
- •Предисловие
- •1. Свободный электронный газ
- •1.1. Классический электронный газ
- •1.2. Квантовый электронный газ
- •1.3. Распределение Ферми - Дирака
- •1.4. Вырожденный и невырожденный электронный газ
- •1.5. Плотность квантовых состояний
- •1.6. Свойства квантового электронного газа
- •2. Элементы зонной теории твердых тел
- •2.1. Структура кристаллов и обратная решетка
- •2.3. Зоны Бриллюэна
- •2.4. Образование энергетических зон
- •2.5. Метод сильносвязанных электронов
- •2.7. Эффективная масса
- •2.8. Динамика электрона в кристалле
- •2.9. Понятие дырки
- •2.11. Примесная проводимость полупроводников
- •3.1. Плотность квантовых состояний
- •3.2. Равновесные концентрации электронов и дырок
- •3.3. Уравнение электронейтральности
- •3.4. Собственный полупроводник
- •3.5. Примесный невырожденный полупроводник
- •3.7. Сильнолегированный полупроводник
- •4.1. Понятие столкновения
- •4.2. Неравновесная функция распределения
- •4.3. Кинетическое уравнение Больцмана
- •4.4. Время релаксации
- •4.5. Дрейф и диффузия носителей заряда
- •4.6. Соотношения Эйнштейна
- •4.7. Механизмы рассеяния
- •4.8. Рассеяние на ионах примеси
- •4.9. Рассеяние на тепловых колебаниях атомов
- •4.10. Комбинированное рассеяние
- •4.11. Зависимость подвижности от электрического
- •5. Рекомбинация электронов и дырок
- •5.1. Неравновесные электроны и дырки
- •5.2. Уравнения непрерывности
- •5.3. Время жизни
- •5.4. Механизмы рекомбинации
- •5.5. Прямая излучательная рекомбинация
- •5.6. Прямая рекомбинация Оже
- •5.7. Рекомбинация через ловушки
- •6.2. Квазинейтральность
- •6.3. Максвелловское время релаксации
- •6.4. Биполярное уравнение
- •6.5. Решение биполярного уравнения
- •Оглавление

6.5. Решение биполярного уравнения
Рассмотрим решение биполярного уравнения для стационарного случая на примере одномерного полупроводника n-типа. В этом случае биполярное уравнение примет вид
Dp |
d 2∆p |
− µpE |
d∆p |
− |
∆p |
= 0 . |
(6.26) |
|
dx2 |
dx |
τp |
||||||
|
|
|
|
|
Полупроводник будем считать полубесконечным: x ≥ 0, а граничные условия зададим в виде
∆p(0) = ∆p0, |
(6.27) |
∆p → 0 приx → ∞. |
(6.28) |
Согласно уравнению (6.26) распределение избыточных носителей зависит от процессов диффузии (первое слагаемое), дрейфа (второе слагаемое) и рекомбинации (третье слагаемое). Во многих случаях оказывается, что преобладает какой-либо один из этих процессов, тогда уравнение можно упростить. Рассмотрим некоторые приближения при решении уравнения (6.26).
Диффузионное приближение
Данное приближение реализуется, если диффузионный ток дырок много больше дрейфового тока:
− eD p |
d∆p |
>> epµ pE, |
(6.29) |
|
dx |
||||
|
|
|
||
|
|
|
126 |

так что
j p = eµp pE − eDp d∆p ≈ − eDp d∆p . dx dx
В этом случае в биполярном уравнении исчезает член, содержащий электрическое поле, и оно приобретает вид
d 2∆p |
− |
∆p |
= 0, |
(6.30) |
|
|
2 |
2 |
|||
dx |
|
|
Lp |
|
|
где Lp = Dpτp - диффузионнаядлинадырок.
Общее решение уравнения (6.30) имеет вид
∆p(x)= Aeα1x + Beα2 x ,
где α1, α2 - корни характеристического уравнения
α2 − 1 = 0;
L2p
α = − |
1 |
; α |
2 |
= |
|
1 |
. |
|
||
|
|
|
|
|||||||
1 |
Lp |
|
|
Lp |
|
|||||
|
|
|
|
|
||||||
Использование граничных условий (6.27) и (6.28) дает решение |
||||||||||
уравнения (6.30) в виде |
|
|
|
|
|
x |
|
|
||
|
|
|
|
− |
|
|
||||
∆p(x)= ∆p(0)e |
Lp . |
(6.31) |
||||||||
|
Из (6.31) следует, что диффузионная длина - это расстояние, на котором избыточная концентрация убывает в e раз (рис.6.4).
Зная распределение дырок, можно найти плотность диффузионного тока:
|
d∆p |
|
eDp |
|
Dp |
|
|
||
jp (x)= − eDp |
|
= |
|
|
∆p = (e∆p) |
|
|
= ρvD |
, |
dx |
L |
p |
L |
p |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
127

