Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Семестровый план / 4 курс / ПЛАН ИТС 45, 46.doc
Скачиваний:
23
Добавлен:
05.06.2015
Размер:
240.13 Кб
Скачать

2.2.Лабораторные занятия

Содержание

  1. 1

Определение удельного сопротивления полупроводников четырехзондовым методом (4 час). Л.6

  1. 2

Исследование температурной зависимости проводимости полупроводниковых материалов (4 час). Л.6

  1. 3

Температурная зависимость темновой проводимости в пленках а-Si:H (4 час). Л.5

  1. 4

Температурная зависимость фотопроводимости в пленках a-Si:H (4 час). Л.7

  1. 5

Исследование температурной зависимости подвижности электронов и дырок в легированных полупроводниках (4 час). Л.6

  1. 6

Измерение коэффициента оптического поглощения тонких пленок аморфных полупроводников методом постоянного фототока. Определение плотности состояний в запрещенной зоне по оптическим спектрам (4 час). Л.5

  1. 7

Определение глубины залегания p-n перехода в полупроводниковых структурах. Определение толщины непрозрачных пленок (4 час). Л.6

  1. 8

Изучение морфологии поверхности полупроводниковых пленок методом атомной силовой микроскопии (4 час). Л.7

Защита лабораторных работ (2 час).

    1. ДОМАШНИЕ ЗАДАНИЯ

Содержание

  1. 1

Полупроводниковые материалы. Собственные и примесные полупроводники. Примеси в полупроводниках. Поведение примесей в полупроводниках.

  1. 2

Эпитаксия в микроэлектронике.

  1. 3

Диэлектрические материалы. Основнык характеристики диэлектрических материалов. Функции диэлектриков в микроэлектронике. Диэлектрические материалы с низким значением диэлектрической проницаемости.

    1. САМОСТОЯТЕЛЬНАЯ РАБОТА

(адрес: http://www.mocnit.miet.ru/oroks-miet/srs.shtml - кафедра МФХ - логин: u<номер студенческого билета>, пароль: <дата рождения> в формате ДД.ММ.ГГГГ)

Темы ЭМИРС

Используемый ПП

Полярные диэлектрики. Свойства и получение. Применение в функциональной электронике. Л.3

Учебная дисциплина «физико-химические основы технологии микроэлектроники»

1.Информационное обеспечение дисциплины

1.1. Литература

1.

И.Н.Сорокин, М.В.Акуленок. Технология электронных компонентов (Учебное пособие). М.: МИЭТ, 1999.

2.

М.В.Акуленок. Сборник задач и упражнений по курсу «Технология электронных компонентов». М.: МИЭТ, 1998.

3.

Лабораторный практикум по курсу «Технология электронных компонентов». М.: МИЭТ, 1999.

4.

Ю.Д.Чистяков, Ю.П.Райнова. Физико-химические основы технологии микроэлектроники (Учебное пособие). М.: Металлургия, 1979.

5.

Технология СБИС под ред. С.Зи. М.: Мир, 1986. Том 1.

1.2. Электронные ресурсы

1.

Учебно-методическая разработка для самостоятельной работы студентов по курсу «Технологические процессы микроэлектроники»

Лабораторный практикум по курсу «Технологические процессы микроэлектроники»

Соседние файлы в папке 4 курс