Инструкция по программе Nova

Глава 15. Вкладка «Curves»

например, при спектроскопии Mag(Height). По достижении измеряемым сигналом установленной в поле Level величины, перемещение сканера останавливается.

15.2. Панель отображения 2D–данных сканирования

Сканированные изображения поверхности отображаются в области отображения 2D–данных, что позволяет выбрать на изображении поверхности образца интересующие точки для проведения спектроскопии.

Рис. 15-6. Панель инструментов области отображения 2D–данных сканирования

Панель инструментов (Рис. 15-6) содержит стандартный набор кнопок, которые подробно описаны в 9.2.1 Панель инструментов на стр. 1-48, а также несколько дополнительных кнопок.

1-103

Глава 15. Вкладка «Curves»

15.3.Панель отображения данных спектроскопических измерений

Результаты спектроскопических измерений отображаются на графике. Если измерения проводились несколько раз или в нескольких точках, отображается набор таких графиков, представленный в виде двумерной карты (Рис. 15-7). Каждый сегмент соответствует измерению в одной точке. В приведенном примере измерения проводились по сетке из 25 точек.

Рис. 15-7

Панель инструментов графика имеет стандартные кнопки и подробно описана в п. 9.1.1.1 «Панель инструментов» на стр. 1-32.

1-105

Глава 16. Вкладка «Litho»

16. Вкладка «Litho»

Вкладка Litho (Рис. 16-1) предназначена для управления модификацией поверхности в наномасштабе. Вкладка Litho открывается кнопкой панели основных операций.

Панель управления литографией

Панель шаблона литографии

Рис. 16-1. Вкладка Litho

Литография может быть выполнена двумя способами:

−растровым (п. 16.1 на стр. 1-108);

−векторным (п. 16.2 на стр. 1-110).

Набор элементов панели управления литографией и панели инструментов панели шаблона литографии зависит от метода литографии.

1-107

Глава 16. Вкладка «Litho»

Устанавливает размер области проведения литографии. Для задания размера шаблона литографии можно выбрать один из следующих параметров:

Point Number – число точек воздействия; Scan Size – линейные размеры шаблона;

Step Size – расстояние между двумя соседними точками шаблона.

Кнопка появляется, если для задания области проведения литографии выбран параметр Point Number. При нажатой кнопке количество точек шаблона по одной оси автоматически округляется до ближайшей целой степени двойки.

Изменение пропорций шаблона литографии:

Square – при изменении размеров область шаблона литографии будет оставаться квадратной;

Proportional – при изменении размера области шаблона литографии по одной из осей, пропорционально будет меняться размер по другой оси;

Arbitrary – область шаблона литографии задается прямоугольной с произвольным соотношением размеров по осям Ox и Oy;

Fixed Size – размер области литографии будет оставаться постоянным при изменениях параметров Point Number или

Step Size.

Template File Поле выбора файла – шаблона для литографии. После щелчка

1-109

Глава 16. Вкладка «Litho»

Табл. 16-2. Элементы панели управления векторной литографией:

Запуск процесса литографии.

Litho Time – общее время проведения литографии;

Time/Point – время воздействия в каждой точке шаблона (рассчитывается в предположении что зонд движется в области шаблона построчно, как при сканировании).

Frequency – частота перемещения зонда относительно поверхности образца (рассчитывается в предположении что зонд движется в области шаблона построчно, как при сканировании).

1-111