Инструкция по программе Nova
.pdf
Содержание
Часть 1. NOVA. Программа управления СЗМ
Содержание
ВВЕДЕНИЕ.................................................................................................................................................. |
|
|
1-6 |
||
1. |
ФУНКЦИОНАЛЬНОЕ НАЗНАЧЕНИЕ.......................................................................................... |
1-7 |
|||
2. |
НАЧАЛО РАБОТЫ |
............................................................................................................................. |
1-8 |
||
|
2.1. |
ТРЕБОВАНИЯ К КОМПЬЮТЕРУ....................................................................................................... |
1-8 |
||
|
2.2. |
УСТАНОВКА ПРОГРАММЫ ......................................................................................УПРАВЛЕНИЯ |
1-8 |
||
|
2.3. |
ОБНОВЛЕНИЕ ПРОГРАММЫ ...................................................................................УПРАВЛЕНИЯ |
1-12 |
||
|
2.4. |
ЗАПУСК И ЗАВЕРШЕНИЕ .....................................................РАБОТЫ ПРОГРАММЫ УПРАВЛЕНИЯ |
1-13 |
||
3. |
ИНТЕРФЕЙС ПРОГРАММЫ ...........................................................................УПРАВЛЕНИЯ |
1-14 |
|||
4. |
ГЛАВНОЕ МЕНЮ............................................................................................................................ |
|
1-17 |
||
5. |
ПАНЕЛЬ ОСНОВНЫХ .......................................................................................ПАРАМЕТРОВ |
1-22 |
|||
6. |
ОБЛАСТЬ ОСНОВНЫХ .........................................................................................ОПЕРАЦИЙ |
1-24 |
|||
7. |
ОБЛАСТЬ ДОПОЛНИТЕЛЬНЫХ ........................................................................ОПЕРАЦИЙ |
1-26 |
|||
8. |
ФОРМАТЫ ДАННЫХ ..................................................................................................................... |
1-27 |
|||
|
8.1. |
MDT–ФАЙЛ ................................................................................................................................ |
|
1-27 |
|
|
|
8.1.1. Сохранение ...................................................................................и загрузка данных |
1-27 |
||
|
|
8.1.2. |
Типы данных................................................................................................................ |
1-27 |
|
|
|
8.1.3. |
Содержимое ..........................................................................................MDT–файла |
1-28 |
|
|
8.2. |
ИМПОРТ ДАННЫХ ....................................................................................................................... |
1-29 |
||
|
8.3. |
ЭКСПОРТ ДАННЫХ ...................................................................................................................... |
1-30 |
||
9. |
ДАННЫЕ............................................................................................................................................. |
|
|
1-31 |
|
|
9.1. |
ОДНОМЕРНЫЕ ДАННЫЕ............................................................................................................... |
1-31 |
||
|
|
9.1.1. Панель ..............................................................отображения одномерных данных |
1-31 |
||
|
|
|
9.1.1.1. ................................................................................................ |
Панель инструментов |
1-32 |
|
|
|
9.1.1.2. ............................................................................ |
Область отображения 1D - данных |
1-34 |
|
|
|
9.1.1.3. ......................................Настройка интерфейса панели отображения 1D–данных |
1-34 |
|
|
|
9.1.2. |
Программный .......................................................................................осциллограф |
1-40 |
|
|
|
|
9.1.2.1. ................................................................................................ |
Панель инструментов |
1-41 |
|
|
|
9.1.2.2. .................................................................................................... |
Панель управления |
1-42 |
|
|
|
9.1.2.3. .................................................................................................. |
Экран осциллографа |
1-46 |
|
9.2. |
ДВУМЕРНЫЕ ДАННЫЕ................................................................................................................. |
1-47 |
||
|
|
9.2.1. |
Панель ................................................................................................инструментов |
1-48 |
|
|
|
9.2.2. |
Область ..........................................................................отображения 2D–данных |
1-50 |
|
|
|
9.2.3. |
Настройка ..................................интерфейса панели отображения 2D–данных |
1-51 |
|
|
9.3. |
ТЕКСТОВЫЕ ДАННЫЕ.................................................................................................................. |
