓȝȜȒșȜȔȘȖȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȏȜȞȎȟțȖȔȎȓȠȟȭ, ȡȚȓțȪȦȎȓȠȟȭ ȐȓȞȜȭȠțȜȟȠȪ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȟșȜȔțȩȣ ȘȜȚȝșȓȘȟȜȐ, ȟȐȭȕȩȐȎȬȧȖȣ ȏȩȟȠȞȜȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȧȖȓ ȘȜȚȝșȓȘȟȩ, Ȗ ȐȜȕȞȎȟȠȎȓȠ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȗ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȒȖȢȢȡȕȖȖ. ȋȠȖȚȖ ȜȏȟȠȜȭȠȓșȪȟȠȐȎȚȖ ȜȏȡȟșȜȐșȓțȜ țȎșȖȥȖȓȜȏȨȓȚțȜȗȐȓȠȐȖțȎȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȚ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȖ. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȝȞȖ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȏȜȞȎ Ȑ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ, țȎ ȜȝȞȓȒȓșȓțțȜȗ ȑșȡȏȖțȓ ȢȜȞȚȖȞȡȓȠȟȭ ȜȏșȎȟȠȪ, ȑȓțȓȞȖȞȡȬȧȎȭ ȏȩȟȠȞȜȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȧȖȓ ȘȜȚȝșȓȘȟȩ, ȝȞȖ ȫȠȜȚ, ȎțȜȚȎșȪțȩȗ ȟșȜȗ ȟ țȖȕȘȜȗ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ ȏȜȞȎ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ Ȗ ȜȏȨȓȚțȜȗ ȜȏșȎȟȠȓȗ ȢȜȞȚȖȞȡȓȠȟȭ ȕȎ ȟȥȓȠ ȡȣȜȒȎ ȏȩȟȠȞȜȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȧȖȣ ȘȜȚȝșȓȘȟȜȐ ȝȞȖ ȜȣșȎȔȒȓțȖȖ ȜȏȞȎȕȤȎ [280].
ǻȎȣȐȜȟȠȓȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȑȜȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖȎȠȜȚȜȐ ȏȜȞȎ Ȗ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȐȎȘȎțȟȖȗ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȜ ȟțȖȔȎȬȠȟȭ Ȗ țȎȥȖțȎȓȠ
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 8 |
183 |
|
|
ǾȖȟ. 8.15. ǾȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ ȏȜȞȎ Ȑ ȝȜșȖȠȖȝȎȣ SiC (2270°ǿ, 2 ȥȎȟȎ); 1 – 4H-SiC; 2 – 27R-SiC; 3 – 15R-SiC; 4 – 6H-SiC; 5 – 21R-SiC; 6 – 8H-SiC; 7 – 3C-SiC
ȝȞȓȜȏșȎȒȎȠȪȞȎȟȝȎȒȏȩȟȠȞȜȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȧȖȣȘȜȚȝșȓȘȟȜȐ, ȝȞȖȫȠȜȚ ȒȖȢȢȡȕȖȭ ȕȎȚȓȒșȭȓȠȟȭ, Ȏ ȑȞȎȒȖȓțȠ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȏȜȞȎ ȡȐȓșȖȥȖȐȎȓȠȟȭ.
ǽȜȒȠȐȓȞȔȒȓțȖȓȚ ȑȓțȓȞȎȤȖȖ Ȗ ȜȝȞȓȒȓșȭȬȧȓȑȜ ȐșȖȭțȖȭ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȐȎȘȎțȟȖȗ țȎ ȒȖȢȢȡȕȖȬ ȏȜȞȎ Ȑ SiC ȭȐșȭȓȠȟȭ ȓȓ ȕȎȚȓȒșȓțȖȓ ȝȞȖȝȜȐȩȦȓțȖȖȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖȎȕȜȠȎȖȡȟȘȜȞȓțȖȓȝȞȖșȓȑȖȞȜȐȎțȖȖ ȝȜȒșȜȔȘȖ ȎșȬȚȖțȖȓȚ [276, 284].
