1.5 Содержание отчета
Отчет должен содержать
графики концентрационного профиля в исходной пластине, концентрационные графики внедренной примеси после стадий загонки и разгонки;
подробный расчет параметров таблицы 2;
подробный расчет параметров диффузионного p-n перехода (глубина, поверхностная концентрация, доза введенной примеси) для стадий загонки и разгонки;
выводы и технические комментарии к работе
|
Эффект взаимодействия примесей: бора (база) и фосфора (эмиттер) – выдавливание базы эмиттером |
|
Таблица – Значения дополняющей функции интеграла ошибок
|
z |
erfc(z) |
z |
erfc(z) |
z |
erfc(z) |
z |
erfc(z) |
|
0 |
1,00000 |
1,0 |
0,15730 |
2,0 |
0,00468 |
3,0 |
0,00002209 |
|
0,1 |
0,88754 |
1,1 |
0,11980 |
2,1 |
0,00298 |
3,1 |
0,00001165 |
|
0,2 |
0,77730 |
1,2 |
0,08969 |
2,2 |
0,00186 |
3,2 |
0,00000603 |
|
0,3 |
0,67137 |
1,3 |
0,06599 |
2,3 |
0,00114 |
3,3 |
0,00000306 |
|
0,4 |
0,57161 |
1,4 |
0,04772 |
2,4 |
0,000689 |
3,4 |
0,00000152 |
|
0,5 |
0,47950 |
1,5 |
0,03390 |
2,5 |
0,000407 |
3,5 |
0,000000743 |
|
0,6 |
0,39614 |
1,6 |
0,02365 |
2,6 |
0,000236 |
3,6 |
0,000000356 |
|
0,7 |
0,32220 |
1,7 |
0,01621 |
2,7 |
0,000134 |
3,7 |
0,000000167 |
|
0,8 |
0,25790 |
1,8 |
0,01091 |
2,8 |
0,000075 |
3,8 |
0,000000077 |
|
0,9 |
0,20309 |
1,9 |
0,00721 |
2,9 |
0,000041 |
3,9 |
0,000000035 |
