Тесты к лекции 9
Высокочастотные (ВЧ) разряды
1. Каковы основные способы возбуждения для высокочастотных разрядов?
2. Перечислите наиболее важные случаи соотношения частоты генератора и
частоты электрон-ионных столкновений ст при высокочастотном разряде?
3. Какое движение характеризует электрон в ВЧ -разряде в случае превышения
частоты генератора над частотой электрон-ионных столкновений?
4. Каково будет движение электронов в ВЧ -разряде при превышении частоты
электрон-ионных столкновений над частотой генератора?
5. Каким будет соотношение для частот ионизации i , диффузии d и прилипания
a при стационарном СВЧ -разряде?