ǰ [280] ȜȠȚȓȥȎȓȠȟȭ, ȥȠȜ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȐȎȘȎțȟȖȗȐȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȚȟșȜȓȏȡȒȓȠȟȝȜȟȜȏȟȠȐȜȐȎȠȪȐȜȕȞȎȟȠȎțȖȬ ȒȜșȖȏȩȟȠȞȜȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȧȖȣȘȜȚȝșȓȘȟȜȐȕȎȟȥȓȠȞȎȟȝȎȒȎțȓȝȜȒȐȖȔțȩȣ ȘȜȚȝșȓȘȟȜȐ. ǽȜȟȘȜșȪȘȡ ȝȜșȖȠȖȝȩ SiC ȞȎȕșȖȥȎȬȠȟȭ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȐȎȘȎțȟȖȗ [218, 261, 283, 284],
ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȩ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȏȜȞȎȐSiC ȞȎȕșȖȥțȩȣȝȜșȖȠȖȝȜȐ
|
ȒȜșȔțȩ ȞȎȕșȖȥȎȠȪȟȭ. |
|
ǻȎ ȞȖȟ. 8.15 ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓ- |
|
țȜ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȓ ȞȎȟȝȞȓȒȓ- |
|
șȓțȖȓ ȏȜȞȎ Ȑ SiC ȞȎȕșȖȥțȩȣ |
|
ȝȜșȖȠȖȝȜȐ ȝȞȖ ȜȒȖțȎȘȜȐȩȣ |
ǾȖȟ. 8.16. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜȑȜ |
ȡȟșȜȐȖȭȣȝȞȜȐȓȒȓțȖȭȒȖȢȢȡ- |
ȕȖȖ [212, 218]. ǸȎȘ ȐȖȒțȜ Ȗȕ |
|
ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȜȏȨȓȚțȜȗ ȐȓȠ- |
ȫȠȖȣ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȓȗ, Ȏ ȠȎȘȔȓ |
ȐȖ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȏȜȞȎ ȜȠ ȟȠȓȝȓțȖ ȑȓȘ- |
Ȗȕ ȒȎțțȩȣ, ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțțȩȣ |
ȟȎȑȜțȎșȪțȜȟȠȖ ȝȜșȖȠȖȝȜȐ SiC ȝȞȖ ȜȒȖțȎ- |
|
ȘȜȐȩȣ ȡȟșȜȐȖȭȣ ȒȖȢȢȡȕȖȖ |
țȎ ȞȖȟ. 8.16, ȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȗ |
184 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.
ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȜȏȨȓȚțȜȗȒȖȢȢȡȕȖȖ ȏȜȞȎ ȡȚȓțȪȦȎȓȠȟȭ ȟ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓȚ ȝȞȜȤȓțȠȎ ȑȓȘȟȎȑȜțȎșȪțȜȟȠȖ. ǼȒțȎȘȜ, Ȑ ȞȎȏȜȠȎȣ[285 288] ȝȞȖ ȖȒȓțȠȖȢȖȘȎȤȖȖ ȝȞȜȢȖșȭ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȏȜȞȎ Ȑ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȓ ȒȖȢȢȡȕȖȖ Ȑ ȜȏȞȎȕȤȎȣ 6H-SiC Ȗ 4H-SiC ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ǰǶǺǿ ȝȜȘȎȕȎțȜ (ȞȖȟ. 8.17), ȥȠȜ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȩȣ ȞȎȕșȖȥȖȗ ȝȞȜȢȖșȓȗ Ȓșȭ ȒȐȡȣ ȝȜșȖȠȖȝȜȐ țȓ ȐȩȭȐșȭȓȠȟȭ. ǻȜ țȎ ȜȏȜȖȣ ȘȞȖȐȩȣ țȎȏșȬȒȎȓȠ-
ȟȭ ȟțȖȔȓțȖȓ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȝȞȖȚȓȟȖ Ȑ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȚ ȟșȜȓ. ȋȠȜ ȜȏȨȭȟțȭȓȠȟȭ ȠȓȚ, ȥȠȜȝȞȖȜȣșȎȔȒȓțȖȖȜȠ1800°ǿȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȎȠȜȚȜȐ ȏȜȞȎ Ȑ ȟȚȓȟȖ ȝȎȞȎ ȟȠȎțȜȐȖȠȟȭ ȚȓțȪȦȓ Ȗ ȜțȖ țȎȥȖțȎȬȠ ȒȖȢȢȡțȒȖȞȜȐȎȠȪ Ȗȕ ȝȜȒșȜȔȘȖ.
ǽȜșȡȥȓțțȩȓȞȓȕȡșȪȠȎȠȩȣȜȞȜȦȜȟȜȑșȎȟȡȬȠȟȭȟȒȎțțȩȚȖȜȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖȡȑșȓȞȜȒțȩȣȐȎȘȎțȟȖȗȐȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȜșȖȠȖȝȎȣ SiC [261] Ȗ ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȎȬȠ ȐȎȘȎțȟȖȜțțȩȗ ȚȓȣȎțȖȕȚ ȒȖȢȢȡȕȖȖ
ȐȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ.
