патенты
.docx
полосовой фильтр на поверхностных акустических волнах (пав) (РФ № 2121213)
Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано в акустоэлектронных устройствах частотной и временной обработки сигналов на поверхностных акустических волнах. Техническим результатом является подавление сигнала в полосе непропускания в интервале частот и возможность включения входного аподизованного преобразователя в прямом и обратном включении при равном уровне сигнала прямого прохождения. В фильтре на пьезоэлектрической подложке выполнены входной аподизованный и выходной неаподизованный встречно-штыревые преобразователи, между которыми расположены экран и треугольный фазокомпенсатор в виде металлических пленок, при этом суммирующие шины входного преобразователя выполнены V-образными и определены соотношения размеров основания и высоты фазокомпенсатора с углом наклона части суммирующей шины входного преобразователя к направлению распространения волн. 2 ил. Рисунки к патенту РФ 2121213
Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано в акустноэлектронных устройствах частотной и временной обработки сигналов на поверхностных акустических волнах, в частности в стационарных и переносных телевизионных приемниках и видеомагнитофонах. Известен полосовой фильтр, содержащий пьезоэлектрическую подложку с расположенными на ее поверхности входным и выходным преобразователями, один из которых аподизованный, и экраном между ними в виде металлической пленки. Суммирующие шины преобразователей выполнены параллельно распространению ПАВ. Для снижения уровня отраженных сигналов от торцов подложки на ее поверхность вблизи торцов нанесено поглощающее покрытие. Недостатком данной конструкции является наличие больших участков нерабочих поверхностей электродов преобразователя, вызывающих большой уровень отражения ПАВ, что приводит к искажениям импульсного отклика преобразователя и фильтра в целом. Наиболее близким техническим решением к заявленному является устройство полосового фильтра, содержащее пьезоэлектрическую подложку с расположенными на ее поверхности полосозадающим входным преобразователем, аподизованным путем изменения перекрытия штырей электродов, выходным преобразователем и экраном между ними. В части полосозадающего преобразователя, обращенной к выходному преобразователю, пространство между наклонными суммирующими шинами и границей зоны перекрытия противофазных штырей заполнено проводящим покрытием. Для обеспечения равенства относительных фазовых набегов ПАВ при ее распространении от границы зоны перекрытия электродов до границы преобразователя выполняется условие: фазовый набег волны, распространяющейся в активной зоне, равен сумме фазовых набегов волны в любом из смещенных относительно оси преобразователя в зонах проводящего покрытия и свободной поверхности пьезоэлектрической подложки. Одним из недостатков данного устройства являются большие уровни отражения ПАВ от рабочих электродов за счет большого пути прохождения сигнала в зоне перекрытия противоположных штырей преобразователя. Изобретение направлено на подавление сигнала в полосе непропускания в интервале частот и на возможность включения входного аподизованного преобразователя в прямом и обратном включении при равном уровне сигнала прямого прохождения. При решении данной задачи повышается качество полосового фильтра на ПАВ, что расширяет область его использования. Полосовой фильтр на ПАВ содержит пьезоэлектрическую подложку с расположенными на ее поверхности входным аподизованным преобразователем, имеющим суммирующие шины, выходным неаподизованным преобразователем и выполненным между ними экраном. Суммирующие шины входного преобразователя выполнены V-образными, а между входным преобразователем и экраном расположен фазокомпенсатор в виде остроугольного треугольника.
