
- •Предисловие
- •1. Свободный электронный газ
- •1.1. Классический электронный газ
- •1.2. Квантовый электронный газ
- •1.3. Распределение Ферми - Дирака
- •1.4. Вырожденный и невырожденный электронный газ
- •1.5. Плотность квантовых состояний
- •1.6. Свойства квантового электронного газа
- •2. Элементы зонной теории твердых тел
- •2.1. Структура кристаллов и обратная решетка
- •2.3. Зоны Бриллюэна
- •2.4. Образование энергетических зон
- •2.5. Метод сильносвязанных электронов
- •2.7. Эффективная масса
- •2.8. Динамика электрона в кристалле
- •2.9. Понятие дырки
- •2.11. Примесная проводимость полупроводников
- •3.1. Плотность квантовых состояний
- •3.2. Равновесные концентрации электронов и дырок
- •3.3. Уравнение электронейтральности
- •3.4. Собственный полупроводник
- •3.5. Примесный невырожденный полупроводник
- •3.7. Сильнолегированный полупроводник
- •4.1. Понятие столкновения
- •4.2. Неравновесная функция распределения
- •4.3. Кинетическое уравнение Больцмана
- •4.4. Время релаксации
- •4.5. Дрейф и диффузия носителей заряда
- •4.6. Соотношения Эйнштейна
- •4.7. Механизмы рассеяния
- •4.8. Рассеяние на ионах примеси
- •4.9. Рассеяние на тепловых колебаниях атомов
- •4.10. Комбинированное рассеяние
- •4.11. Зависимость подвижности от электрического
- •5. Рекомбинация электронов и дырок
- •5.1. Неравновесные электроны и дырки
- •5.2. Уравнения непрерывности
- •5.3. Время жизни
- •5.4. Механизмы рекомбинации
- •5.5. Прямая излучательная рекомбинация
- •5.6. Прямая рекомбинация Оже
- •5.7. Рекомбинация через ловушки
- •6.2. Квазинейтральность
- •6.3. Максвелловское время релаксации
- •6.4. Биполярное уравнение
- •6.5. Решение биполярного уравнения
- •Оглавление

внешних сил, обусловленных строением конкретногокристалла. Врезультатеванизотропныхкристаллах величинаизнакэффективноймассызависятотнаправлениядвижения электрона.
Всостояниитермодинамического равновесия электронызанимают самыенизкиеэнергетические состояниявблизидназоныпроводимости, поэтомуиспользованиепостояннойэффективноймассывполнеоправданно. Вовнешнем электрическом полеэлектроны увеличиваютсвоюэнергию имогутуйтисодназоны. Оценимвеличину энергииδЕ, приобретаемой электрономотполянадлинесвободного пробега. Длятипичнойдлины
свободного пробегаl = 100 Å и E =103 В/см величина δЕ= eEl составляет
~10–3 эВ. Следовательно, электронпрактическиостаетсянаднезоны. Всеполученныевыводысправедливыидля поведенияэлектронов вблизипотолкавалентнойзоны. Однаковэтомслучаеболее удобным является описание коллективного поведения электроновнеполностьюзаполненнойвалентнойзоныспомощьювведения квазичастиц, называемых
дырками.
2.9. Понятие дырки
Рассмотримполностьюзаполненнуювалентнуюзонуполупроводника, содержащую M электронов. Какговорилосьранее, электроныполностьюзаполненнойзонынемогутучаствоватьвэлектропроводности, ток,
создаваемыйими, равеннулю:
M
I = ∑I j = 0,
j =1
где I j - ток, создаваемый j-мэлектроном.
Пустьподдействием термическойионизацииодинэлектронперешел извалентнойзонывзонупроводимости(рис.2.13,а). Ток, создаваемый
оставшимисяM – 1 электронами, равен
|
|
M −1 |
|
|
|
|
M |
|
|
|
|
|
I |
= ∑I |
j + I |
M − I |
M = ∑I |
j − I |
M = − IM . |
||||||
|
|
j =1 |
|
|
|
|
j =1 |
Такимобразом, ток, создаваемыйэлектронамиполностьюзаполненныйзоны, изкоторойудаленодинэлектрон, равенповеличинеипротивоположенпонаправлениютоку, создаваемомуоднимудаленным электро-
43

