Изображение ICP системы для травления. Электростатический экран между катушкой и диэлектрическим окном (кварцевая труба) обеспечивает индуктивное связывание и предотвращает емкостное связывание между плазмой и катушкой. Образец загружается рукой – роботом, специально разработанной для безопасной загрузки образцов MEMS

Схема форвакуумного насоса

Диффузионный насос

Турбомолекулярный насос

Схема криогенного насоса