Добавил:
korayakov
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Технология СБИС / sbis / epitaks / epit_otp
.htmОценка параметров эпитаксиальных структурОценка параметров эпитаксиальных структурТолщина и удельное сопротивление - проводят путем непосредственных измерений.
Толщина - с помощью ИК-спектроскопии.
Удельное сопротивление
измерение поверхностного сопротивления
измерение сопротивления растекания
исследование зависимости емкости p-n перехода от напряжения
Оценка качества поверхности и совершенства структуры.
Исследование времени жизни неосновных носителей.
Соседние файлы в папке epitaks