1-56 |
||
10. |
ВКЛАДКА «DATA»........................................................................................................................... |
|
1-58 |
||
|
10.1. |
ПАНЕЛЬ УПРАВЛЕНИЯ................................................................................................................. |
1-59 |
||
|
10.2. |
ПАНЕЛЬ ПРОСМОТРА .............................................................................СОДЕРЖИМОГО ФАЙЛА |
1-62 |
||
|
10.3. |
ПАНЕЛЬ ПРОСМОТРА ...................................................................И РЕДАКТИРОВАНИЯ ФРЕЙМА |
1-64 |
||
11. |
ВКЛАДКА «AIMING»....................................................................................................................... |
1-65 |
|||
12. |
ВКЛАДКА «RESONANCE» ............................................................................................................. |
1-67 |
|||
|
12.1. |
ПАНЕЛЬ ПАРАМЕТРОВ ...........................................ПОСТРОЕНИЯ ЧАСТОТНЫХ ЗАВИСИМОСТЕЙ |
1-68 |
||
|
12.2. |
ПАНЕЛЬ ПАРАМЕТРОВ ...........................................................................................ГЕНЕРАТОРА |
1-72 |
||
|
12.3. |
ПАНЕЛЬ ПАРАМЕТРОВ ...........................................................................................ДЕТЕКТОРОВ |
1-72 |
||
13. |
ВКЛАДКА «APPROACH»................................................................................................................ |
1-76 |
|||
|
|
|
|
|
1-3 |
ЧАСТЬ 1. NOVA. Программа управления СЗМ
14. ВКЛАДКА «SCAN» ........................................................................................................................... |
1-81 |
|
14.1. |
ПАНЕЛЬ УПРАВЛЕНИЯ СКАНИРОВАНИЕМ................................................................................... |
1-82 |
14.2. |
ДИАЛОГОВОЕ ОКНО SCAN SETTINGS .......................................................................................... |
1-89 |
14.3. ПАНЕЛЬ ОТОБРАЖЕНИЯ 1D–ДАННЫХ СКАНИРОВАНИЯ ............................................................. |
1-92 |
|
14.4. |
ПАНЕЛЬ ОТОБРАЖЕНИЯ 2D–ДАННЫХ СКАНИРОВАНИЯ ............................................................. |
1-93 |
15. ВКЛАДКА «CURVES»...................................................................................................................... |
1-98 |
15.1. ПАНЕЛЬ УПРАВЛЕНИЯ СПЕКТРОСКОПИЧЕСКИМИ ИЗМЕРЕНИЯМИ.............................................. |
1-99 |
15.2. ПАНЕЛЬ ОТОБРАЖЕНИЯ 2D–ДАННЫХ СКАНИРОВАНИЯ ........................................................... |
1-103 |
15.3. ПАНЕЛЬ ОТОБРАЖЕНИЯ ДАННЫХ СПЕКТРОСКОПИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ.................................. |
1-105 |
16. ВКЛАДКА «LITHO» ....................................................................................................................... |
1-107 |
||
16.1. |
РАСТРОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ......................................................................................................... |
1-108 |
|
|
16.1.1. |
Панель управления литографией ............................................................................ |
1-108 |
|
16.1.2. |
Панель шаблона литографии.................................................................................. |
1-110 |
16.2. |
ВЕКТОРНАЯ ЛИТОГРАФИЯ ........................................................................................................ |
1-110 |
|
|
16.2.1. |
Панель управления литографией ............................................................................ |
1-110 |
|
16.2.2. |
Панель инструментов векторных шаблонов......................................................... |
1-112 |
17. ВКЛАДКА «NANOFAB» ................................................................................................................ |
1-114 |
17.1. ПАНЕЛЬ УПРАВЛЕНИЯ ПЬЕЗОПРИВОДАМИ СЗМКАМЕРЫ........................................................ |
1-115 |
17.2. ПАНЕЛЬ УПРАВЛЕНИЯ ПЬЕЗОПРИВОДАМИ ФИПКАМЕРЫ ....................................................... |
1-120 |
17.3. ПАНЕЛЬ УПРАВЛЕНИЯ КАРУСЕЛЬЮ ЗОНДОВЫХ ГОЛОВОК ....................................................... |
1-122 |
17.4. ПАНЕЛЬ УПРАВЛЕНИЯ МАНИПУЛЯТОРОМ ЗАМЕНЫ ЗОНДОВЫХ ГОЛОВОК............................... |
1-124 |
17.5. ПАНЕЛЬ ВЫБОРА КООРДИНАТНОГО СТОЛА .............................................................................. |
1-126 |
17.6. ДИАЛОГОВОЕ ОКНО AQ SETTINGS ........................................................................................... |
1-132 |
18. ВКЛАДКА «RL MOVER» .............................................................................................................. |
1-137 |
|
18.1. |
ДИАЛОГОВОЕ ОКНО SET COORDINATE SYSTEM ДЛЯ ПРЯМОУГОЛЬНОЙ |
1-138 |
|
