- •Предисловие
- •1. Свободный электронный газ
- •1.1. Классический электронный газ
- •1.2. Квантовый электронный газ
- •1.3. Распределение Ферми - Дирака
- •1.4. Вырожденный и невырожденный электронный газ
- •1.5. Плотность квантовых состояний
- •1.6. Свойства квантового электронного газа
- •2. Элементы зонной теории твердых тел
- •2.1. Структура кристаллов и обратная решетка
- •2.3. Зоны Бриллюэна
- •2.4. Образование энергетических зон
- •2.5. Метод сильносвязанных электронов
- •2.7. Эффективная масса
- •2.8. Динамика электрона в кристалле
- •2.9. Понятие дырки
- •2.11. Примесная проводимость полупроводников
- •3.1. Плотность квантовых состояний
- •3.2. Равновесные концентрации электронов и дырок
- •3.3. Уравнение электронейтральности
- •3.4. Собственный полупроводник
- •3.5. Примесный невырожденный полупроводник
- •3.7. Сильнолегированный полупроводник
- •4.1. Понятие столкновения
- •4.2. Неравновесная функция распределения
- •4.3. Кинетическое уравнение Больцмана
- •4.4. Время релаксации
- •4.5. Дрейф и диффузия носителей заряда
- •4.6. Соотношения Эйнштейна
- •4.7. Механизмы рассеяния
- •4.8. Рассеяние на ионах примеси
- •4.9. Рассеяние на тепловых колебаниях атомов
- •4.10. Комбинированное рассеяние
- •4.11. Зависимость подвижности от электрического
- •5. Рекомбинация электронов и дырок
- •5.1. Неравновесные электроны и дырки
- •5.2. Уравнения непрерывности
- •5.3. Время жизни
- •5.4. Механизмы рекомбинации
- •5.5. Прямая излучательная рекомбинация
- •5.6. Прямая рекомбинация Оже
- •5.7. Рекомбинация через ловушки
- •6.2. Квазинейтральность
- •6.3. Максвелловское время релаксации
- •6.4. Биполярное уравнение
- •6.5. Решение биполярного уравнения
- •Оглавление
3.1. Плотность квантовых состояний
При изучении зонной теории было показано, что электроны вблизи дна зоны проводимости ведут себя как свободные частицы, если им
приписать эффективную массу mn* .
Рассмотрим вначале плотность квантовых состояний для электронов в зоне проводимости в предположении, что эффективная масса
электронов mn* - скаляр. В этом случае закон дисперсии для электронов в зоне проводимости (2.8)
E(к)= h2к2
2mn*
совпадает с законом дисперсии для электронов в модели Зоммерфельда (1.9). Тогда плотность квантовых состояний в зоне проводимости gn(E) можно легко получить из выражения (1.16), если отсчитывать энергию от дна зоны:
gn (E)= |
1 |
|
2m* 3 2 |
(E − Ec )1 2. |
|
|
|
n |
|
||
|
|
||||
|
2π2 |
h2 |
|
||
В общем случае эффективная масса электрона является тензором второго ранга и описывается тремя компонентами: m1*, m2*, m3*, а чис-
ло эквивалентных минимумов в зоне проводимости равно Mc > 1. Расчет для этого случая дает выражение
gn (E)= |
1 |
|
2m |
3 2 |
(E − Ec )1 2 , |
|
|
|
|
c |
|
(3.1) |
|||
2π2 |
h2 |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
* |
2 |
|
|
где |
|
|
m |
* |
m |
* |
m |
3 |
называется эффективной массой |
|||
m = M |
c |
|
|
|
|
|
||||||
|
c |
|
1 |
|
2 |
3 |
|
|
|
|||
плотности состояний для электронов. Введение эффективной массы плотности состояний означает замену Мс эквивалентных эллипсоидов равной энергии одной сферической изоэнергетической поверхностью, которая обеспечивает ту же плотность квантовых состояний.
59
В кремнии в 1-й зоне Бриллюэна имеется шесть минимумов энергии (см. рис.2.16): Mс = 6, а компоненты тензора эффективной массы m1* = m2* = mt* = 0,19m, m3* = ml* = 0,98m. Отсюда mс = 1,08m.
Аналогично рассчитывается плотность квантовых состояний gp(E) для дырок в валентной зоне. Полагая началом отсчета энергии потолок валентной зоны и считая эффективную массу дырок скаляром, получаем
|
1 |
|
2m*p |
3 2 |
1 2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
g p (E)= |
|
|
|
|
(Ev − E) |
. |
2π |
h2 |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
При сложном строении валентной зоны аналогично можно ввести эффективную массу плотности состояний mv для дырок. Например, в кремнии имеются два вида дырок в валентной зоне с эффективными
массами m*рл = 0,16m и m*p т = 0,49m. Для них можно ввести
|
|
*3 2 |
+ m |
*3 2 |
3 2 |
|
m = m |
рл |
p т |
|
= 0,56m. |
||
v |
|
|
|
|
||
При этом плотность квантовых состояний для дырок в валентной
зоне запишется в виде |
|
|
|
3 2 |
|
|
|
g p (E)= |
1 |
|
2m |
(Ev − E)1 2. |
|
||
|
|
v |
|
(3.2) |
|||
2π2 |
h2 |
||||||
|
|
|
|
|
3.2. Равновесные концентрации электронов и дырок
Из определений плотности квантовых состояний gn(E) и функции распределения f(E) следует, что gn(E)dE есть число состояний в интервале энергий dE, из которых
занято электронами.