Размеры
основания и высоты треугольного
фазокомпенсатора взаимосвязаны с
углом наклона части суммирующей шины
входного преобразователя следующими
математическими выражениями:
a =
Z/4-d;
b = (L/2)-d) Благодаря скосу суммирующих шин входного аподизованного преобразователя симметрично уменьшается площадь участков нерабочих поверхностей электродов преобразователя, что дает малое различия уровня сигнала прямого прохождения при прямом и обратном включении аподизованного преобразователя. Это обеспечивает возможность изменения полярности подключения входного аподизованного преобразователя. Наличие в совокупности признаков заявленного изобретения треугольного фазокомпенсатора, размеры основания и высоты которого взаимосвязаны с углом наклона части суммирующих шин входного преобразователя, вызывает подавление сигнала в полосе непропускания в интервале частот и уменьшение отклонения формы АЧХ от расчетной в полосе пропускания. На фиг. 1 изображен общий вид предложенного устройства, на фиг. 2 - входной преобразователь с наклонной структурой аподизации. Полосовой фильтр на ПАВ /фиг. 1/ содержит пьезоэлектрическую подложку 1, на поверхности которой выполнены входной аподизованный 2 и выходной неаподизованный 3 встречно-штыревой преобразователь /ВШП/. Аподизация входного преобразователя 2 имеет наклонную структуру перекрытия электродов, области перекрытия которых симметричны относительно линии, проходящей по диагонали преобразователя /фиг. 2/.
Входной
преобразователь 2 на половине проекции
своей длины на направление распространения
ПАВ имеет скос, так что первая половина
суммирующих шин /фиг. 2, участки AB и
B"D"/ выполнены параллельно, а
другая половина /фиг. 2, участки BD и
A"B"/ - под углом
Угол
наклона Для выравнивания фронта волны введена дополнительная металлизация на подложке - фазокомпенсатор 6. Фазокомпенсатор 6 выполнен в виде остроугольного треугольника, одна сторона которого совмещена со стороной экрана 5.
Размер
высоты и основания треугольного
фазокомпенсатора 6 взаимосвязаны с
углом наклона Устройство работает следующим образом. Подают сигнал на входной аподизованный преобразователь 2. Преобразователь 2 возбуждает ПАВ, которые распространяются вдоль пьезоэлектрической подложки 1 в двух направлениях: в направлении к выходному преобразователю 3 и от него. При прохождении волны под электродами входного преобразователя 2 происходит отражение поверхностных волн от электродных структур, которые искажают АЧХ фильтра. Величина искажения импульсного отклика зависит от пути прохождения сигнала под нерабочими участками электродов. Для снижения уровня искажения отражения ПАВ от нерабочих участков электродов уменьшают их область выполнением скосов входного преобразователя 2 /фиг. 2, треугольники BDE, B"A"E"/. Скошенные области нерабочих электродов состоят из двух равных частей свободной и металлизированной поверхности. Скорость распространения ПАВ в зоне проводящего покрытия /металлизации/ и на свободной поверхности звукопровода различна. В результате этого возникают искажения фазового фронта волны /фиг. 1, сеч. 1-1/. Для устранения возникающего фазового искажения распространяющиеся волны проходят дополнительную металлизацию - фазокомпенсатор 6. Размеры фазокомпенсатора 6 выбирают из условия: волна по каждому горизонтальному каналу пьезоподложки 1 проходит путь дополнительной металлизации, равный скошенной металлизации в области нерабочих электродов. ПАВ с компенсированным фазовым сдвигом /фиг. 1, сеч. 111-111/ проходят к выходному преобразователю 3, где преобразуются в электрический сигнал. При построении аппаратуры возникает необходимость использования симметричного включения аподизованного преобразователя 2. При данном построении аподизованного преобразователя 2 обеспечивается высокий уровень симметрии по прямому прохождению сигнала за счет того, что площади разноименных электродных структур при данном построении преобразователя 2 равны. Поэтому при изменении полярности подключения преобразователя 2 уровень прямого прохождения сигнала практически не изменяется, что позволяет использовать данную структуру аподизованного преобразователя 2 в симметричном включении при высоком качестве симметрии электрических сигналов. Примером конкретного выполнения может служить полосовой фильтр на ПАВ, содержащий пьезоэлектрическую подложку из ниобата лития 15х3х07 мм /ОДО 734.033 ТУ/.