СИСТЕМЫ КООРДИНАТ.............................................................................................................. |
|
18.2. |
ДИАЛОГОВОЕ ОКНО SET COORDINATE SYSTEM ДЛЯ ПОЛЯРНОЙ СИСТЕМЫ КООРДИНАТ.......... |
1-142 |
19. |
ВКЛАДКА «SCTP0 STAGE».......................................................................................................... |
1-147 |
|
20. |
ВКЛАДКА «SCHEME»................................................................................................................... |
1-151 |
|
|
20.1. |
ИНТЕРАКТИВНАЯ БЛОК–СХЕМА ............................................................................................... |
1-152 |
|
20.2. ПАНЕЛЬ ЦЕПИ ОБРАТНОЙ СВЯЗИ .............................................................................................. |
1-157 |
|
|
20.3. |
ПАНЕЛЬ ДЕТЕКТОРОВ ............................................................................................................... |
1-158 |
|
20.4. |
ПАНЕЛЬ ГЕНЕРАТОРА................................................................................................................ |
1-160 |
|
20.5. |
ПАНЕЛЬ ИСТОЧНИКА НАПРЯЖЕНИЯ ......................................................................................... |
1-160 |
21. |
ВКЛАДКА «VIDEO» ....................................................................................................................... |
1-161 |
|
|
21.1. ПОЛУЧЕНИЕ И ЗАПИСЬ ИЗОБРАЖЕНИЯ ..................................................................................... |
1-162 |
|
|
21.2. |
ПРОСМОТР ВИДЕОФАЙЛОВ....................................................................................................... |
1-162 |
22. |
ВКЛАДКА «CLOSED–LOOP»....................................................................................................... |
1-164 |
|
23. |
ВКЛАДКА «THERMO 150°C»....................................................................................................... |
1-166 |
|
24. |
ВКЛАДКА «THERMOSTAT»........................................................................................................ |
1-168 |
|
25. |
ВКЛАДКА «MAGNET» .................................................................................................................. |
1-171 |
|
26. |
ВКЛАДКА «ELECTROCHEMISTRY» ........................................................................................ |
1-174 |
|
|
26.1. |
ПАНЕЛЬ УПРАВЛЕНИЯ .............................................................................................................. |
1-174 |
|
26.2. |
ДИАЛОГОВОЕ ОКНО BI POTENTIOSTAT CALIBRATION.............................................................. |
1-177 |
|
26.3. |
ВКЛАДКА CYCLING ................................................................................................................... |
1-178 |
|
26.4. |
ВКЛАДКА PROGRAM ................................................................................................................. |
1-179 |
|
26.5. |
ВКЛАДКА GRAPH ...................................................................................................................... |
1-183 |
27. |
ВКЛАДКА «NTEGRA TOMO»...................................................................................................... |
1-186 |
|
1-4
|
|
|
|
Содержание |
|
|
|
||
ПРИЛОЖЕНИЯ |
...................................................................................................................................... |
1-191 |
||
1. |
КОНФИГУРАТОР........................................................................................................................... |
1-191 |
||
|
1.1. ФУНКЦИОНАЛЬНОЕ ................................................................НАЗНАЧЕНИЕ И ВОЗМОЖНОСТИ |
1-191 |
||
|
1.2. ЗАПУСК ..................................................................И ЗАВЕРШЕНИЕ РАБОТЫ КОНФИГУРАТОРА |
1-191 |
||
|
1.3. |
ОПИСАНИЕ ..........................................................................................................ИНТЕРФЕЙСА |
1-192 |
|
|
|
1.3.1. ............................................................................................................. |
Главное меню |
1-192 |
|
|
1.3.2. .............................................................................................. |
Панель инструментов |
1-193 |
|
|
1.3.3. ....................................................................................................... |
Рабочая область |
1-193 |
|
1.4. РАБОТА ...................................................................................................С КОНФИГУРАТОРОМ |
1-195 |
||
|
|
1.4.1. Сохранение и восстановление исходной конфигурации |
|
|
|
|
............................................................................................. |
программы управления |
1-195 |
|
|
1.4.2. ......................................................................Создание и изменение конфигурации |
