Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
5
Добавлен:
17.04.2013
Размер:
947 б
Скачать

Оценка параметров эпитаксиальных структурОценка параметров эпитаксиальных структурТолщина и удельное сопротивление - проводят путем непосредственных измерений.

Толщина - с помощью ИК-спектроскопии.

Удельное сопротивление

измерение поверхностного сопротивления

измерение сопротивления растекания

исследование зависимости емкости p-n перехода от напряжения

Оценка качества поверхности и совершенства структуры.

Исследование времени жизни неосновных носителей.

Соседние файлы в папке epitaks