МММ / распечатать

1. Построение в EXCEL графиков Аррениуса для коэффициентов диффузии бора, фосфора, мышьяка и сурьмы в кремниевой пластине и определение коэффициента диффузии этих примесей по графику для Т=1000°С

T(C)	D(B) cm2sec-1	D(P) cm2sec-1	D(As) cm2sec-1	D(Sb) cm2sec-1
1000О	1,26897E-14	1,27E-14	1,46E-15	1,993E-15

в)

;

Выводы:

- если C<ni (т.е. концентрация мала), то добавка мала и ей можно пренебречь;

- если С>ni , то добавка увеличивается в 2 раза;