Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Литература / help / parmenov.pdf
Скачиваний:
767
Добавлен:
17.04.2013
Размер:
1.35 Mб
Скачать

внешних сил, обусловленных строением конкретногокристалла. Врезультатеванизотропныхкристаллах величинаизнакэффективноймассызависятотнаправлениядвижения электрона.

Всостояниитермодинамического равновесия электронызанимают самыенизкиеэнергетические состояниявблизидназоныпроводимости, поэтомуиспользованиепостояннойэффективноймассывполнеоправданно. Вовнешнем электрическом полеэлектроны увеличиваютсвоюэнергию имогутуйтисодназоны. Оценимвеличину энергииδЕ, приобретаемой электрономотполянадлинесвободного пробега. Длятипичнойдлины

свободного пробегаl = 100 Å и E =103 В/см величина δЕ= eEl составляет

~10–3 эВ. Следовательно, электронпрактическиостаетсянаднезоны. Всеполученныевыводысправедливыидля поведенияэлектронов вблизипотолкавалентнойзоны. Однаковэтомслучаеболее удобным является описание коллективного поведения электроновнеполностьюзаполненнойвалентнойзоныспомощьювведения квазичастиц, называемых

дырками.

2.9. Понятие дырки

Рассмотримполностьюзаполненнуювалентнуюзонуполупроводника, содержащую M электронов. Какговорилосьранее, электроныполностьюзаполненнойзонынемогутучаствоватьвэлектропроводности, ток,

создаваемыйими, равеннулю:

M

I = I j = 0,

j =1

где I j - ток, создаваемый j-мэлектроном.

Пустьподдействием термическойионизацииодинэлектронперешел извалентнойзонывзонупроводимости(рис.2.13,а). Ток, создаваемый

оставшимисяM – 1 электронами, равен

 

 

M 1

 

 

 

 

M

 

 

 

 

I

= I

j + I

M I

M = I

j I

M = − IM .

 

 

j =1

 

 

 

 

j =1

Такимобразом, ток, создаваемыйэлектронамиполностьюзаполненныйзоны, изкоторойудаленодинэлектрон, равенповеличинеипротивоположенпонаправлениютоку, создаваемомуоднимудаленным электро-

43

Ec

 

 

E

 

 

 

c

Ev

 

 

Ev

 

 

a)б)

Рис.2.13. Ток, создаваемый электронами полностью заполненной валентной зоны, из которой удален один электрон

ном. Ноточнотакойжетоксоздаетчастицасположительнымзарядом и положительнойэффективноймассой, помещенная нанезанятоеместо удаленного электрона(рис.2.13,б). Такая частица, точнееквазичастица, называется дыркой. Если удаленныйэлектронобладалзарядом е, эффективной

массой mn* , квазиимпульсом hк , скоростью v испином σ, тодыркенеобходимо приписатьследующиесвойства:

ep = – e, m*p = − mn* , hкp = −hк , vp = −v , σp = −σ .

Всостояниитермодинамического равновесия электроныстремятся занятьсамыенизкиеэнергетические состояния. Еслинезанятоесостояние находитсявглубиневалентнойзоны, тоэлектронысболеевысоких уровнейстремятсязанятьэтосостояние. Врезультатенезаполненноесостояние - дыркаподнимается кпотолкувалентнойзоныподобнопузырькувоздухавводе. Этоозначает, чтонаправленияотсчетаэнергиидырокиэлектро-

новпротивоположныдругдругу:

E p = − E .

Наименьшей энергией обладают дырки вблизи потолка валентной зоны. Для них справедливо введенное ранее представление об эффективной массе, а их движение можно описать уравнениями,

подобными уравнениям (2.13) - (2.15) для электрона.

44

Таким образом, с точки зрения зонной теории дырочная про-

водимость полупроводника обусловлена электронами почти заполненной валентной зоны, а концентрация дырок р определяется числом свободных состояний в этой зоне.

