Вариант1

Подложка: ориентация 100, легирована фосфором с концентрацией 1E15 см^-3 .

Таблица1.

Часть	Имплантация			Отжиг		Результаты
	Элемент	E, keV	D, cm-3	T, 0C	t, sec	Xj, um	Rs, Om/cm
1	B	40	1e13	__	__	__
			1e14	__	__	__
			1e15	---	---	__
2	B	20	1e14	__	__		__
		40		__	__		__
		60		__	__		__
		80		__	__		__
3	B	40	1e14	1100	2
					10
					300
					300, O2
					300, H2O

Вариант2

Подложка: ориентация 100, легирована бором с концентрацией 1E15 см^-3

Провести моделирование при тех же условиях, что и в таблице1, но в качестве элемента имплантации взять фосфор.

Вариант3

Подложка: ориентация 100, легирована бором с концентрацией 1E15 см^-3.

Провести моделирование при тех же условиях, что и в таблице1, но в качестве элемента имплантации взять мышьяк.

При составлении командного файла не забудьте начать его с команд: TITLE и GRID, а также не забудьте после задания подложки указать команды: replace и graph для вывода графической информации и обновления сетки. Кроме того, необходимо задать команду 1d для сохранения одномерных сечений после имплантации и отжига, и для вывода поверхностного сопротивления, и команду save для сохранения результирующей структуры. См. пример.