На
поверхности подложки методом
магнетронного напыления с последующей
фотолитографией выполнены входной
аподизованный, выходной неаподизованный
встречно-штыревые преобразователи,
экран и фазокомпенсатор. Наносимые
слои:
1/ адгезионный - ванадий ВнПл
- 1 или ВнПл-2 /ТУ 48-4-373-76/; толщина слоя
200 Проекция длины входного аподизованного преобразователя фильтра на направление распространения ПАВ L равна 6,0001 мм. Проекция ширины суммирующей шины входного преобразователя фильтра на направление распространения ПАВ d равна 0,1278 мм.
Аподизация
входного встречно-штыревого
преобразователя имеет наклонную
структуру перекрытия электродов. Угол
наклона половины суммирующей шины
входного преобразователя к направлению
распространения ПАВ
Согласно
приведенной зависимости размеры
основания и высоты треугольного
фазокомпенсатора определяются
ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ
Полосовой
фильтр на поверхностных акустических
волнах (ПАВ), содержащий пьезоэлектрическую
подложку с расположенными на ее
поверхности входным аподизованным
преобразователем, имеющим суммирующие
шины, выходным неаподизованным
преобразователем и выполненным между
ними экраном, отличающийся тем, что
суммирующие шины входного преобразователя
выполнены V-образными, фильтр снабжен
фазокомпенсатором, выполненным в виде
остроугольного треугольника,
расположенного между входным
преобразователем и экраном, при этом
одна сторона треугольника совпадает
со стороной экрана, а размеры основания
и высоты треугольного фазокомпенсатора
взаимосвязаны с углом наклона части
суммирующей шины входного преобразователя
следующими математическими
выражениями:
a=L/4-d;
b=(L/2-d)tg |
самосогласованный кольцевой фильтр на поверхностных акустических волнах (РФ № 2093954)
Изобретение
относится к области радиотехники и
может быть использовано в устройствах
частотной селекции радиосигналов.
Задача изобретения - уменьшение
вносимых потерь. Самосогласованный
(не нуждающийся в элементах согласования)
кольцевой фильтр содержит
пьезоэлектрический звукопровод,
входной и выходной встречно-штырьевые
преобразователи (ВШП) с одинарными
электродами, размещенными на рабочей
поверхности в параллельных акустических
каналах и со смещением их центров на
величину l = n Рисунки к патенту РФ 2093954
Изобретение относится к области радиотехники и может быть использовано в устройствах частотной селекции радиосигналов. Известен кольцевой фильтр на поверхностных акустических волнах (ПАВ), содержащий пьезоэлектрический эвукопровод, входной и выходной встречно -штырьевые преобразователи (ВШП) ПАВ, размещенные на рабочей поверхности звукопровода в параллельных акустических каналах, два отражающих многополосковых ответвителя (ОМПО), выполненных в виде широкого канала с периодом электродов a, узкого с периодом электродов b (a > b) и размещенного между ними соединительного канала с периодом электродов на одном крае a, а на другом b. Оба ОМПО размещены на рабочей поверхности звукопровода по обе стороны от входного и выходного ВШП с перекрытием апертур обоих акустических каналов [1] Недостатком подобного кольцевого фильтра на ПАВ является то, что для обеспечения малых вносимых потерь требуются согласующие элементы для входного и выходного ВШП. Кроме того, электроды соединительного канала ОМПО имеют большую длину и малую ширину на одном крае, что приводит к большим потерям на проводимость. Наиболее близким техническим решением к предлагаемому является самосогласованный ( не нуждающийся в элементах согласования) кольцевой фильтр на ПАВ [2] выбранный в качестве устройства прототипа, содержащий пьезоэлектрический звукопровод, входной и выходной ВШП с расщепленными электродами, размещенные на рабочей поверхности звукопровода в параллельных акустических каналах, два ОМПО, выполненных с тремя или четырьмя полосковыми электродами на периоде их структуры и размещенных на рабочей поверхности звукопровода по обе стороны от входного и выходного ВШП с перекрытием апертур обоих акустических каналов. Число расщепленных электродов во входном/выходном ВШП выбирается таким образом, чтобы для данного среза пьезоэлектрика на определенной частоте обеспечить режим самосогласования компенсацию статической емкости ВШП его реактивной проводимостью. В результате чего входной импеданс фильтра на данной частоте близок к активному и определяется уже только апертурой ВШП. Кроме того, ОМПО имеют малую длину и одинаковую ширину электродов соединительного канала. Данное техническое решение позволяет по сравнению с аналогом [1] устранить согласующие элементы за счет обеспечения режима самосогласования для входного/выходного ВШП с расщепленными электродами, уменьшить потери на проводимость соединительного канала ОМПО за счет применения новой конструкции ОМПО. Однако достигнутый уровень вносимых потерь ограничен конструкцией фильтра на ПАВ.