В то же время с точки зрения статистики дырку можно определить как незанятое электроном состояние на энергетическом уровне Е, поскольку дырка помещается на место удаленного электрона. Поэтому вероятность заполнения энергетического уровня Е дыркой f p (E) будет равна вероятности отсутствия на этом уровне

электрона:

f p (E)=1f (E) =

 

1

 

,

 

EF E

 

 

e

kT

+1

где f (E) - функция распределения Ферми - Дирака.

Подобно электронам зоны проводимости, образующим электронный газ, дырки валентной зоны образуют дырочный газ, который может быть вырожденным или невырожденным. При этом полный ток в полупроводнике складывается из токов, создаваемых электронами зоны проводимости и дырками валентной зоны.

2.10. Зонная структура германия, кремния и арсенида галлия

Расчетструктурэнергетических зонполупроводниковявляется сложнойзадачейипроизводится различнымиприближеннымиметодамилишь длянекоторых точексимметриив первойзонеБриллюэна. Ктакимточкам относятсяцентрзоныБриллюэна, центрыграней, серединыребер ит.д. Значенияэнергий дляостальныхточекнаходятся путеминтерполяции. Полученныеизрасчетаданные уточняютсяспомощьюэксперимента.

Германийикремний имеютструктуруалмаза, арсенид галлияструктуруцинковойобманки. Прямаярешеткаэтих полупроводниковгранецентрированная кубическаярешеткаБравесбазисом издвухатомов, обратнаярешетка, длякоторойстроится1-язонаБриллюэна, - объемно-

центрированная кубическая(рис.2.14).

ГерманийикремнийотносятсякIV группеэлементовПериодической таблицыД.И.Менделеева. Ониобладаютсходнымиэлектроннымиоболоч-

45

кz

0

кy

кx

Рис.2.14. 1-я зона Бриллюэна для гранецентрированной решетки

камииимеютпочетыревалентныхэлектрона: Si :1s2 2s2 2 p6 3s2 3p2 ,

Ge:1s22s22p63s23p63d104s24p2 .

Сучетомтого, чтоэлементарнаяячейкаGe иSi содержитдваатома, накаждую изнихприходитсявосемьвалентных электронов. Приобразованиикристаллаврезультате расщепления энергетических уровнейобразуютсязона проводимостиивалентнаязона, каждая изкоторыхсостоитиз четырехчастично перекрывающихся подзон. Каждая изподзонсодержит 2N состояний, где N - число элементарных ячееквкристалле. ПриT = 0 8N электроновполностьюзаполняютвалентнуюзону, оставляя 8N состоя-

нийзоныпроводимостисвободными.

В соответствии со сказанным выше закон дисперсии как для зоны проводимости, так и для валентной зоны содержит четыре ветви. Графически изобразить их на плоскости можно только для определенных направлений. При этом наибольший интерес представляют те из них, на которых функции E(к)достигают абсолютного минимума в зоне

проводимости (дно зоны Ес) и абсолютного максимума в валентной зоне (потолок зоны Еv). При этом экстремумы в зоне проводимости и валентной зоне могут находиться в разных точках зоны Бриллюэна. Расстояние между Ec и Ev определяет ширину запрещенной зоны полупроводника Eg.

Нарис.2.15 представленызонныеструктурыGe, Si иGaAs для на-

46

 

правлений[100] и[111].

 

 

 

 

[100]

 

 

 

0

GaAs

0,31E=

g

 

E

[111]

g

[100]

квектор

E

 

0

Волновой

Si

[111]

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

[100]

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

 

 

 

 

 

g

 

 

 

 

 

 

Ge

 

 

 

 

E

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

[111]

6

5

4

3

2

1

0

1

2

3

4

 

 

 

 

 

яигренЭ,Вэ

 

 

 

 

47

ВGe абсолютныйминимумэнергиирасположеннанаправлении[111]

иприходитсянепосредственно награницу1-йзоныБриллюэна. Семейству направлений<111>, такимобразом, соответствуетвосемьэквивалентных

минимумовэнергии. Электронызоныпроводимостиравномернораспределяютсямеждувсемиэтимиминимумамиэнергии.

