
- •Предисловие
- •1. Свободный электронный газ
- •1.1. Классический электронный газ
- •1.2. Квантовый электронный газ
- •1.3. Распределение Ферми - Дирака
- •1.4. Вырожденный и невырожденный электронный газ
- •1.5. Плотность квантовых состояний
- •1.6. Свойства квантового электронного газа
- •2. Элементы зонной теории твердых тел
- •2.1. Структура кристаллов и обратная решетка
- •2.3. Зоны Бриллюэна
- •2.4. Образование энергетических зон
- •2.5. Метод сильносвязанных электронов
- •2.7. Эффективная масса
- •2.8. Динамика электрона в кристалле
- •2.9. Понятие дырки
- •2.11. Примесная проводимость полупроводников
- •3.1. Плотность квантовых состояний
- •3.2. Равновесные концентрации электронов и дырок
- •3.3. Уравнение электронейтральности
- •3.4. Собственный полупроводник
- •3.5. Примесный невырожденный полупроводник
- •3.7. Сильнолегированный полупроводник
- •4.1. Понятие столкновения
- •4.2. Неравновесная функция распределения
- •4.3. Кинетическое уравнение Больцмана
- •4.4. Время релаксации
- •4.5. Дрейф и диффузия носителей заряда
- •4.6. Соотношения Эйнштейна
- •4.7. Механизмы рассеяния
- •4.8. Рассеяние на ионах примеси
- •4.9. Рассеяние на тепловых колебаниях атомов
- •4.10. Комбинированное рассеяние
- •4.11. Зависимость подвижности от электрического
- •5. Рекомбинация электронов и дырок
- •5.1. Неравновесные электроны и дырки
- •5.2. Уравнения непрерывности
- •5.3. Время жизни
- •5.4. Механизмы рекомбинации
- •5.5. Прямая излучательная рекомбинация
- •5.6. Прямая рекомбинация Оже
- •5.7. Рекомбинация через ловушки
- •6.2. Квазинейтральность
- •6.3. Максвелловское время релаксации
- •6.4. Биполярное уравнение
- •6.5. Решение биполярного уравнения
- •Оглавление
Температурная зависимость подвижности при рассеянии на фононах
Использование представления о фононах очень удобно при изучении рассеяния электронов на тепловых колебаниях решетки. Взаимодействие электрона с упругой волной можно рассматривать как столкновение между электроном и фононом. При этом должны выполняться законы сохранения энергии и импульса:
E (к′)= E (к)± hω;
hк′ = hк ± hq,
где к, к′ - квазиволновые векторы электрона до и после столкнове-
ния.
Говорят, что электрон испускает фонон, теряя энергию при столкновении, и поглощает фонон, приобретая энергию.
Строгий вывод выражения для времени релаксации при рассеянии носителей заряда на фононах связан с громоздкими вычислениями. При этом результат зависит от вида связи атомов в кристалле. Для полупроводников с ковалентными связями (Ge, Si) основным механизмом является рассеяние на акустических фононах. При таком рассеянии время релаксации убывает с ростом энергии по закону τ(Е) ~ E–1/2, поэтому наибольший вклад в рассеяние вносят наиболее быстрые носители заряда. С повышением температуры число фононов возрастает и увеличивается вероятность столкновения, что приводит к следующему выражению для подвижности:
µт = µтоТ−3/ 2 ,
где µто - константа.
В полупроводниковых соединениях типа А3В5, в которых связь между атомами носит частично ионный характер, свободные электроны гораздо сильнее взаимодействуют с оптическими фононами, чем с акустическими. В этом случае
µт = µтоТ−1/ 2 .
4.10.Комбинированное рассеяние
Пусть в полупроводнике действуют одновременно и независимо друг от друга несколько механизмов рассеяния, каждый из которых характеризуется своим временем релаксации τi. Поскольку вероятность
88

рассеяния электрона на дефекте обратно пропорциональна соответствующему времени релаксации, а вероятности независимых событий складываются, при комбинированном рассеянии результирующее время релаксации определится выражением
1τ = ∑ |
1 |
. |
(4.30) |
τ |
i i
Если время релаксации не зависит от энергии, то из выражений (4.17) и (4.30) следует, что и результирующая подвижность может быть получена подобным же образом:
1 |
= ∑ |
1 |
. |
(4.31) |
µ |
µ |
i i
Поскольку для большинства механизмов рассеяния время релаксации зависит от энергии, использование соотношения (4.31) может дать значительную погрешность. Тем не менее на практике обычно используют формулу (4.31) для нахождения подвижности при рассеянии электронов на ионах примеси и фононах:
1 |
= |
1 |
+ |
1 |
= C T 3/ 2 |
+ C T −3/ 2 |
, |
(4.32) |
|
|
|
||||||
µ |
|
µI |
1 |
2 |
|
|
||
|
µT |
|
|
|
где С1, С2 - константы, не зависящие от температуры.
Как следует из выражения (4.32), зависимость µ(Т) проходит через максимум, положение которого зависит от концентрации примеси
/сВ 2
,Подвижность см
106
105
104
103
102 1
|
|
/Вс |
|
|
|
1 |
|
|
1 |
10 |
4 |
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
||
|
|
см |
|
|
|
2 |
|
|
2 |
Подвижность, |
|
|
|
|
|
|
103 |
|
3 |
|
|||
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
||
|
3 |
|
102 |
|
|
|
|
10 |
102 |
103 |
10 |
102 |
103 |
||
Температура, К |
|
|
|
|
Температура, К |
|
|
|
а) |
|
|
|
|
б) |
|
Рис.4.4. Зависимость подвижности электронов ( ) и дырок (- - -) в кремнии (а)
иарсениде галлия (б) для различных концентраций примеси: Si: 1 - Nd = 4 1013 см–3; 2 - Nd - 1,3 1017 см–3; 3 - Na - 2 1017 см–3;
89

