Возможные поврежденияструктур, присущие плазменным процессам.
Тип |
|
|
Основная |
|
Присутствие |
эффекта |
Затрагиваемые |
|
|
|
|
при травлении |
или |
||||
повреждений |
|
причина |
|
материалы |
||||
|
|
осаждении |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Обычно только |
при |
|
|
|
|
|
|
|
травлении |
благодаря |
|
|
Осадочные |
|
Воздействие |
|
реакции |
|
|
Все |
|
загрязнения |
|
плазмы |
|
взаимодействия |
|
|||
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
побочных продуктов на |
|
||
|
|
|
|
|
поверхности |
|
|
|
|
|
|
Образование под |
|
|
|
|
|
Образование |
|
воздействием |
|
|
|
|
|
|
новых |
|
|
плазмы |
|
|
|
|
|
химических |
|
приповерхностно |
|
|
|
|
||
соединений |
в |
го реакционного |
|
|
|
|
||
результате |
|
|
слоя, |
|
|
|
|
|
взаимодействия |
насыщенного |
|
|
|
|
|
||
элементов |
|
|
распыленными |
|
Травление, осаждение |
Все |
||
обрабатываемой |
элементами |
|
|
|
|
|
||
структуры |
|
|
структуры, |
|
|
|
|
|
между |
собой |
вступающими |
во |
|
|
|
|
|
или |
|
с |
взаимодействие |
|
|
|
|
|
плазменными |
|
между собой |
и |
|
|
|
|
|
частицами. |
|
элементами |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
плазмы. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Вызванное |
|
|
|
Диэлектрики |
и |
|
плазмой |
Воздействие |
|
|
|||
|
Травление, осаждение |
полупроводник |
||||
проникновение |
плазмы |
|
||||
|
|
и |
|
|||
частиц |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
||
|
Бомбардировка |
|
Диэлектрики |
и |
||
Разрушение |
фотонами |
и |
|
|||
Травление, осаждение |
полупроводник |
|||||
связей |
частицами |
|
||||
|
|
и |
|
|||
|
плазмы |
|
|
|
||
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
Токи, |
|
|
|
|
|
|
возникающие |
в |
|
|
|
|
|
течение |
|
|
|
|
|
Токовые |
плазменной |
|
|
|
|
|
обработки из-за |
Травление, осаждение |
Диэлектрики |
|
|||
повреждения |
|
|||||
образования |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
||
|
зарядов |
или |
|
|
|
|
|
индуцированные |
|
|
|
||
|
токи |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Остановка травления при травлении окисла в результате интенсивной
полимеризации при травлении в смеси C4F8 во время формирования самосовмещенного контакта. (б) – исключение эффекта «стоп- травления» при добавке кислорода.
Поперечное сечение нижней части канавки с подтравом, вызванным переотражением ионов от заряженных стенок.