1-196 |
|
|
|
1.4.3. ............................................................................................. |
Загрузка конфигурации |
1-199 |
2. |
PAR–ФАЙЛ....................................................................................................................................... |
|
1-201 |
|
3. |
КАЛЬКУЛЯТОР.............................................................................................................................. |
1-208 |
||
|
3.1. |
КОНСТРУКЦИЯ .........................................................................ВЫЧИСЛЯЕМОГО ВЫРАЖЕНИЯ |
1-210 |
|
|
|
3.1.1. ................................................................................................................ |
Переменная |
1-210 |
|
|
3.1.2. .......................................................................................................................... |
Число |
1-210 |
|
|
3.1.3. ................................................................................................................... |
Оператор |
1-210 |
|
|
3.1.4. ......................................................................................................................... |
Фрейм |
1-211 |
|
|
3.1.5. ................................................................................................................ |
Константа |
1-211 |
|
|
3.1.6. ..................................................................................................................... |
Функция |
1-211 |
|
|
3.1.7. ...................................................................................... |
Использование переменной |
1-211 |
|
|
3.1.8. ............................................................................................. |
Результат вычислений |
1-211 |
|
3.2. |
СИНТАКСИЧЕСКИЕ .....................................................................................................ОШИБКИ |
1-212 |
|
4. ИМПОРТ И ...............................................................................................ЭКСПОРТ ДАННЫХ |
1-214 |
|||
|
4.1. |
ИМПОРТ .....................................................................................................................ДАННЫХ |
1-214 |
|
|
|
4.1.1. ....................................................................................................... |
Импорт . Graphic |
1-214 |
|
|
4.1.2. .......................................................................................................... |
Импорт . ASCII |
1-216 |
|
|
4.1.3. ......................................................................................................... |
Импорт . Binary |
1-219 |
|
|
4.1.4. ............................................................................................................... |
Импорт . OS |
1-221 |
|
|
4.1.5. ........................................................................................................ |
Импорт . TWAIN |
1-221 |
|
|
4.1.6. ....................................................................................................... |
Импорт . Proscan |
1-221 |
|
|
4.1.7. ............................................................................................................. |
Импорт . TLK |
1-221 |
|
4.2. |
ЭКСПОРТ ....................................................................................................................ДАННЫХ |
1-221 |
|
|
|
4.2.1. ...................................................................................................... |
Экспорт . Graphic |
1-221 |
|
|
4.2.2. ......................................................................................................... |
Экспорт . ASCII |
1-227 |
|
|
4.2.3. ........................................................................................................ |
Экспорт . Matlab |
1-231 |
|
|
4.2.4. .......................................................................................................... |
Экспорт . Excel |
1-232 |
|
|
4.2.5. ................................................................................................... |
Экспорт . ImagePro |
1-233 |
5. |
РЕДАКТОР ПАЛИТР..................................................................................................................... |
1-234 |
||
6. |
СОЗДАНИЕ .................................................................................И ПРОСМОТР AVI–ФАЙЛА |
1-238 |
||
1-5
ЧАСТЬ 1. NOVA. Программа управления СЗМ
Введение
Данное руководство предназначено для получения справочной информации по интерфейсу программы управления Зондовыми Нанолабораториями, скомплектованными на базе платформы ИНТЕГРА и Сканирующими Зондовыми Микроскопами, скомплектованными на базе платформы Solver (далее обозначаются термином прибор). Описание содержит детальное разъяснение по поводу всех составных частей, функций, элементов интерфейса программы управления прибором.