Ec |
|
|
E |
|
|
|
c |
Ev |
|
|
Ev |
|
|
a)б)
Рис.2.13. Ток, создаваемый электронами полностью заполненной валентной зоны, из которой удален один электрон
ном. Ноточнотакойжетоксоздаетчастицасположительнымзарядом и положительнойэффективноймассой, помещенная нанезанятоеместо удаленного электрона(рис.2.13,б). Такая частица, точнееквазичастица, называется дыркой. Если удаленныйэлектронобладалзарядом е, эффективной
массой mn* , квазиимпульсом hк , скоростью v испином σ, тодыркенеобходимо приписатьследующиесвойства:
ep = – e, m*p = − mn* , hкp = −hк , vp = −v , σp = −σ .
Всостояниитермодинамического равновесия электроныстремятся занятьсамыенизкиеэнергетические состояния. Еслинезанятоесостояние находитсявглубиневалентнойзоны, тоэлектронысболеевысоких уровнейстремятсязанятьэтосостояние. Врезультатенезаполненноесостояние - дыркаподнимается кпотолкувалентнойзоныподобнопузырькувоздухавводе. Этоозначает, чтонаправленияотсчетаэнергиидырокиэлектро-
новпротивоположныдругдругу:
E p = − E .
Наименьшей энергией обладают дырки вблизи потолка валентной зоны. Для них справедливо введенное ранее представление об эффективной массе, а их движение можно описать уравнениями,
подобными уравнениям (2.13) - (2.15) для электрона.
44
Таким образом, с точки зрения зонной теории дырочная про-
водимость полупроводника обусловлена электронами почти заполненной валентной зоны, а концентрация дырок р определяется числом свободных состояний в этой зоне.
В то же время с точки зрения статистики дырку можно определить как незанятое электроном состояние на энергетическом уровне Е, поскольку дырка помещается на место удаленного электрона. Поэтому вероятность заполнения энергетического уровня Е дыркой f p (E) будет равна вероятности отсутствия на этом уровне
электрона:
f p (E)=1− f (E) = |
|
1 |
|
, |
|
EF − E |
|
||
|
e |
kT |
+1 |
где f (E) - функция распределения Ферми - Дирака.
Подобно электронам зоны проводимости, образующим электронный газ, дырки валентной зоны образуют дырочный газ, который может быть вырожденным или невырожденным. При этом полный ток в полупроводнике складывается из токов, создаваемых электронами зоны проводимости и дырками валентной зоны.
2.10. Зонная структура германия, кремния и арсенида галлия
Расчетструктурэнергетических зонполупроводниковявляется сложнойзадачейипроизводится различнымиприближеннымиметодамилишь длянекоторых точексимметриив первойзонеБриллюэна. Ктакимточкам относятсяцентрзоныБриллюэна, центрыграней, серединыребер ит.д. Значенияэнергий дляостальныхточекнаходятся путеминтерполяции. Полученныеизрасчетаданные уточняютсяспомощьюэксперимента.
Германийикремний имеютструктуруалмаза, арсенид галлияструктуруцинковойобманки. Прямаярешеткаэтих полупроводниковгранецентрированная кубическаярешеткаБравесбазисом издвухатомов, обратнаярешетка, длякоторойстроится1-язонаБриллюэна, - объемно-
центрированная кубическая(рис.2.14).
ГерманийикремнийотносятсякIV группеэлементовПериодической таблицыД.И.Менделеева. Ониобладаютсходнымиэлектроннымиоболоч-
45

кz
0
кy
кx
Рис.2.14. 1-я зона Бриллюэна для гранецентрированной решетки
камииимеютпочетыревалентныхэлектрона: Si :1s2 2s2 2 p6 3s2 3p2 ,
Ge:1s22s22p63s23p63d104s24p2 .
Сучетомтого, чтоэлементарнаяячейкаGe иSi содержитдваатома, накаждую изнихприходитсявосемьвалентных электронов. Приобразованиикристаллаврезультате расщепления энергетических уровнейобразуютсязона проводимостиивалентнаязона, каждая изкоторыхсостоитиз четырехчастично перекрывающихся подзон. Каждая изподзонсодержит 2N состояний, где N - число элементарных ячееквкристалле. ПриT = 0 8N электроновполностьюзаполняютвалентнуюзону, оставляя 8N состоя-
нийзоныпроводимостисвободными.
В соответствии со сказанным выше закон дисперсии как для зоны проводимости, так и для валентной зоны содержит четыре ветви. Графически изобразить их на плоскости можно только для определенных направлений. При этом наибольший интерес представляют те из них, на которых функции E(к)достигают абсолютного минимума в зоне
проводимости (дно зоны Ес) и абсолютного максимума в валентной зоне (потолок зоны Еv). При этом экстремумы в зоне проводимости и валентной зоне могут находиться в разных точках зоны Бриллюэна. Расстояние между Ec и Ev определяет ширину запрещенной зоны полупроводника Eg.
Нарис.2.15 представленызонныеструктурыGe, Si иGaAs для на-
46

|
правлений[100] и[111]. |
|
|
|
|
|
[100] |
|
|
|
0 |
GaAs |
∆0,31E= |
g |
|
E |
[111] |
g |
[100] |
квектор |
E |
||
|
0 |
Волновой |
Si |
[111] |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
[100] |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
g |
|
|
|
|
|
|
Ge |
|
|
|
|
E |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
[111] |
|
6 |
5 |
4 |
3 |
2 |
1 |
0 |
−1 |
−2 |
−3 |
−4 |
|
|
|
|
|
|
яигренЭ,Вэ |
|
|
|
|
47