(рис.4.4). При низких температурах преобладает рассеяние на ионах примеси, которое сменяется рассеянием на фононах при больших температурах. Таким образом, можно считать, что в рабочем диапазоне температур как кремниевых, так и арсенид-галлиевых приборов подвижность убывает с ростом температуры. Однако, как показывает экс-
перимент, реальная зависимость µ(Т) в этой области отличается от теоретической. В кремнии µn(Т) изменяется по закону ~Т –2,42, а µp(T) ~ Т –2,2,
варсениде галлия µn(T) ~ T –1, µp(T) ~ T –2,1.
4.11.Зависимость подвижности от электрического
поля
Рассмотрим эту зависимость для электронов, хотя все сказанное будет относиться в равной мере и к дыркам.
Линейная зависимость дрейфовой скорости электронов от электрического поля
vd = µn E |
(4.33) |
хорошо выполняется лишь в слабых электрических полях. В кремнии при комнатной температуре она справедлива лишь в полях E < 103 В/см. При больших полях наблюдается отклонение от линейной
зависимости, и при E ~ 104 В/см дрейфовая скорость насыщается:
vd = vds 107 см/с (рис.4.5). Причина |
этого явления заключается |
в |
||||||
следующем. |
|
|
|
|
|
|
|
|
В слабых электрических полях |
|
|
|
|
|
|
||
энергия, приобретаемая электрона- |
|
|
|
|
|
|
||
ми от электрического поля, переда- |
|
107 |
|
|
|
|
||
ется решетке в основном за счет |
|
|
|
|
|
|||
столкновений с ионами и акустиче- |
|
|
|
|
|
|
||
скими фононами. Эти столкнове- |
|
106 |
|
|
|
|
||
ния можно считать почти упруги- |
|
|
|
|
|
|
||
ми, поэтому энергия электронов |
|
5 |
|
|
|
|
||
после столкновений мало изменя- |
|
10 102 |
103 |
104 |
105 |
106 |
||
ется. С ростом поля энергия элек- |
|
|
|
E, В/см |
|
|||
тронов увеличивается и может ока- |
|
|
|
|
|
|
||
заться выше своего термодинами- |
|
Рис.4.5. Зависимость |
дрейфовой |
|||||
чески равновесного значения <Е>, |
|
|||||||
скорости электронов ( ) и дырок (- - - |
||||||||
определяемого |
температурой |
ре- |
) |
в кремнии от |
электрического поля |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
90 |

шетки кристалла
|
m* v2 |
|
3 |
|
|
< E > = |
n T |
= |
|
kT. |
|
2 |
2 |
||||
|
|
|
В этом случае говорят о разогреве электронного газа. Мерой разо-
грева служит так называемая электронная температура Те, которую можно ввести выражением
m* |
v2 |
|
3 |
|
|
n |
|
= |
|
kTe , |
|
2 |
2 |
||||
|
|
где v = vT + vd - скорость электрона.
Отклонение от линейной зависимости (4.33) наступает, когда дрейфовая скорость достигает величины 0,1vT
vd = 0,1 vT = µnEкр.
Для кремния с µn = 1500 см2/В с и vT ≈ 107 см/с это происходит при критическом поле
Eкр = 0,1 vт ~ 103 В/см.
µn
В сильных полях вступает в действие процесс неупругого рассеяния на оптических фононах. Будем считать, что при каждом столкновении, происходящем со средней частотой 1/τ, электрон теряет энергию ħωопт за счет испускания оптического фонона. Тогда из законов сохранения энергии и импульса имеем
|
hω |
|
m* |
v |
|
||
eE v = |
опт |
, |
eE = |
|
n |
|
, |
откуда |
τ |
|
|
τ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
v = vds = |
hωопт . |
|
|
|
|||
|
|
|
mn* |
|
|
|
|
Полагая для кремния |
ωопт ≈ 5 1013 Гц |
и |
mn* = m, получаем |
vds 107 см/с.
При еще больших электрических полях ( E ~ 105 −107 В/см) на-
блюдаются процессы ударной ионизации и туннельного эффекта, приводящие к изменению концентрации носителей заряда. В полупровод-
91