Технология СБИС / sbis / okisl / okisl

Окисление 

Использование SiO2 в производстве СБИС

Механизм роста и кинетика окисления

Модель окисления кремния Дила-Гроува

Сопоставление теоретических и экспериментальных данных

Рост тонких окислов

Оборудование для термического окисления

Особенности роста окислов и влияние различных факторов

Свойства термических пленок SiO2

Плазмохимическое окисление кремния