ǰȞȎȏȜȠȓ[289] ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȎȖȝȜȒȠȐȓȞȔȒȓțȎȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȜ, ȚȎȠȓȚȎȠȖȥȓȟȘȎȭ ȚȜȒȓșȪ, ȝȜȕȐȜșȭȬȧȎȭ ȘȜȞȞȓȘȠțȜ ȜȝȖȟȎȠȪ ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȖ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȏȜȞȎ Ȑ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ. ǽȜșȎȑȎȭ, ȥȠȜ ȏȜȞ ȚȜȔȓȠ ȝȓȞȓȚȓȧȎȠȪȟȭ ȐȞȓȦȓȠȘȓSiC ȠȜșȪȘȜȐȟȜȟȠȎȐȓȝȞȖȚȓȟțȜ-ȒȓȢȓȘȠțȜȑȜ ȎȟȟȜȤȖȎȠȎ, ȡȞȎȐțȓțȖȓțȓȝȞȓȞȩȐțȜȟȠȖȝȞȖȐȜȒȖȠȟȭȘȐȖȒȡȡȞȎȐțȓțȖȭ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȜțțȜ-ȕȎȐȖȟȖȚȜȗ ȒȖȢȢȡȕȖȖ [289]:
|
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s |
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(8.19) |
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sx ¢ |
sx ± |
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ȑȒȓ DB = DDcD |
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, Ȏ DB, DD – ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȩ ȒȖȢȢȡȕȖȖ, cB, |
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(cB |
+ a)2 |
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cD – ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȏȜȞȎ Ȗ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ; cBS – ȝȜȐȓȞȣ- |
|||||||||||||
țȜȟȠțȎȭ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ; a – ȘȞȖȠȖȥȓȟȘȎȭ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ. |
|
||||||||||||
ǰ ȟșȡȥȎȓ țȖȕȘȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȏȜȞȎ cBS < a |
|||||||||||||
ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȝȜȟȠȜȭțȓț Ȗ ȞȎȐȓț Di |
= |
DDcD |
[289]. |
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B |
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a |
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ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 8 |
185 |
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ǽȞȖ ȐȩȟȜȘȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȏȜȞȎ cBS > a ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȡȟȘȜȞȓțȖȓ ȒȖȢȢȡȕȖȖ țȎ ȣȐȜȟȠȓ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȑȜ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓ-
cS
țȖȭ Ȗ ȕȎȚȓȒșȓțȖȓ ȡ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ țȎ ȚțȜȔȖȠȓșȪ E = I + aB .
ǸȞȖȠȖȥȓȟȘȎȭȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭȏȜȞȎ, ȝȞȖȝȜȐȩȦȓțȖȖȘȜȠȜȞȜȗțȎȞȡ-
ȦȎȓȠȟȭ ȞȎȐțȜȐȓȟțȜȓ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ ȠȜȥȓȥțȩȣ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ
1.2¸1018 ȟȚ 3.
ǰ ȞȎȏȜȠȓ [290] ȝȜȘȎȕȎțȎ ȐȜȕȚȜȔțȜȟȠȪ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȟȐȓȞȣȚȓșȘȖȣ p+-n ȝȓȞȓȣȜȒȜȐ Ȑ 6H-SiC (0001) ȚȓȠȜȒȜȚ țȓȞȎȐțȜȐȓȟțȜȗ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȏȜȞȎ. DzȖȢȢȡȕȖȭ ȝȞȜȐȜȒȖșȎȟȪ ȝȞȖ 900°ǿ Ȗȕ ȑȎȕȜȐȜȗ ȢȎȕȩ Ȑ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȓ ȟșȜȖ n-6H-SiC, țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȘȜȠȜȞȩȣ ȏȩș ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎț ȠȜȝȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȗ ȞȖȟȡțȜȘ Ȑ ȝșȓțȘȎȣ SiO2 Ȗ ȝȜșȖȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȞȓȚțȖȭ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ȢȜȠȜșȖȠȜȑȞȎȢȖȖ. ǮȐȠȜȞȩ ȜȠȚȓȥȎȬȠ, ȥȠȜ țȖȕȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȎȭ ȒȖȢȢȡȕȖȭ ȏȜȞȎ ȝȞȜȐȜȒȖșȎȟȪ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬȘȜțȠȞȜșȖȞȡȓȚȜȗȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗȖțȔȓȘȤȖȖȘȞȓȚțȖȓȐȩȣȐȎȘȎțȟȖȗȝȞȖȐȎȞȪȖȞȜȐȎțȖȖȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐȟșȜȓȐSiO2 ȖȝȜșȖȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȞȓȚțȖȭ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȜȟțȜȐțȜȗ ȐȘșȎȒ Ȑ ȚȎȟȟȜȝȓȞȓțȜȟ ȐțȜȟȖȠ ȒȖȟȟȜȤȖȎȠȖȐțȩȗ ȐȎȘȎțȟȖȜțțȩȗ ȚȓȣȎțȖȕȚ.