Изоэнергетические поверхности, построенныевблизиточекминимумаэнергии, представляют собойэллипсоиды вращения(рис.2.16,а). Посколькуминимумырасполагаются точнона границезоныБриллюэна, внутризонысодержатся только половиныэллипсоидов. Поэтомучисло полныхэллипсоидовMс, относящихся к1-йзонеБриллюэна, будетравно

четырем.

а)

б)

Рис.2.16. Изоэнергетические поверхности вблизи дна зоны прово-

Длиныполуосейэллипсоидовзависятоткомпоненттензораэффективноймассыидляэллипсоидавращенияопределяются продольной ml* и

поперечной mt* эффективнымимассами. ДляGe ml* = 1,64m, mt* = 0,082m.

ВSi абсолютныйминимумэнергиирасположеннанаправлении[100]. Семействунаправлений<100> соответствуют, такимобразом, шестьэквивалентных минимумовэнергии. Всеонирасположенывнутри1-йзоны Бриллюэна, поэтомучислополныхэллипсоидовэнергииMc, содержащихся в1-йзонеБриллюэна, равношести(см. рис.2.16,б). Эллипсоидытакжеха-

рактеризуются продольнойипоперечнойэффективнымимассами:

48

ml* = 0,98m, mt* = 0,19 m.

 

 

k

 

 

 

Абсолютныймаксимум ввалент-

 

 

y

 

Тяжелые

 

 

 

 

нойзонекакGe, такиSi расположенв

 

 

 

 

дырки

 

центре1-йзоныБриллюэнапри к = 0.

 

 

 

 

 

 

Этаточкаявляется точкойвырожде-

 

 

0

 

kx

 

ния, внейсмыкаются двеветвизакона

 

 

 

Легкие

 

 

 

 

дисперсии. Изоэнергетические по-

 

 

 

 

 

 

 

 

дырки

верхности, соответствующиеэтим

 

 

 

 

 

 

двумветвямзаконадисперсии, ужене

 

 

 

 

 

 

являются эллипсоидами, ихформу

Рис.2.17. Сечение

изоэнерге-

можноохарактеризоватькакдефор-

тических

поверхностей

вблизи

мированныесферы. Степеньдеформа-

потолка

валентной

зоны

Si

цииэтихсферневелика, чтопозволяет

 

 

 

 

 

 

приближеннозаменитьгофрированныеизоэнергетические поверхности

 

некоторыми усредненнымисферическими(рис.2.17), азаконыдисперсии

дляэтихдвухветвейзаписатьввиде

 

 

 

E (к)= E(0)h2к2

,

 

 

 

 

1

 

2m*рл

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

E2 (к)= E(0)h2к2

,

 

 

 

 

 

 

2m2рт

 

 

 

 

 

где m*рл, m*p т - эффективные массысоответственно легких и тяжелых

 

дырок. В Ge m*рл = 0,044m, m*p т = 0,28m,

в Si m*рл = 0,16m,

 

 

m*p т = 0,49m.

 

 

 

 

 

Варсенидегаллияизоэнергетические поверхностикаквблизидназо-

ны проводимости, так ивблизи потолкавалентнойзоныимеютсфериче-

 

скуюформуиопределяются скалярнымиэффективнымимассамиэлектро-

 

новидырок:

 

 

 

 

 

mn* = 0,067m,

m*рл = 0,082m,

m*p т = 0,45m.

 

 

 

Шириназапрещеннойзоныдлябольшинства полупроводников,

 

включая рассмотренные, уменьшается сростомтемпературы. При

 

T = 300 КвеличинаEg длягерманиясоставляет0,66 эВ, длякремния-

 

49

 

 

 

 

 

 

 

1,12 эВ, дляарсенидагаллия- 1,42 эВ.

50

Соседние файлы в папке help