ВGe абсолютныйминимумэнергиирасположеннанаправлении[111]
иприходитсянепосредственно награницу1-йзоныБриллюэна. Семейству направлений<111>, такимобразом, соответствуетвосемьэквивалентных
минимумовэнергии. Электронызоныпроводимостиравномернораспределяютсямеждувсемиэтимиминимумамиэнергии.
Изоэнергетические поверхности, построенныевблизиточекминимумаэнергии, представляют собойэллипсоиды вращения(рис.2.16,а). Посколькуминимумырасполагаются точнона границезоныБриллюэна, внутризонысодержатся только половиныэллипсоидов. Поэтомучисло полныхэллипсоидовMс, относящихся к1-йзонеБриллюэна, будетравно
четырем.
а) |
б) |
Рис.2.16. Изоэнергетические поверхности вблизи дна зоны прово-
Длиныполуосейэллипсоидовзависятоткомпоненттензораэффективноймассыидляэллипсоидавращенияопределяются продольной ml* и
поперечной mt* эффективнымимассами. ДляGe ml* = 1,64m, mt* = 0,082m.
ВSi абсолютныйминимумэнергиирасположеннанаправлении[100]. Семействунаправлений<100> соответствуют, такимобразом, шестьэквивалентных минимумовэнергии. Всеонирасположенывнутри1-йзоны Бриллюэна, поэтомучислополныхэллипсоидовэнергииMc, содержащихся в1-йзонеБриллюэна, равношести(см. рис.2.16,б). Эллипсоидытакжеха-
рактеризуются продольнойипоперечнойэффективнымимассами:
48

ml* = 0,98m, mt* = 0,19 m. |
|
|
k |
|
|
|
||
Абсолютныймаксимум ввалент- |
|
|
y |
|
Тяжелые |
|||
|
|
|
|
|||||
нойзонекакGe, такиSi расположенв |
|
|
|
|
дырки |
|
||
центре1-йзоныБриллюэнапри к = 0. |
|
|
|
|
|
|
||
Этаточкаявляется точкойвырожде- |
|
|
0 |
|
kx |
|
||
ния, внейсмыкаются двеветвизакона |
|
|
|
Легкие |
||||
|
|
|
|
|||||
дисперсии. Изоэнергетические по- |
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
дырки |
||||
верхности, соответствующиеэтим |
|
|
|
|
|
|
||
двумветвямзаконадисперсии, ужене |
|
|
|
|
|
|
||
являются эллипсоидами, ихформу |
Рис.2.17. Сечение |
изоэнерге- |
||||||
можноохарактеризоватькакдефор- |
||||||||
тических |
поверхностей |
вблизи |
||||||
мированныесферы. Степеньдеформа- |
потолка |
валентной |
зоны |
Si |
||||
цииэтихсферневелика, чтопозволяет |
|
|
|
|
|
|
||
приближеннозаменитьгофрированныеизоэнергетические поверхности |
|
|||||||
некоторыми усредненнымисферическими(рис.2.17), азаконыдисперсии |
||||||||
дляэтихдвухветвейзаписатьввиде |
|
|
|
|||||
E (к)= E(0)− h2к2 |
, |
|
|
|
|
|||
1 |
|
2m*рл |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
E2 (к)= E(0)− h2к2 |
, |
|
|
|
|
|||
|
|
2m2рт |
|
|
|
|
|
|
где m*рл, m*p т - эффективные массысоответственно легких и тяжелых |
|
|||||||
дырок. В Ge m*рл = 0,044m, m*p т = 0,28m, |
в Si m*рл = 0,16m, |
|
||||||
|
m*p т = 0,49m. |
|
|
|
|
|
||
Варсенидегаллияизоэнергетические поверхностикаквблизидназо- |
||||||||
ны проводимости, так ивблизи потолкавалентнойзоныимеютсфериче- |
|
|||||||
скуюформуиопределяются скалярнымиэффективнымимассамиэлектро- |
||||||||
|
новидырок: |
|
|
|
|
|
||
mn* = 0,067m, |
m*рл = 0,082m, |
m*p т = 0,45m. |
|
|
|
|||
Шириназапрещеннойзоныдлябольшинства полупроводников, |
|
|||||||
включая рассмотренные, уменьшается сростомтемпературы. При |
|
|||||||
T = 300 КвеличинаEg длягерманиясоставляет0,66 эВ, длякремния- |
|
|||||||
49 |
|
|
|
|
|
|
|
1,12 эВ, дляарсенидагаллия- 1,42 эВ.
50