8.5.3.3. DzȖȢȢȡȕȖȭ ȎșȬȚȖțȖȭ Ȑ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ
ǮșȬȚȖțȖȗȭȐșȭȓȠȟȭȎȘȤȓȝȠȜȞțȜȗȝȞȖȚȓȟȪȬ, ȦȖȞȜȘȜȝȞȖȚȓțȭȓȚȜȗ ȝȞȖ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȖ SiC p-ȠȖȝȎ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ, ȓȑȜ ȝȞȓȒȓșȪțȎȭ ȞȎȟȠȐȜȞȖȚȜȟȠȪ ȒȜȟȠȖȑȎȓȠ 2.0¸1021 ȟȚ 3 ȝȞȖ 2500°ǿ [261]. ǽȞȜȐȓȒȓțțȩȓ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȓ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȞȎȟȠȐȜȞȖȚȜȟȠȖ ȎșȬȚȖțȖȭ
ȐSiC ȝȜȘȎȕȎșȖ, ȥȠȜ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ 2200 2300°ǿ ȜțȎ ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ ȒșȭȡȑșȓȞȜȒțȜȗ(6.0 8.0¸1020) ȟȚ 3 ȖȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ(1.0 1.2¸1021) ȟȚ 3 ȑȞȎțȓȗ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȜȐ [291].
ǼȒțȎȘȜ, ȕȎȘȜțȜȚȓȞțȜȟȠȖȒȖȢȢȡȕȖȖȎșȬȚȖțȖȭȐȘȎȞȏȖȒȓȘȞȓȚțȖȭ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȩțȓȠȎȘȒȓȠȎșȪțȜ, ȘȎȘȐȟșȡȥȎȓȒȖȢȢȡȕȖȖȏȜȞȎ. dzȧȓȐ ȞȎțțȖȣ ȞȎȏȜȠȎȣ [30, 292] ȜȠȚȓȥȎȓȠȟȭ, ȥȠȜ ȒȖȢȢȡȕȖȭ Al Ȑ SiC ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȚȓȒșȓțțȜ ȒȎȔȓ ȝȞȖ ȐȩȟȜȘȖȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ (ȟȚ. ȞȖȟ. 8.18), ȖȟȖșȪțȜȕȎȐȖȟȖȠȜȠȝȞȖȟȡȠȟȠȐȖȭȝȜȟȠȜȞȜțțȖȣȝȞȖȚȓȟȓȗ(ȘȎȘȢȜțȜȐȩȣ
ȐȝȜȒșȜȔȘȓ, ȠȎȘ Ȗ ȝȜȝȎȒȎȬȧȖȣ Ȗȕ ȜȟțȎȟȠȘȖ Ȗ ȞȎȏȜȥȓȗ ȎȠȚȜȟȢȓȞȩ). ǻȎȝȞȖȚȓȞ, ȐȜȕȞȎȟȠȎțȖȓȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖȎȕȜȠȎȐȝȜȒșȜȔȘȎȣSiC ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȚȡ ȟțȖȔȓțȖȬ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȎșȬȚȖțȖȭ [30].
ǸȎȘ Ȗ Ȑ ȟșȡȥȎȓ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȏȜȞȎ, ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȜțțȩȓ ȝȞȜȢȖșȖ ȎșȬȚȖțȖȭ Ȑ SiC ȟȜȟȠȜȭȠ Ȗȕ ȒȐȡȣ ȜȏșȎȟȠȓȗ – ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ Ȗ
186 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.
ǾȖȟ. 8.18. ǾȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭAl ȐSiC ȝȜȟșȓ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȝȞȖ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ (ȐȞȓȚȭ ȒȖȢȢȡȕȖȖ
20 ȥȎȟ.) Ȁ°ǿ: 1 – 2400, 2 – 2250, 3 – 2150, 4 – 2050, 5 – 1950
ȜȏȨȓȚțȜȗ [275]. ȀȜșȧȖțȎ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ (țȎ ȡȞȜȐțȓ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ3.0¸1018 1.0¸1020 ȟȚ 3 ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ0.2 1 ȚȘȚ, Ȏ ȜȏȨȓȚțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ ȒȜ 10 30 ȚȘȚ [284]. ǰ ȠȜȔȓ ȐȞȓȚȭ țȎșȖȥȖȓ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜȒșȜȔȘȖ ȟȖșȪțȜ șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ ȎșȬȚȖțȖȓȚ ȟșȜȓȐ, Ȑ ȠȜȚ ȥȖȟșȓ Ȗ ȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȣ, ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȕȎȚȓȒșȓțȖȬ ȒȖȢȢȡȕȖȖ [30, 276, 292].
