- •Курсовая работа по предмету: Вакуумная и плазменная электроника
- •Содержание
- •Расчёт электрических характеристик кремниевого интегрального n-канального мдп транзистора
- •Исходные данные. Задание
- •Задание
- •1.2 Структура и топология мдп-транзистора
- •1.3 Расчет и корректировка порогового напряжения транзистора
- •1.4 Расчёт вах в рамках идеализированной модели
- •1.5 Расчёт вах с учётом неоднородности опз под затвором
- •1.6 Малосигнальная эквивалентная схема и ее параметры
- •1.7 Факультативное задание: Расчёт и корректировка порогового напряжения с учётом эффектов короткого и узкого канала
- •1.8 Факультативное задание: Расчёт реальной вах, зависящей от Vbs
- •1.9 Факультативное задание: Расчёт параметров эквивалентной схемы Рассчитаем малосигнальные параметры эквивалентной схемы, показанной на рисунке по рис.1.6:
Задание
1. Нарисовать масштабный эскиз и топологию МДП-транзистора в соответствии с заданием
2. Рассчитать пороговое напряжение
МДП-транзистора при заданных исходных
данных и
= 0.
3. Внести изменения в конструкцию
транзистора, чтобы обеспечить пороговое
напряжение
+1 В.
4. Рассчитать и построить выходные
характеристики в приближении
идеализированной модели при
= 0 в диапазоне напряжений:
0-5 В;
= 0 - 5 В (шаг 1 В)
5. Рассчитать выходную характеристику
с учётом неоднородности ОПЗ под затвором
(реальная ВАХ) при
0-5 В,
= 4 В,
= 0.
6. Построить выходные ВАХ транзистора
в рамках идеальной и реальной моделей
при
0-5 В,
= 4 В,
= 0.
7. Привести малосигнальную эквивалентную схему, объяснить смысл элементов.
Факультативно
8. Провести расчет
и корректировку
с учетом эффектов короткого и узкого
канала.
9. В дополнение к п.6
построить реальную выходную ВАХ для
= 4 В,
= -2 В. На одном графике совместить
следующие ВАХ:
- Идеальная ВАХ при
0-5 В,
= 4 В,
= 0
- Реальная ВАХ при
0-5 В,
= 4 В,
= 0
- Реальная ВАХ при
0-5 В,
= 4 В,
= -2В
10. Рассчитать параметры эквивалентной схемы.
1.2 Структура и топология мдп-транзистора
В соответствии с заданием, транзистор
имеет следующие характерные размеры:
L=2 мкм, W=30
мкм, d=0.04 мкм,
=0.5
мкм.
Масштабный эскиз структуры показан на рисунке 1.1.

Рисунок 1.1 – Структура исследуемого МДП-транзистора
Масштабная топология прибора показана на рисунке 1.2.

Рисунок 1.2 – Топология исследуемого МДП-транзистора
1.3 Расчет и корректировка порогового напряжения транзистора
При
пороговое напряжение n-МДП-транзистора
рассчитывается по формуле:
(1.1)
На основе исходных данных рассчитываем компоненты для данной формулы:
![]()

![]()
![]()
На основании полученных данных, рассчитываем величину порогового напряжения:

Для обеспечения заданной величины порогового напряжения
+1 В необходимо увеличить его на:
+1
- 0,381 = +0,619 В.
Если затвор сделать из р+-Si, то получим
0,381+1,12=1,501В.
Остается добавить
+1-1,501=-0,501В.
Так как эта величина
отрицательная, то под затвором необходимо
выполнить подлегирование поверхности
примесью n-типа
(мелкими донорами) на глубину
![]()
Необходимая доза подлегирования составляет:
Cредняя концентрация доноров в подзатворном слое:

1.4 Расчёт вах в рамках идеализированной модели
В этом приближении действие подложки
не учитывается, а толщина ОПЗ под затвором
считается постоянной и равной
.
(1.2)
где
;
(1.3)
Таблица точек построения графика идеальных ВАХ МДП-транзистора:
|
|
2 |
3 |
4 |
5 |
|
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
|
1 |
0,225 |
0,675 |
1,125 |
1,575 |
|
2 |
0.225 |
0,9 |
1,8 |
2,7 |
|
3 |
0.225 |
0,9 |
2 |
3,375 |
|
4 |
0.225 |
0,9 |
2 |
3,6 |
|
5 |
0.225 |
0,9 |
2 |
3,6 |
Ток выражен в мА.
Семейство идеальных ВАХ МДП-транзистора показано на рисунке 1.3:

Рисунок 1.3 – Семейство ВАХ МДП-транзистора в рамках идеальной модели
- ток стока;
- напряжение сток-исток;
1 - ВАХ МДП-транзистора для
;
2 - ВАХ МДП-транзистора для
;
3 - ВАХ МДП-транзистора для
;
4 - ВАХ МДП-транзистора для
;

,В