Поскольку
кольцевой фильтр на ПАВ в прототипе
выполнен самосогласованным, то при
всех прочих равных условиях вносимые
потери в фильтре будут ограничены
потерями на проводимость в электродах
ВШП и ОМПО, которые при одной и той же
толщине металлизации зависят от их
протяженности [3] Согласно данным по
прототипу [2] для обеспечения минимальных
потерь кольцевого фильтра в измерительном
тракте, например 50 Ом, необходимо,
чтобы выполнялся режим самосогласования,
а именно: входной/выходной ВШП фильтра
имел активный импеданс равный 50 Ом, а
статическая емкость ВШП компенсировалась
реактивной проводимостью излучения
ПАВ (динамической индуктивностью). В
прототипе на 164 МГц использовались
ВШП с расщепленными электродами на
срезе УХ/128o LiNbO3.
На фиг. 1 (данные из прототипа [2] рис.
11) показана измеренная активная G и
реактивная B части входной проводимости
Yвх ВШП
с числом пар электродов N 20 и с апертурой
W = 73 Технический результат, на достижение которого направлено изобретение - уменьшение вносимых потерь.
Достижение
этого результата обеспечивается тем,
что в самосогласованном кольцевом
фильтре на ПАВ, содержащем
пьезоэлектрический звукопровод,
входной и выходной ВШП ПАВ, размещенные
на рабочей поверхности звукопровода
в параллельных акустических каналах,
два ОМПО; выполненных с тремя или
четырьмя полосковыми электродами на
периоде их структуры и размещенных
на рабочей поверхности звукопровода
по обе стороны от входного и выходного
ВШП с перекрытием апертур обоих
акустических каналов согласно
изобретению в качестве входного и
выходного ВШП использованы ВШП с
одинарными (нерасщепленными электродами),
а сами ВШП размещены со смещением их
центров один относительно другого в
направлении распространения ПАВ на
величину, выбранную из соотношения
l
= n
Известно
применение ВШП с одинарными электродами
в устройствах на ПАВ [4] и, в частности,
в кольцевых ПАВ-фильтрах [1] Известно
применение пространственного сдвига
на lo/6
двух ВШП в параллельных акустических
каналах для подавления сигнала тройного
прохождения [5] Известно применение в
кольцевых ПАВ -фильтрах ВШП и ОМПО с
различными периодами электродов [2]
Известно, что для обеспечения режима
самосогласования и одиночных ВШП с
одинарными электродами используется
определенное число пар электродов
N0,
обратно пропорциональное к материалам
звукопровода [6]
Однако в заявляемом
устройстве предлагается в совокупности
с известными ОМПО в качестве входного
и выходного ВШП использовать ВШП с
одинарными электродами в режиме
самосогласования. В этом случае, как
показали эксперименты на различных
срезах LiNbO3,
частоту самосогласования fс удается
сместить в область больших значений
G (fс практически
совпадает с f0),
а поскольку G
Пространственный
сдвиг входного/выходного ВШП в
параллельных акустических каналах
на n Таким образом, техническое решение соответствует критерию "новизна", поскольку не известно сходное техническое решение, совпадающее по сочетанию признаков с заявляемой совокупностью существенных признаков.