ǰ ȟșȡȥȎȓ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȎșȬȚȖțȖȭ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓ țȎȞȡȦȓțțȜȑȜ ȟșȜȭ Ȑ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȚ ȟșȜȓ SiC, ȝȜȒȥȖțȭȬȧȓȑȜ ȠȓȚ ȔȓȕȎȘȜțȜȚȓȞțȜȟȠȭȚ, ȥȠȜȖȝȞȖȒȖȢȢȡȕȖȖ ȏȜȞȎ[279]. ǻȎȞȡȦȓțțȩȗ ȟșȜȗ, ȘȎȘ Ȗ Ȑ ȟșȡȥȎȓ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȏȜȞȎ, țȓ ȟȜȒȓȞȔȖȠ ȒȖȟșȜȘȎȤȖȗ, Ȗ ȟȜȟȠȜȖȠȖȕȒȓȢȓȘȠȜȐ, ȜȏȡȟșȜȐșȓțțȩȣȒȓȢȜȞȚȎȤȖȓȗȞȓȦȓȠȘȖSiC, ȟȐȭȕȎțțȜȗ ȟȞȎȕțȖȤȓȗȐȎȠȜȚțȩȣ ȞȎȒȖȡȟȎȣ ȎșȬȚȖțȖȭȖȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭ [280]. ǼȠȚȓȥȎȓȠȟȭ, ȥȠȜ ȘȞȖȠȖȥȓȟȘȎȭ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ 1¸1019 ȟȚ 3, Ȏ ȠȜșȧȖțȎ țȎȞȡȦȓțțȜȑȜ ȟșȜȭ ȜȏȩȥțȜ țȓ ȝȞȓȐȩȦȎȓȠ 1 2 ȚȘȚ, ȥȠȜ ȟȞȎȐțȖȚȜ ȟ ȑșȡȏȖțȜȗ p-n ȝȓȞȓȣȜȒȜȐ, ȝȜșȡȥȎȓȚȩȣ Ȓșȭ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȣ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ.
ǺȓȣȎțȖȕȚ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȎșȬȚȖțȖȭ Ȑ SiC ȜȏȟȡȔȒȎȓȠȟȭ Ȑ ȞȎȏȜȠȎȣ [261, 274]. ǽȞȜȖȟȣȜȒȭȧȖȓ ȝȞȜȤȓȟȟȩ ȎțȎșȜȑȖȥțȩ ȝȞȜȤȓȟȟȎȚ Ȑ SiC ȝȞȖȒȖȢȢȡȕȖȖȏȜȞȎ. ǰȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗȜȏșȎȟȠȖȝȜȒșȜȔȘȖ, ȐȟȖșȡ ȒȜțȜȞțȜ-ȎȘȤȓȝȠȜȞțȜȑȜ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȭ, ȑȓțȓȞȖȞȡȬȠȟȭ ȠȜȥȓȥțȩȓ ȒȓȢȓȘȠȩ (ȡȑșȓȞȜȒțȩȓ ȐȎȘȎțȟȖȖ), ȘȜȠȜȞȩȓ ȟȐȭȕȩȐȎȬȠ ȎșȬȚȖțȖȗ Ȑ ȚȎșȜȝȜȒȐȖȔțȩȓ ȘȜȚȝșȓȘȟȩ (AlSi VC ) Ȗ ȢȜȞȚȖȞȡȬȠ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȡȬ ȜȏșȎȟȠȪ ȟ ȐȩȟȜȘȜȗ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ ȒȖȢȢȡȕȎțȠȎ Ȗ țȖȕȘȖȚ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȚ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȜȚ ȒȖȢȢȡȕȖȖ.
ǼȏȨȓȚțȎȭȐȓȠȐȪȢȜȞȚȖȞȡȓȠȟȭȝȞȖȒȖȢȢȡȕȖȖȎȠȜȚȜȐȎșȬȚȖțȖȭ ȝȜ ȐȎȘȎțȟȖȭȚ ȘȞȓȚțȖȭ ȟ ȐȩȟȜȘȖȚ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȚ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȜȚ ȒȖȢȢȡȕȖȖ [261].
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 8 |
187 |
|
|
ǽȞȖ ȜȣșȎȔȒȓțȖȖ ȜȏȞȎȕȤȎ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȎȭ ȜȏșȎȟȠȪ ȡȟȖșȓțțȜ ȟȐȭȕȩȐȎȓȠ ȎȠȜȚȩ Al, Ȏ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȚȓȔȒȡ ȜȏȨȓȚțȜȗ Ȗ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȜȏșȎȟȠȭȚȖ ȜȏȞȎȕȡȓȠȟȭ ȎțȜȚȎșȪțȩȗ ȟșȜȗ, ȜȏȓȒțȓțțȩȗ ȟȐȜȏȜȒțȩȚȎșȬȚȖțȖȓȚ, ȟȐȩȟȜȘȜȗȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗȚȎșȜȝȜȒȐȖȔțȩȣ ȘȜȚȝșȓȘȟȜȐ AlSi VC, ȜȏșȎȒȎȬȧȖȣ ȒȜțȜȞțȩȚȖ ȟȐȜȗȟȠȐȎȚȖ [274].
ǶȟȝȜșȪȕȡȭ ȫȠȜȠ ȚȓȣȎțȖȕȚ, Ȑ ȞȎȏȜȠȎȣ [293, 294] ȞȎȕȞȎȏȜȠȎțȎ ȚȎȠȓȚȎȠȖȥȓȟȘȎȭ ȚȜȒȓșȪ, ȝȜȕȐȜșȭȬȧȎȭ ȞȎȟȟȥȖȠȩȐȎȠȪ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜȓ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓȎșȬȚȖțȖȭȐSiC ȐȞȓȕȡșȪȠȎȠȓȐȩȟȜȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȜȑȜ ȜȠȔȖȑȎ ȖȜțțȜȖȚȝșȎțȠȖȞȜȐȎțțȩȣ ȟșȜȓȐ. ǽȞȓȒȟȠȎȐșȓțțȩȓ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȟȜȑșȎȟȡȬȠȟȭ ȟ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȚȖ ȒȎțțȩȚȖ.