1-6
Глава 1. Функциональное назначение
1. Функциональное назначение
Программа управления Nova предназначена для работы с приборами, выпускаемыми компанией “НТ–МДТ”.
В программе управления Nova реализуются следующие возможности:
−настройка оптической системы регистрации изгибов кантилевера;
−получение и обработка частотных характеристик;
−управление процессом подвода;
−управление процессом сканирования образца;
−обработка данных, полученных на приборе;
−проведение спектроскопических измерений;
−управление модифицированием поверхности образца в наномасштабе (нанолитографией);
−управление механизмом автоматического перемещения образца;
−управление сканирующей платформой и Z-сканером;
−работа с устройствами нагрева образца;
− создание скриптов автоматизации при помощи макроязыка
Nova PowerScript;
−интерактивное программно–электронное конфигурирование прибора;
−исследование различных сигналов;
−настройка емкостных датчиков;
−работа с электромагнитом;
−работа с бипотенциостатом электрохимической ячейки;
−управление ультрамикротомом;
−управление НаноФаб 100.
1-7
ЧАСТЬ 1. NOVA. Программа управления СЗМ
2. Начало работы
2.1. Требования к компьютеру
Конфигурация компьютера должна быть не ниже следующей:
−Процессор Pentium II;
−Свободное место на жестком диске 100 MВ;
−256 МВ RAM;
−CD–дисковод;
−Разрешение экрана монитора 1024×768;
−Операционная система Windows ХP и выше.
2.2.Установка программы управления
1.Включите компьютер.
2.Вставьте установочный диск в CD-ROM.
3.Запустите файл setup.exe. На экране появится окно:
Рис. 2-1
Для начала установки нажмите Next.
1-8
Глава 2. Начало работы
4. Вам будет предложено ознакомиться с лицензионным соглашением:
Рис. 2-2
Если вы согласны со всеми пунктами соглашения, нажмите Yes. В случае отказа процесс установки будет прекращён.
5. Укажите |
папку, |
в |
которую |
будет |
установлена |
программа. |
По умолчанию это папка C:\Program Files\NT-MDT\Nova. |
|
|||||
Рис. 2-3
1-9
ЧАСТЬ 1. NOVA. Программа управления СЗМ
6. Для запуска процесса установки нажмите Next.
Рис. 2-4
7.Программа установки начнёт процесс распаковывания файлов в выбранную папку.
Рис. 2-5
1-10
Глава 2. Начало работы
8.В том случае, если вы совершаете повторную установку программы, инсталлятор предложит вам указать папку, в которую будут записаны старые файлы. По умолчанию это папка C:\Program Files\NT-MDT\Nova\BACKUP.
Рис. 2-6
9.Далее инсталлятор предложит установить драйвер для СЗМ. В том случае, если драйвер для работы с контроллером не был установлен ранее, нажмите
Install.
Рис. 2-7
1-11
ЧАСТЬ 1. NOVA. Программа управления СЗМ
10. По завершении процесса установки нажмите кнопку Finish.
Рис. 2-8
11.После окончания установки на рабочем столе появится ярлык программы
Nova.
2.3.Обновление программы управления
Обновление программы управления осуществляется пользователем с сайта компании “НТ-МДТ” (http://ru.ntmdt.ru/Techsupport/Programs).
Архив установки обновленной версии программы управления следует сохранить на жесткий диск. Установка обновленной версии аналогична установке программы, описанной в п. 2.1 на стр. 1-8.
1-12