
- •Вимірювання вакууму. Методи і прилади.
- •1.1 Сучасні фізичні уявлення про вакуум.
- •1.2 Одиниці вимірювання вакууму.
- •1.3 Історія дослідження вакууму.
- •2. Вакуум в науці і техніці.
- •2.1 Промислові вакуумні технології
- •2.2 Фізичні вакуумні прилади .
- •3. Засоби отримання вакууму.
- •3.1 Обертальні масляні насоси.
- •3.2 Дифузійні насоси.
- •3.3 Турбомолекулярні насоси.
- •4. Фізичні основи вимірювання вакууму. Датчики.
- •4.1 Теплові вакуумметри.
- •4.2 Іонізаційні вакуумметри.
- •4.3 Електронні іонізаційні вакуумметри.
- •4.4 Магнітні газорозрядні вакуумметри.
- •4.5 Динамічні і радіометричні вакуумметри.
- •5.1 Призначення, типи і параметри вакуумметрів.
- •5.2 Будова і блок схема вакуумметру віт-3.
- •5.3 Градуювання вакуумметрів.
1.2 Одиниці вимірювання вакууму.
Сучасна
вакуумна техніка дозволяє отримати
тиск у вакуумній камері~
Торр.
Діапазон тиску від цього значення до
величини атмосферного тиску (~
Торр)
складає 18 порядків. Забезпечити
вимірювання якимось одним універсальним
приладом у такому широкому проміжку
тисків неможливо.
П
Рис.14.1
Більшість манометрів не є абсолютними, а приладами непрямих вимірів, тобто тиск визначається на основі того чи іншого фізичного явища за допомогою відповідного перетворювача.
У Міжнародній системі одиниць (SI) за одиницю тиску прийнятий паскаль (Па) — тиск, створюваний силою в 1 ньютон (Н), рівномірно розподіленої по поверхні площею 1 м2 і спрямованої нормально до неї.
Несистемна одиниця тиску (1 кгс/см2) дорівнює тиску на площу 1 см2 сили в 1 кгс, де 1 кгс — сила, що придає масі в 1 кг нормальне прискорення вільного падіння в 9,81 м/с2. Одиниця тиску системи МКГСС (метр, кілограм-сила, секунда) дорівнює 1 кгс/м2.
У рідинних приладах з водяним або ртутним заповненням скляних трубок вимірювання тиску виконується в міліметрах водяного або ртутного стовпа (мм.вод.ст. або мм.рт.ст.). Значення, обмірювані в цих одиницях, звичайно відносять до нормального прискорення вільного падіння тіл і нормальній температурі, рівної для води 4°С і ртуті 0°С. Неважко встановити, що тиск в 1 мм.вод.ст. дорівнює тиску в 1 кгс/м2.
Несистемна одиниця тиску — бар, дорівнює тиску 1·105 Па або 1,01972 кгс/см2. Ця одиниця зручна в тім відношенні, що числа, що виражають тиск у барах і кгс/см2, відрізняються між собою не більше ніж на 2%.
Через те що зазначені одиниці — кгс/см2, мм.вод.ст., мм.рт.ст. і бар — у цей час мають поширення, вони тимчасово допускаються до застосування поряд з одиницями системи SI.
В англійських мірах одиницею тиску є 1 англ. фунт-сила (4,45 Н) на 1 кв. дюйм (0,645·10-3 м2), рівна 6890 Па.
Основні одиниці вимірювання тиску:
- 1
= 1 Па – 1 паскаль;
- 1
= 1 ат - 1 технічна атмосфера;
- 1 атм - 1 фізична атмосфера;
- 1 бар;
- 1 мм.рт.ст. - 1 Торр.;
- 1 п'єза.
Співвідношення між одиницею тиску системи SI і колишніми наведені в табл.5.1.
Таблиця 5.1. Співвідношення між одиницями тиску.
Па |
ат
=
|
атм |
бар |
Торр |
мм.вод.ст.
=
|
1 |
1,02∙105 |
9,87∙106 |
10 5 |
75∙104 |
0,102 |
9,81∙104 |
1 |
0,968 |
0,981 |
736 |
104 |
1,013∙105 |
1,033 |
1 |
1,013 |
760 |
1,033∙104 |
105 |
1,02 |
0,987 |
1 |
750 |
1,02∙104 |
133 |
1,36∙10-3 |
1,32∙10-3 |
1,33∙10-3 |
1 |
13,6 |
9,81 |
10-4 |
9,68∙10-5 |
9,81∙10-5 |
7,36∙10-2 |
1 |
1.3 Історія дослідження вакууму.
Дослідження вакууму розпочалися зі створення «торрічеллієвої порожнечі» італійським фізиком Еванджеліста Торрічеллі в середині XVII століття. Для отримання безповітряного простору Торрічеллі заповнив ртуттю тонку склянну трубку із запаяним кінцем, а потім опустив трубку відкритим кінцем униз в посудину, куди могла витекти ртуть. Як наслідок витікання частини ртуті з трубки, ртуть у трубці опустилася, а над нею утворився порожній простір. Запропонований Торрічеллі принцип використовується у ртутних барометрах, оскільки рівень ртуті в трубці залишається таким, щоб зрівноважити атмосферний тиск.
Досліди Торрічеллі заперечили неправильне твердження Аристотеля про те, що природа боїться порожнечі (horror vacui латиною). Однак, прихильники ідеї Аристотеля у свою чергу заперечували, що, мабуть, простір над ртуттю заповнений якоюсь невидимою речовиною. У відповідь на ці заперечення Блез Паскаль продемонстрував, що рівень ртуті змінюється з висотою.
Перший вакуумний насос винайшов у 1654 Отто фон Ґеріке. У 1850 Август Теплер винайшов насос Теплера, у 1855 Генріх Гайслер отрмав за допомогою ртутного насоса тиск 0,01 торр, а у 1865 Германн Шпренгель — насос Шпрегеля. Удосконалення конструкції насосів у середині XIX ст. відкрило шлях для створення вакуумних ламп.