ǼȒțȎȘȜ, Ȑ ȞȎȏȜȠȓ [57] ȝȞȓȒșȎȑȎȓȠȟȭ ȚȓȣȎțȖȕȚ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȎșȬȚȖțȖȭ Ȑ SiC, ȟȜȑșȎȟțȜ ȘȜȠȜȞȜȚȡ Ȑ ȝȜȒșȜȔȘȓ ȑȓțȓȞȖȞȡȬȠȟȭ ȒȓȢȓȘȠȩ ȘȞȓȚțȖȓȐȜȗȝȜȒȞȓȦȓȠȘȖ – șȖȏȜȚȓȔȒȜȡȕȓșȪțȩȓȎȠȜȚȩȘȞȓȚțȖȭ, șȖȏȜ ȎțȠȖȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȓȒȓȢȓȘȠȩ(ȘȞȓȚțȖȗȐȡȑșȓȞȜȒțȩȣȡȕșȎȣ). ȋȠȖȒȓȢȓȘȠȩȢȜȞȚȖȞȡȬȠȟȎȠȜȚȎȚȖȎșȬȚȖțȖȭȎȟȟȜȤȖȎȠȩ, ȐȩȕȩȐȎȬȧȖȓȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓ ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȩȣ ȝȞȜȢȖșȓȗ ȟ ȎțȜȚȎșȪțȩȚȖ ȜȏșȎȟȠȭȚȖ.
ǾȎȟȥȓȠȩȫțȓȞȑȖȖȕȎȚȓȧȓțȖȭȝȜȘȎȕȩȐȎȬȠ, ȥȠȜȎȠȜȚȎȚȎșȬȚȖțȖȭ ȫțȓȞȑȓȠȖȥȓȟȘȖȐȩȑȜȒțȜȕȎȚȓȧȎȠȪȎȠȜȚȡȑșȓȞȜȒȎȐȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗ ȞȓȦȓȠȘȓ SiC [295]. ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, ȜȤȓțȜȥțȩȓ ȞȎȟȥȓȠȩ ȝȜȘȎȕȩȐȎȬȠ, ȥȠȜ ȎȠȜȚȩ ȎșȬȚȖțȖȭ țȓ ȝȜșȡȥȎȬȠ ȫțȓȞȑȓȠȖȥȓȟȘȜȑȜ ȐȩȖȑȞȩȦȎ ȜȠ ȝȓȞȓȚȓȧȓțȖȭ ȐȑșȡȏȪ ȝȜȒșȜȔȘȖ SiC Ȗ ȜȠțȜȟȭȠȟȭ Ș ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȎȘȠȖȐțȩȚ ȐȓȧȓȟȠȐȎȚ.
ǰ ȞȎȏȜȠȓ [296] șȓȑȖȞȜȐȎțȖȓ SiC ȜȟȡȧȓȟȠȐșȭșȜȟȪ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ șȎȕȓȞțȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȝȜȒșȜȔȓȘ n-6H-SiC (0001) șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ ȎȕȜȠȜȚ
ȒȜ 1.0¸1018 ȟȚ 3. ǼȏȞȎȏȜȠȘȎ ȝȜȒșȜȔȘȖ ȝȞȜȐȜȒȖșȎȟȪ ȝȞȖ ȘȜȚțȎȠțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȫȘȟȖȚȓȞțȩȚ șȎȕȓȞȜȚ (M= 248 țȚ) 1000 ȖȚȝȡșȪȟȎȚȖ ȒșȖȠȓșȪțȜȟȠȪȬ ȝȜ 20 țȟ ȟ ȥȎȟȠȜȠȜȗ 1 DZȤ. ǹȎȕȓȞțȩȗ șȡȥ ȢȜȘȡȟȖȞȜȐȎșȟȭțȎȜȏșȎȟȠȪȞȎȕȚȓȞȜȚ2× 4 ȚȚ2, ȝșȜȠțȜȟȠȪȫțȓȞȑȖȖȟȜȟȠȎȐșȭșȎ 1.5 DzȔ/ȟȚ2. ǼȏȞȎȏȜȠȘȎ ȝȜȒșȜȔȘȖ ȝȞȜȖȕȐȜȒȖșȎȟȪ Ȑ ȞȓȎȘȠȜȞȓ ȟȜ ȟȚȓȟȪȬ(99.8%)ƕ2 / (0.2%)CH3)3Al țȎȣȜȒȭȧȓȗȟȭȝȜȒȒȎȐșȓțȖȓȚ100 ȀȜȞȞ. DzȜȝȜșțȖȠȓșȪțȎȭ ȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȎ ȝȜȒșȜȔȓȘ țȓ ȝȞȜȖȕȐȜȒȖșȎȟȪ.