где через ρ обозначена плотность заряда e∆p, а через vD - скорость диффузии:
vD = |
Dp |
|
τp |
= |
Lp |
. |
|
Lp |
τp |
τp |
|||||
|
|
|
|
Таким образом, Lp = vD τp, т.е. дифузионная длина есть средний путь, который проходят дырки вследствие диффузии за время жизни.
Определим условие, при котором справедливо диффузионное приближение. Подставляя в неравенство (6.29) распределение дырок (6.31), получаем
E << |
Dp |
|
∆p |
= |
kT |
|
|
∆p |
≤ |
kT |
, |
|||
µ |
p |
L |
p |
p |
eL |
p |
|
(p |
+ ∆p) |
eL |
||||
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
p |
|
или eLp E << kT.
Таким образом, диффузионное приближение справедливо, если энергия, получаемая носителями заряда от электрического поля на диффузионной длине, значительно меньше их средней тепловой энергии.
Определим критическое электрическое поле условием
E |
= |
|
kT |
, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
кр |
|
eLp |
|
|
|
||
тогда условием применимости диффузионного приближения будет |
|
|
|||||
E <<Eкр. |
|
|
|
∆p |
|
|
|
Дрейфовое приближение |
|
|
|
∆p(0) |
|
|
|
Данное приближение реализу- |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|||
ется, если электрическое поле вели- |
|
|
|
|
|
||
ко: |
|
|
|
|
|
|
|
E >>Eкр |
|
|
|
|
|
|
|
иможнопренебречьпроцессомдиф- |
|
0 |
Lp |
x |
|||
фузии. |
|
|
|
|
|
|
|
Биполярное уравнение приобре- |
|
|
Рис.6.4. Распределение |
из |
|||
тает вид |
|
|
дырок |
в полупроводнике |
n |
||
|
|
|
|
|
128 |
|

d∆p |
+ |
∆p |
= 0 , |
(6.32) |
|
dx |
L |
||||
|
|
|
|||
|
|
E |
|
|
где LE = µpEτp = vd τp - дрейфовая длина дырок, равная среднему
расстоянию, которое проходят дырки вследствие дрейфа за время жизни.
Решение уравнения (6.32) имеет вид
− x
∆p(x)= ∆p(0)e LE .
В дрейфовом приближении комплекс из электронов и дырок на рис.6.3,в будет перемещаться в полупроводнике n-типа со скоростью µpE, что позволяет, измеряя эту скорость, определить величину дрей-
фовой подвижности дырок.
Общий случай
Общее решение уравнения (6.26) имеет вид
∆p(x)= Aeα1x + Beα2 x ,
где α1, α2 - корни характеристического уравнения
L2pα2 − LEα −1 = 0 ,
или
α2 |
|
E |
|
1 |
|
1 |
|
||
− |
|
α − |
= 0. |
||||||
|
L |
|
2 |
||||||
|
E |
|
p |
|
|
||||
|
|
кр |
|
|
Lp |
|
При заданных граничных условиях физический смысл имеет только отрицательный корень уравнения:
|
1 |
|
E |
|
|
E |
|
2 |
|
|
|
α = |
|
− |
|
+ 4 |
|
. |
|||||
2L |
E |
|
|
|
|
|
|||||
|
|
E |
|
|
|
|
|||||
|
|
p |
кр |
|
|
кр |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Величина α зависит от направления электрического поля E . Если поле направлено по оси x, то E > 0, и диффузия и дрейф происходят в
одном направлении. Электрическое поле затягивает избыточные носители вглубь полупроводника. Их концентрация оказывается выше, чем в отсутствие поля (рис.6.5,а):
129