На
фиг. 1 показана частотная зависимость
входной проводимости Yвх ВШП
с расщепленными и одинарными
(нерасщепленными) электродами в режиме
самосогласования при апертуре W =
73
Кольцевой
фильтр ( фиг. 2 и 3) содержит пьезоэлектрический
звукопровод 1, входной 2 и выходной ВШП
3 с одинарными электродами с периодом
P1,
размещенными на рабочей поверхности
в параллельных акустических каналах
4 и 5 и со смещением их центров на
величину l = n Принцип работы предлагаемого кольцевого фильтра на ПАВ подобен принципу, используемому в известном устройстве (прототипе), и основан на эффекте локализации акустической энергии, излученной входным ВШП 2 в оба направления в акустическом канале 4, выходным ВШП 3 в акустическом канале 5. Это достигается с помощью двух ОМПО 6 и 7, обеспечивающие передачу ПАВ между каналами 4 и 5. Малые вносимые потери определяются видом ОМПО, выбранной конструкцией ВШП 2 и 3 и их согласованием с внешними нагрузками. В конструкции кольцевого фильтра используются ОМПО как с тремя, так и с четырьмя полосковыми электродами на периоде их структуры P2[2] Согласование с внешними нагрузками осуществляется так же как в прототипе 2 без использования внешних LC - элементов (за счет самосогласования), когда обеспечиваются заданные активные входные/выходные импедансы фильтра за счет компенсации статической емкости ВШП его реактивной проводимостью излучения и выбором апертуры W ВШП 2 и ВШП 3. Эффект уменьшения вносимых потерь в предложенном самосогласованном кольцевом ПАВ-фильтре основан на том, что при одних и тех же сопротивлениях нагрузок (например 50 Ом) удается снизить потери на проводимость в ВШП и ОМПО по сравнению с известным устройством [2] за счет уменьшения протяженности их апертур.
Обратимся
к экспериментальному графику частотной
зависимости Yвх ВШП
с расщепленными электродами (как в
прототипе) и с одинарными электродами
как в предложенном устройстве (фиг.
1). В обоих случаях ВШП находятся в
режиме самосогласования. Здесь G и B
активная и реактивная составляющие
Yвх для
расщепленных электродов, G и B активная
и реактивная составляющие Yвх1 для
одинарных электродов. Оба ВШП имеют
одну и ту же частоту синхронизма f0 160
МГц. Материал звукопровода
YX/128o (K2 0,055)
количество пар электродов в первой
случае N=20, во втором N1 27.
Апертуры обоих преобразователей
одинаковы и составляют W = 73
Поскольку
в предложенном кольцевом фильтре с
малыми потерями использованы ВШП с
одинарными электродами, то в этом
случае возникает трехпролетный сигнал
[7] который существенно искажает форму
АЧХ фильтра в полосе пропускания,
"смазывает" условие самосогласования
и может свести на нет эффект уменьшения
вносимых потерь. На фиг. 5 показана АЧХ
кольцевого ПАВ-фильтра на YX/49o LiNbO3 с
одинарными электродами во входном/выходном
ВШП без подавления трехпролетного
сигнала (график 1) и с его подавлением
(график 2). Как видно из фиг. 5 (график
2) при подавлении трехпролетного
сигнала в фильтре меньшие потери и
лучшая форма АЧХ. Для подавления
трехпролетного сигнала ВШП 2 и ВШП 3
размещены со смещением их центров
один относительно другого в направлении
распространения ПАВ на величину 1
выбранную из соотношения
l =
n
Сдвиг
фаз между этими трехпролетными
сигналами в ВШП 3 составит
Следует
заметить, что при использовании ВШП
с расщепленными электродами как в
прототипе, смещение между ВШП 2 и ВШП
3 вводить не нужно, поскольку в этом
случае трехпролетный сигнал существенно
подавлен [7]
Для обеспечения
минимальных вносимых потерь, в
предложенном кольцевом фильтре
очевидно нужно, чтобы рабочая частота
ОМПО 6 и 7 (fОМПО)
совпадала с частотой самосогласования
fc1 ВШП
2 и ВШП 3 (B1 0,
фиг. 4). Эта частота для ВШП с одинарными
электродами находится значительно
ближе к его частоте синхронизма f0 в
отличие от случая с расщепленными
электродами (фиг. 1). Эту зависимость
можно идентифицировать для среза
YX/128oLiNbO3 на
частоте синхронизма f0 160
МГц, где сдвиг между f0 и
fc1 по
многочисленным экспериментальным
данным составляет 0,9 1,1 МГц (фиг. 4).