Ƕȕ ȟȓȞȓȒȖțȩ șȓȑȖȞȜȐȎțțȩȣ ȜȏșȎȟȠȓȗ ȐȩȞȓȕȎșȖȟȪ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȞȎȕȚȓȞȜȚ 1× 1.5 ȚȚ2 țȎ ȘȜȠȜȞȩȣ ȝȞȜȐȜȒȖșȖȟȪ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȚȓȠȜȒȜȚ ǰǶǺǿ Ȗ ȖȕȚȓȞȓțȖȭ ǰǮȃ ȝȜȟșȓ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ. DzȎțțȩȓ ǰǶǺǿ, ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțțȩȓ țȎ ȞȖȟ. 8.19, ȝȜȘȎȕȩȐȎȬȠ, ȥȠȜ ȚȎȘȟȖȚȡȚ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȎșȬȚȖțȖȭ (1.0¸1022 ȟȚ 3) țȎȣȜȒȖȠȟȭ țȎ ȑșȡȏȖțȓ ȝȜȞȭȒȘȎ 0.02 ȚȘȚ, Ȏ p+-n ȝȓȞȓȣȜȒ țȎ ȑșȡȏȖțȓ ȝȜȞȭȒȘȎ 0.05 ȚȘȚ. ǽȞȖȚȓȟȪ ȝȜșțȜȟȠȪȬ ȎȘȠȖȐȖȞȜȐȎțȎ Ȗ țȎȞȡȦȓțȖȭ ȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȖ SiC Ȑ șȓȑȖȞȜȐȎțțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ țȓ țȎȏșȬȒȎȓȠȟȭ.
188 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.
ǾȖȟ. 8.19. ǰǶǺǿȝȞȜȢȖșȪȟȠȞȡȘ- ȠȡȞȩn-6H-SiC (0001) ȝȜȟșȓșȎȕȓȞțȜȑȜ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ ȎșȬȚȖțȖȓȚ
ǻȓȟȚȜȠȞȭțȎȝȞȜȟȠȜȠȡȖȝȓȞȟȝȓȘȠȖȐțȜȟȠȪ ȠȎȘȜȑȜȚȓȠȜȒȎșȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ, Ș ȓȑȜ țȓȒȜȟȠȎȠȘȎȚ ȟșȓȒȡȓȠ ȜȠțȓȟȠȖ ȖȕȚȓțȓțȖȓ ȚȜȞȢȜșȜȑȖȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ Ȗ ȐȩȟȜȘȡȬ ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȝȜ ȝȓȞȖȢȓȞȖȖ ȕȜțȩ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ, ȟȐȭȕȎțțȩȣȟȜȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȚȖȑȞȎȒȖȓțȠȎȚȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȖțȓȞȎȐțȜȚȓȞțȜȟȠȪȬȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭȝșȜȠțȜȟȠȖȫțȓȞȑȖȖȝȜȟȓȥȓțȖȬ șȎȕȓȞțȜȑȜ șȡȥȎ [281].
ǰȞȎȏȜȠȓ[297] ȜȠȚȓȥȎȓȠȟȭ, ȥȠȜȝȞȖȚȓțȓțȖȓșȎȕȓȞțȜȗȜȏȞȎȏȜȠȘȖ
ȟȖȚȝȡșȪȟȎȚȖ țȎțȜȟȓȘȡțȒțȜȗ ȒșȖȠȓșȪțȜȟȠȖ Ȓșȭ ȞȓȘȞȖȟȠȎșșȖȕȎȤȖȜțțȜȑȜ ȜȠȔȖȑȎ SiC ȐȩȕȩȐȎȓȠ ȏȜșȪȦȖȓ ȕȎȠȞȡȒțȓțȖȭ, ȝȜȟȘȜșȪȘȡ ȝȜȭȐșȓțȖȓ ȒȓȢȓȘȠȜȐ țȎȏșȬȒȎȓȠȟȭ ȝȞȖ ȡȞȜȐțȭȣ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȫțȓȞȑȖȖ, țȓȒȜȟȠȎȠȜȥțȜȗ Ȓșȭ ȎȘȠȖȐȎȤȖȖ ȝȞȖȚȓȟȖ.
ǽȓȞȟȝȓȘȠȖȐțȩȚ ȚȓȠȜȒȜȚ ȎȘȠȖȐȎȤȖȖ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȭȐșȭȓȠȟȭȫșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȎȭȜȏȞȎȏȜȠȘȎ. ǾȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȣ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ [298, 299] ȝȜȘȎȕȎșȖ, ȥȠȜ ȝȞȖȚȓțȓțȖȓ ȫșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȡȐȓșȖȥȖȠȪ
ȐțȓȟȘȜșȪȘȜȞȎȕȜȏȨȓȚțȩȗ, ȖțȎțȓȟȘȜșȪȘȜȝȜȞȭȒȘȜȐȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȗ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȝȞȖȚȓȟȖ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȐȜȕȚȜȔțȜ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓ ȠȜțȘȖȣ ȟșȜȓȐ (ȝȜȞȭȒȘȎ 0.01 ȚȘȚ) ȟ ȐȩȟȜȘȜȗ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ șȓȑȖȞȡȬȧȓȗ ȝȞȖȚȓȟȖ ȏȓȕ țȎȑȞȓȐȎ ȜȏȞȎȕȤȎ.
