2. «Share-force» метод контроля расстояния зонд-поверхность в бом

Для работы БОМ необходимо удерживать зонд над поверхностью на расстояниях порядка 10нм и менее. Существуют различные решения данной проблемы, однако наиболее широкое распространение получили БОМ с так называемым "shear-force" методом контроля расстояния между зондом и образцом.

Чаще всего применяются схемы "shear-force" контроля с использованием пьезодатчика на основе кварцевого резонатора камертонного типа. Зонд БОМ крепится к кварцевому резонатору с помощью клея. Вынужденные колебания камертона на частоте, близкой к резонансной частоте системы зонд – кварцевый резонатор, возбуждаются с помощью дополнительного пьезовибратора. При этом зонд совершает колебательное движение параллельно поверхности образца. Измерение силы взаимодействия зонда с поверхностью производится посредством регистрации изменения амплитуды и фазы изгибных колебаний кварцевого резонатора на частоте возбуждения.

Изменения амплитуды и фазы изгибных колебаний в системе зонд-резонатор используются в качестве сигналов обратной связи для контроля расстояния зонд-поверхность в ближнепольных оптических микроскопах.

3. Приминение бом

Уступая СТМ и АСМ в разрешении, СБОМ имеет свою область применения в научных исследованиях. Кроме получения оптического изображения с высоким разрешением, это прежде всего локальная оптическая спектроскопия микроэлектронных, микробиологических и полупроводниковых объектов и модификация поверхности для сверхплотной записи информации и нанолитографии.

Заключение

Таким образом, в данном реферате были рассмотрены принципы работы основных типов зондовых микроскопов (сканирующего туннельного микроскопа, атомно-силового микроскопа), наиболее широко используемых в научных исследованиях. К сожалению, за рамками данного реферата остались другие приборы, работающие на принципах СЗМ, и большое количество исследовательских методик с применением зондовых микроскопов.

В настоящее время сканирующая зондовая микроскопия – это бурно развивающийся метод исследования поверхности с высоким пространственным разрешением и мощный инструмент для решения задач нанотехнологии – технологии создания приборных структур с субмикронными размерами.

Список литературы

1. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. М.: Мир, 2004.

2. Кобаяси Н. Введение в нанотехнологию. М.: Бином, 2005.

3. http://www.nanometer.ru/2011/11/13/nanoazbuka_264154.html(Нанотехнологическое сообщество «Нанометр». «Инструменты нанотехнологий»; последнее обновление: 10 апреля 2013г.)

4. http://www.nanonewsnet.ru/blog/nikst/viktor-bykov-instrumenty-nanotekhnologii-segodnya-zavtra(Сайт о нанотехнологиях «Nanonewsnet». «Инструменты нанотехнологий сегодня и завтра»; последнее обновление: 10 апреля 2013г.)

5. http://www.rusnanonet.ru/equipment/(Российская национальная нанотехнологическая сеть «Rusnanonet». «Инструменты нанотехнологий»; последнее обновление: 10 апреля 2013г.)

6. Суслов А. А., Чижик С. А. Сканирующие зондовые микроскопы Т.2 (1997).

7. http://ru.wikipedia.org/wiki/Сканирующий_зондовый_микроскоп(«Сканирующие зондовые микроскопы»; последнее обновление: 18 января 2013г.)

29