- •ПРЕДИСЛОВИЕ
- •ЧАСТЬ I. ВАКУУМНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
- •Глава 1. ЭМИССИОННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
- •1.1. Электрон и его свойства. Электроны в твердом теле.
- •1.2. Эмиссионная электроника
- •Глава 2. ДВИЖЕНИЕ ЭЛЕКТРОНОВ В ВАКУУМЕ В РЕЖИМЕ ОБЪЕМНОГО ЗАРЯДА. ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫЕ ПРИБОРЫ
- •2.1. Диоды
- •2.2. Триоды
- •2.3. Многоэлектродные лампы
- •2.4. Особенности многоэлектродных ламп различного назначения
- •2.5. Генераторные и модуляторные лампы
- •2.6. Электровакуумные приборы диапазона сверхвысоких частот
- •Глава 3. ЭЛЕКТРОННАЯ ОПТИКА. ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ ПРИБОРЫ.
- •3.1. Электронные линзы
- •3.2. Электростатические линзы
- •3.3. Магнитные линзы.
- •3.4. Аберрации электронных линз.
- •3.5. Электронно-оптические системы (ЭОС) электронно-лучевых приборов.
- •3.6. Отклоняющие системы
- •3.7. Некоторые особенности электронной оптики интенсивных пучков
- •3.8. Приемные электронно-лучевые трубки
- •3.9. Проекционные ЭЛТ и системы
- •3.10. Запоминающие электронно-лучевые трубки
- •3.11. Передающие электронно-лучевые трубки
- •3.12. Электронно-оптические преобразователи
- •ЧАСТЬ II. ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
- •ГЛАВА 4. ЭЛЕМЕНТАРНЫЕ ПРОЦЕССЫ В ПЛАЗМЕ
- •4.1. Введение
- •4.3. Неупругие соударения электронов с атомами и молекулами
- •4.4 Движение электронов и ионов в газе
- •ГЛАВА 5. ОСНОВНЫЕ ВИДЫ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО РАЗРЯДА В ГАЗЕ
- •5.1. Классификация разрядов
- •5.2. Несамостоятельный газовый разряд
- •ГЛАВА 6. ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА
- •6.1. Основные понятия
- •6.2. Диагностика плазмы
- •6.3. Теории газоразрядной плазмы
- •6.4. Особенности теории плазмы низкого и высокого давления
- •ГЛАВА 7. ГАЗОРАЗРЯДНЫЕ ПРИБОРЫ
- •7.1. Приборы тлеющего разряда
- •7.2. Газоразрядные приборы, основанные на использовании излучения плазмы
- •7.3. Ионизационные камеры и счетчики излучений
- •7.4. Разрядники антенных переключателей
- •7.5. Приборы дугового несамостоятельного разряда
- •7.6. Приборы самостоятельного дугового разряда
- •7.7. Газоразрядные индикаторные панели
- •7.8. Газоразрядные знаковые индикаторы (монодисплеи)
- •ПРИЛОЖЕНИЕ
- •CПРАВОЧНЫЙ РАЗДЕЛ
- •РЕКОМЕНДУЕМАЯ ЛИТЕРАТУРА
- •СОДЕРЖАНИЕ
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Ивановский государственный химико-технологический университет
В.И. Светцов
ВАКУУМНАЯ И ПЛАЗМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
Учебное пособие
Рекомендовано учебно-методическим объединением по химико-
технологическому образованию в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений по специальности 251000 – «Химическая технология материалов и изделий электронной техники»
Иваново 2003
УДК 621.38
Вакуумная и плазменная электроника: Учеб. пособие / В. И. Светцов;
Иван. гос. хим.-технол. ун-т. Иваново, 2003. 172 с. ISBN 5-230-01605-1
Учебное пособие «Вакуумная и плазменная электроника» предназначено для студентов специальности 251000 «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники», изучающих дисциплину «Физическая электроника и электронные приборы» и студентов, обучающихся по направлению 550700 «Электроника и микроэлектроника» при изучении дисциплины «Вакуумная и плазменная электроника».
Печатается по решению редакционно-издательского совета Ивановского государственного химико-технологического университета.
Рецензенты:
кафедра электроники и микроэлектронных систем Ивановского государственного энергетического университета;
кандидат химических наук С.С. Галактионов (Российский химико- технологический университет им. Д.И. Менделеева).
Рекомендовано учебно-методическим объединением по химико-
технологическому образованию в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений по специальности 251000 – «Химическая технология материалов и изделий электронной техники».
ISBN 5-230-01605-1 |
ã Ивановский государственный |
|
химико-технологический |
|
университет, 2003 |
ПРЕДИСЛОВИЕ
Изучение физики явлений и физических основ работы приборов вакуум- ной и газоразрядной электроники является необходимым элементом подготов- ки инженеров - технологов электронной техники.
Данное пособие предназначено для студентов специальности 251000 "Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники", изучающих дисциплину "Физическая электроника и электронные приборы" и студентов, обучающихся по направлению 550700 "Электроника и микроэлектроника" при изучении дисциплины "Вакуумная и плазменная элек- троника". Пособие может быть полезно и для студентов других приборных и технологических специальностей, а так же практических инженеров.
Учебное пособие подготовлено на основе курса лекций, читаемых авто- ром студентам специальности 251000 и направления 550700. Оно включает два основных раздела, каждый из которых сопровождается контрольными вопро-
сами и набором заданий и задач для практических занятий и самостоятельной работы. При подготовке пособия использована учебная и монографическая ли- тература, список которой приведен, а так же периодические издания по элек- тронной технике.
Авторы выражают благодарность Д.И. Балашову за подготовку справоч- ного раздела, рисунков и оформление рукописи.
3