Тогда для обеспечения минимума потерь
в самосогласованном кольцевом фильтре
на срезе YX/128o,
(K21 0,055)
необходимо, чтобы fОМПО
Для
другого среза с коэффициентом
электромеханической связи
K22 относительный
частотный сдвиг будет иметь
значение
Для
экспериментальной проверки заявляемого
технического решения были изготовлены
опытные образцы фильтров на ПАВ на
звукопроводах из LiNbO3 срезов
YX/49o и
YX/128o ОМПО
выполнялись с 3-мя электродами на
периоде их структуры. Поверхностное
сопротивление алюминиевых электродов
составляло 0,05 Ом/ Применение подобных кольцевых фильтров на ПАВ во входных цепях радиоаппаратуры позволит улучшить ее чувствительность и динамический диапазон за счет уменьшения вносимых потерь. Источники информации 1. Заявка Франции N 2290785, H 03 h 9/00, 1976. аналог. 2. Pollock W. et al. Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1983, p. 87-92 - прототип. 3. Интегральные пьезоэлектрические устройства фильтрации и обработки сигналов. Под ред. Б.Ф. Высоцкого и В.В. Дмитриева М. Радио и связь, 1985, с. 82 84. 4. Smith W.R. et al. IEEE Trans. 1969, v. MTT-17, N 11, p. 865-873 5. Речицкий В.И. Радиокомпоненты на поверхностных акустических волнах.- М. Радио и связь, 1984, с. 34. 6. Hikita M. et al. Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1984, p. 82-92. 7. Bristol T.W. et al. Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1972, p. 343-345. 8. D.Zhang, Y.A. Shui. Electron. Lett. 1985, v. 21, N 13, p. 559-560. ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ
Самосогласованный
кольцевой фильтр на поверхностных
акустических волнах (ПАВ), содержащий
пьезоэлектрический звукопровод,
входной и выходной встречно-штыревые
преобразователи (ВШП), размещенные на
рабочей поверхности звукопровода в
параллельных акустических каналах,
два отражающих многополосковых
ответвителя (ОМПО), выполненных с тремя
или четырьмя полосковыми электродами
на периоде их структуры и размещенных
по обе стороны от входного и выходного
ВШП с перекрытием апертур обоих
акустических каналов, отличающийся
тем, что в качестве входного и выходного
ВШП использованы ВШП с одинарными
электродами, а сами ВШП размещены со
смещением их центров один относительно
другого в направлении распространения
ПАВ на величину, выбранную из
соотношения
l = n
где
l величина смещения центров ВШП в
направлении распространения ПАВ,
м;
|





Таким
образом трехпролетные сигналы в ВШП
3 полностью компенсируются. Для полезных
сигналов, пришедших слева к ВШП 3, фаза
составит
Поскольку
f0 V/P1,
fОМПО V/P2,
где
P1,
P2 период
электродов ВШП и ОМПО соответственно,
тогда
Подставляя
значения