ǰ[300] ȜȠȚȓȥȎȓȠȟȭ, ȥȠȜ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȜȟȠȪ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ ȫșȓȘȠȞȜțțȜșȡȥȓȐȜȗȜȏȞȎȏȜȠȘȖȚȜȔțȜȕțȎȥȖȠȓșȪțȜȝȜȐȩȟȖȠȪȕȎȟȥȓȠȐȎȞȪȖȞȜȐȎțȖȭȐȦȖȞȜȘȖȣȝȞȓȒȓșȎȣȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐȖȟȜȥȓȠȎțȖȭ țȎȑȞȓȐȎȖțȓȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȎȘȠȖȐțȩȣȝȞȜȤȓȟȟȜȐ. ǽȞȖȫȠȜȚȡȟȠȞȎțȓțȖȓ ȑȞȎȒȖȓțȠȜȐȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩȐȕȜțȓȜȏȞȎȏȜȠȘȖȞȓȦȎȓȠȟȭȕȎȟȥȓȠȝȞȜȑȞȓȐȎ ȜȏȞȎȕȤȎ țȎ țȎȥȎșȪțȩȣ ȫȠȎȝȎȣ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ.
ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȣȜȠȭ ȜȏȧȖȓ ȕȎȘȜțȜȚȓȞțȜȟȠȖ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȎșȬȚȖțȖȭ Ȑ SiC ȜȝȞȓȒȓșȓțȩ, țȓȜȏȣȜȒȖȚȩ ȒȎșȪțȓȗȦȖȓ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ
ȐȫȠȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ.
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 8 |
189 |
|
|
8.5.3.4. DzȖȢȢȡȕȖȭ ȑȎșșȖȭ Ȑ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ
dzȧȓ Țȓțȓȓ ȖȕȡȥȓțțȜȗ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȜȗ ȝȞȖȚȓȟȪȬ Ȑ SiC ȭȐșȭȓȠȟȭ ȑȎșșȖȗ. ǰ ȞȎȏȜȠȓ [291] ȜȠȚȓȥȎȓȠȟȭ, ȥȠȜ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȑȎșșȖȭ Ȑ SiC ȟȣȜȒțȩ ȟ ȝȎȞȎȚȓȠȞȎȚȖ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȎșȬȚȖțȖȭ. DzȖȢȢȡȕȖȜțțȜȓ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ ȑȎșșȖȭ, ȝȜșȡȥȓțțȜȓ Ȑ ȞȎȏȜȠȓ [291] ȚȓȠȜȒȜȚ p-n ȝȓȞȓȣȜȒȎ Ȗ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțțȜȓ țȎ ȞȖȟ. 8.20, ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȎȝȝȞȜȘȟȖȚȖȞȜȐȎțȜ erfc-ȢȡțȘȤȖȓȗ. ǽȞȖ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȑȎșșȖȭ țȓ ȜȏȞȎȕȡȓȠȟȭ ȐȘșȬȥȓțȖȗ ȐȠȜȞȜȗ ȢȎȕȩ, Ȏ ȞȎȟȠȐȜȞȖȚȜȟȠȪ Ȑ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ
ǾȖȟ. 8.20. ǾȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ ȑȎșșȖȭ Ȑ SiC |
ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ(2000 2500)°ǿȟȜ- |
ȝȜȟșȓ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȝȞȖ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȠȓȚȝȓ- |
ȟȠȎȐșȭȓȠ 1.0¸1019 ȟȚ 3 Ȓșȭ ȡȑ- |
ȞȎȠȡȞȎȣ Ȁ°ǿ: 1 – 1900, 2 – 2100, 3 – 2200, |
șȓȞȜȒțȜȗȖ(1.0 9.0)¸1018 ȟȚ 3 |
4 – 2350 |
Ȓșȭ ȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ ȑȞȎțȖ. |
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ȜȏȨȓȚțȩȚȖȖȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠ- ǾȖȟ. 8.21. ǾȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȎȘȤȓȝȠȜȞțȩȣ ȝȞȖȚȓȟȓȗ ȝȞȖ ȒȖȢȢȡȕȖȖ Ȑ țȩȚȖȜȏșȎȟȠȭȚȖȢȜȞȚȖȞȡȓȠ- ȘȎȞȏȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ (ȘȜȚȝȓțȟȖȞȜȐȎțțȩȓ Ȝȏ-
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