Технология СБИС / sbis / litogr / lito_efb

Эффекты близости при литографииЭффекты близости при литографииЭффекты близости проявляются как искажение получаемого на подложке изображения вследствие упругого и неупругого рассеяния электронов на подложке. Электроны, рассеянные на атомах подложки, проникают в прилежащие к лучу области резиста, производя его дополнительное экспонирование  (см. рис. 1), вызывая тем самым размытие изображения.

Различают внутренние и внешние эффекты близости. Внутренние эффекты обусловлены рассеянием электронов, формирующего изображение непосредственно в данной области, а внешние - рассеянием электронов, формирующих изображение в соседних областях (см. рис. 2).