∆p(x)= ∆p(0)e− Lx+ ,
где
+ |
|
1 |
|
|
|
2Lp |
|
|
||
L |
= |
|
|
= |
|
|
|
|
|
> Lp . |
|
α |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
E |
|
|
E |
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
− |
|
|
|
+ 4 |
|
|
|
|
|
E |
|
||||
|
|
|
|
|
|
E |
|
|
||
|
|
|
|
|
кр |
|
|
кр |
|
Величина L+ - диффузионная длина по полю. Рассмотренное явление называется инжекцией и наблюдается, например, при прямом смещении на p-n переходе.
Если электрическое поле направлено против оси x, т.е. E < 0 , диф-
фузия и дрейф происходят навстречу друг другу. В этом случае электрическое поле тормозит движение дырок, которые распространяются вглубь полупроводника на меньшую глубину (рис.6.5,а):
∆ ( )= ∆ ( ) − x−
p x p 0 e L ,
где
− |
|
1 |
|
|
|
2Lp |
|
|
||
L |
= |
|
|
= |
|
|
|
|
|
< Lp . |
|
α |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
E |
|
|
E |
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
− |
|
|
|
+ 4 |
|
|
|
|
|
E |
|
||||
|
|
|
|
|
|
E |
|
|
||
|
|
|
|
|
кр |
|
|
кр |
|
ВеличинаL– называется диффузионнойдлинойпротив поля.
Впроведенныхрассуждениях предполагалось, чтограничная концентрация∆p(0) > 0. Однако сделанные выводы справедливы идля∆p(0) < 0. Приэтомнаибольшийинтереспредставляет вариант∆p(0) < 0, E < 0. Та-
койслучайреализуется, например, вблизиобратно-смещенногоp-n переходаиназывается экстракцией(рис.6.5,б).
Рассмотренноевышерешениеодномерного биполярного уравнения является лишьчастным случаем решенияфундаментальнойсистемы уравнений(6.1) - (6.5). Дляадекватного описанияфизическихявленийвреальных полупроводниковых структурахснеравномернымраспределением
130

примеситребуется явноезаданиезависимостейподвижностиивремени жизниносителейзарядаотконцентрациипримеси, учетэффектовсильного легирования ит.д.
Крометого, необходимоопределитьграничныеусловия, представляющиесобойматематическоеописаниевзаимодействия полупроводника свнешнейсредой наегограницах (поверхностииэлектрических контак-
тах).
Решениетакихсложных задач проводитсяобычно численнымиметодамиирассматривается вспециальнойлитературе, посвященноймодели-
рованиюфизических процессоввполупроводниковых структурах.
Литература
1.Зи С. Физика полупроводниковых приборов. В 2-х т. - М.: Мир, 1984. - Т. 2. - 445 с.
2.Бонч-Бруевич В.Л., Калашников С.Г. Физика полупроводников. -
М.: Наука, 1977. - 672 с.
3.Шалимова К.В. Физика полупроводников. - М.: Энергоатомиз-
дат, 1985. - 392 с.
4.Смит Р. Полупроводники. - М.: Мир, 1982. - 560 с.
5.Киреев П.С. Физика полупроводников. - М.: Высшая школа, 1975. - 584 с.
6.Стильбанс Л.С. Физика полупроводников. - М.: Советское ра-
дио, 1967. - 452 с.
7.Киттель Ч. Введение в физику твердого тела. М.: - Наука, 1978. -
∆p |
|
∆p |
|
|
|
|
|
|
∆p(0) |
0 |
|
|
|
|
x |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
> 0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
E = 0 |
|
|
|
E |
|
|
|
|
∆p(0) < 0 |
|||||
|
Е < 0 |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
x |
|
|
|
|
|
|
а) |
|
б) |
|||||
|
|
||||||
Рис.6.5. Распределение избыточных |
дырок в полупроводнике |
||||||
|
а - ∆p > 0; б - ∆p < 0 |
|
|
|
|
|
|
131
791с.
8.Ашкрофт Н., Мермин Н. Физика твердого тела. В 2-х т. - М.:
Мир, 1979. - Т. 1. - 399 с.
132