Общее число занятых состояний в зоне проводимости n0 определится в результате интегрирования по всей зоне. Поскольку функция f(E) резко убывает с ростом энергии, верхним пределом интегрирования можно взять ∞ :
60
∞ |
|
n0 = ∫ f (E)gn (E)dE . |
(3.3) |
Ec
Аналогично может быть получена концентрация дырок в валентной зоне:
Ev |
|
p0 = ∫ f p (E)g p (E)dE . |
(3.4) |
− ∞
Расчет концентраций электронов и дырок проведем для двух наиболее важных случаев.
1. Невырожденный полупроводник. В таком полупроводнике не-
вырождены одновременно как электронный, так и дырочный газы. Энергия всех электронов невырожденного газа должна быть не ме-
нее чем на 3kT больше энергии Ферми. Поскольку минимальная энергия
электронов в зоне проводимости равна Ес, получаем |
|
Ec − EF |
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
≥ 3 . |
(3.5) |
|
|
|
II |
|
|
|
|
|
|
kT |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
Аналогично условием того, |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
что дырочный газ невырожден, |
|
|
||||
|
5kT |
|
|
|
|
|
|
|||||
|
IV |
|
|
E |
будет |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
3kT |
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
EF − Ev |
≥ 3 . |
(3.6) |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
I |
Eg |
|
|
kT |
|
|
|
|
||
|
|
|
В невырожденном |
полу- |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
проводнике условия (3.5) и (3.6) |
|
|
||||
|
3kT |
V |
|
|
E |
должны выполняться одновре- |
|
|
||||
|
5kT |
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
менно, поэтому уровень Ферми |
|
|
|||||
|
|
|
в таком полупроводнике должен |
|
|
III |
|||
|
располагаться |
внутри запре- |
||
|
|
|
щенной зоны не ближе 3kT от ее |
|
Рис.3.2. Положение уровня Ферми в |
краев (рис.3.2). |
в выражения |
||
полупроводнике: область I - невырож- |
Подставляя |
|||
(3.3) и (3.4) плотности кванто- |
||||
денный полупроводник; область II - |
вых состояний, функции рас- |
|||
сильновырожденный полупроводник n- |
||||
типа; область III - сильновырожденный |
пределения Максвелла - Больц- |
|||
полупроводник p-типа; область IV - час- |
мана для электронов и дырок и |
|||
тично вырожденный полупроводник n- |
производя интегрирование, по- |
|||
типа; область V - частично вырожден- |
лучаем |
|
||
61 |
|
|
|
|
− |
|
Ec − EF |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
n0 = Nce |
|
kT |
|
|
, |
(3.7) |
|
|
|
|
|
||
− |
|
EF − Ev |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
p0 = Nve |
|
kT |
|
|
. |
(3.8) |
|
|
|
|
|
||
Величины |
|
|
|
|
2πm kT 3 2 |
|
|
2πm kT 3 2 |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
Nc = |
2 |
|
|
c |
|
|
, |
Nv = 2 |
v |
|
(3.9) |
|
|
|
|
h2 |
|
h2 |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
называются эффективными плотностями квантовых состояний
соответственно в зоне проводимости и в валентной зоне.
Из условий (3.5) и (3.6) следует, что в невырожденном полупроводнике
n0<<Nс, p0<<Nv.
Для кремния при комнатной температуре величина Nc = 2,8 1019 см–
3, Nv = 1,04 1019 см–3.
Найдем произведение концентраций электронов и дырок в невырожденном полупроводнике:
− |
Ec − Ev |
− |
Eg |
|
|
kT |
kT . |
|
|||
n0 p0 = Nc Nve |
= Nc Nve |
(3.10) |
|||
Таким образом, в невырожденном полупроводнике произведение равновесных концентраций электронов и дырок есть величина постоянная, определяемая структурой энергетических зон, шириной запрещенной зоны и температурой. Эту константу легко определить, если рассмотреть случай собственного невырожденного полупроводника. В таком полупроводнике
n0 = p0 = ni .
Величина ni называется собственной концентрацией. Следова-
тельно, |
|
|
= n2 |
|
|
|
|
||
|
n p |
, |
|
(3.11) |
|||||
|
0 0 |
|
|
i |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
− |
|
Eg |
|
|
n = |
N |
|
N |
|
|
2kT . |
(3.12) |
||
c |
v |
e |
|
||||||
i |
|
|
|
|
|
|
|
||
2. Сильновырожденный примесный полупроводник. Полупро-
водник называется вырожденным, если в нем вырожден либо электронный, либо дырочный газ. В сильновырожденном электронном полупроводнике, как и в металле, при T = 0 электроны в зоне проводимости за-
62
