12.Измерительные преобразователи, основанные на использовании пав.

Поверхностные акустические волны (ПАВ) находят широкое применение при разработке фильтров и линий задержек, применяемых в радиотехнических устройствах. В последнее время ПАВ используются также при разработке измерительных преобразователей.

Известно несколько видов ПАВ, наиболее часто на практике применяют волны Релея. Смещение частиц твердого тела при распространении волны Релея в направлении оси Х иллюстрируется рис.1. Как видно из рис. 1, волны распро­страняются вблизи границы твердого тела и затухают почти полностью на расстоянииZ от поверхности, примерно равном длине волны . Одной из основных причин возрастающего интереса к ПАВ является именно сосредоточенность энергии в тонком слое, так как благодаря этому к технологии изготовления ПАВ-элемента предъявляется лишь одно требование – тщательна обработка рабочей поверхности, по которой распространяется акустическая волна.

Для возбуждения ПАВ на поверхности пьезоэлемента наносятся гребенки встречно включенных электродов (рис. 2), представляющие собой встерчноштыревой преобразователь (ВШП), имеющий шаг . При подключения напряжения к ВШП под ним вследствие обратного пьезоэффекта происходят смещения частиц и возникает ПАВ, распространяющаяся в обе стороны. Если при этом длина волны совпадает с шагом ВШП, то вследствие суперпозиции колебаний, возникающих под каждой парой электродов, суммарная энергия достигает максимума; если длина волны не совпадает с шагом ВШП, энергия ПАВ уменьшается и при определенном соотношении междуиволна за пределами ВШП может полностью погаситься.

Для приема энергии ПАВ используется второй ВШП, также имеющий шаг, равный длине волны. На электродах приемного ВШП вследствие прямого пьезоэффекта возникают заряды и появляется напряжение. Линия задержки состоит из входного н выходного ВШП. В первом приближении оба ВШП можно рассматривать как локальные электроды, расположенные па расстоянии L, равном расстоянию между геометрическими центрами ВШП. Время задержки t равно времени прохождения акустической волны между ВШП, т.е. , где- скорость распространения ПАВ;- константа упругости;- плотность материала.

Изменение времени задержки ПАВ-структуры под воздействием внешних факторов используется в измерительных преобразователях с частотным выходом. При изменении относительное изменение частоты генератора составляет. Изменение времени задержки определяется изменением длиныL и фазовой скорости V и равно .

Изменение времени задержки может происходить при механических деформациях ПАВ-структур под воздействием температуры, при нагружении поверхности тонкими пленками (толщина пленки h' < 0,1), при изменении зазора между поверхностью распространения ПАВ и токопроводящим экраном ( <). Соответственно, на базе ПАВ-структур могут быть созданы преобразователи для измерения механических величин (- до 1%), температуры (- до 1%), микроперемещений, для микровзвешивания и исследования параметров тонких пленок (- до 10%). При бесконтактной системе возбуждения ПАВ-преобразователи могут быть использованы также для измерения перемещения объекта, вызывающего перемещение одного из ВШП и приводящего к изме­нениюL.