Содержание.

Гл. 1: Введение. 2

Задание на курсовой проект: 2

Описание работы устройства 2

Электрическая схема устройства: 4

7

Глава 2: Разработка топлогогического 8

маршрута 8

Маршрут изготовления КМОП пары 8

Гл.3 Анализ критической операции. 12

Технология литографических процессов. 12

Фотолитография 12

3.1. Классификация процессов литографии 12

3.2. Схема фотолитографического процесса 13

3.3. Фоторезисты 13

3.4. Фотошаблоны 16

3.5. Технологические операции фотолитографии 17

3.6. Искажение рисунка при экспонировании 21

НОВЫЕ МЕТОДЫ ЛИТОГРАФИИ 21

4.1. Оптические методы литографии 22

Контактная фотолитография 22

с использованием гибких фотошаблонов 22

Фотолитография с использованием 23

глубокой ультрафиолетовой области спектра. 23

Проекционная фотолитография 24

Голографическая фотолитография 25

4.2. Неоптические методы литографии 26

Электронолитография 28

Рентгенолитография 30

Ионно-лучевая литография 34

Гл.4 Перспективы развития литографических процеессов. 38

Новая жизнь электронной литографии 39

Перспективы развития фотолитографии. 40

Новая технология оптической литографии 40

Список используемой литературы: 42

Гл. 1: Введение. Задание на курсовой проект:

Создать маршрут изготовления КМОП инвертора для суммирующего счетчика с параллельным переносом на JK-триггерах со следующими параметрами:

• технологический базис - AMS 1.2 mkm - 2Metal напряжение питания – U_И.П. =5 В

• нагрузочная емкость – С_н = 0.5 пФ

- пороговое напряжение n-канального транзистора - U_{nop n} = 0.7 В

- пороговое напряжение p-канального транзистора - U_{nop р} = . 0.76 В

- толщина подзатворного окисла - d_OK =30 нм

- удельная крутизна п-канального транзистора - k_on = 80 мкА/В

- удельная крутизна p-канального транзистора – k_op= 25 мкА/В

Описание работы устройства

+Счетчик предназначен для счета поступающих на его вход импульсов, в интервале между которыми он должен хранить информацию об их количестве. Поэтому счетчик состоит из запоминающих ячеек - триггеров.

Между собой ячейки счетчика соединяются таким образом, чтобы каждому числу импульсов соответствовали единичные состояния определенных ячеек. При этом совокупность единиц и нулей на выходах п ячеек счетчика представляет собой п-разряд-ное двоичное число, которое однозначно определяет количество прошедших на входе импульсов. Поэтому ячейки счетчика называют его разрядами. Каждый разряд счетчика может находиться в двух состояниях. Число устойчивых состояний, которое может принимать данный счетчик, называют его емкостью, модулем счета или коэффициентом пересчета.

Если с каждым входным импульсом зарегистрированное («записанное») в счетчике число увеличивается, то такой счетчик является суммирующим, если же оно уменьшается, то вычитающим. Счетчик, работающий как на сложение, так и на вычитание, называют реверсивным.

Счетчик, у которого под воздействием входного импульса состояния переключающихся разрядов изменяются последовательно друг за другом, называют счетчиком с последователь' ным переносом, а когда переключение происходит одновременно (или почти одновременно) -счетчиком с параллельным переносом. Счетчики могут выполняться на счетных триггерах.

Счетчики с параллельным переносом. Ко всем разрядам такого счетчика информация о состоянии предыдущих разрядов поступает параллельно, также одновременно поступают к ним счетные (входные) импульсы. При этом переключающиеся разряды пере­ходят в новые состояния одновременно. Переключение их в нужной последовательности обеспечивается логическими цепями, которые при поступлении входного импульса одни

: их в нужной последовательности гуплении входного импульса одни триггеры удерживают от переключения, а другим разрешают переключиться. Триггеры такого счетчика, кроме счетного, должны иметь информационные входы, на которые поступают разрешения или запреты с логических цепей. Суммирующий счетчик с параллельным переносом. В соответствии с выводом 2 очередной разряд суммирующего счетчика

должен переключаться входным импульсом в 1, когда все предыдущие разряды уже находятся в этом состоянии. Такое условие выполняется, если на информационный вход каждого триггера подать конъюнкцию сигналов с прямых выходов предыдущих триггеров. Действительно, с конъюнктора на информационный вход триггера поступит разрешающая переключение 1, если все предыдущие триггеры находятся в 1, и по сигналу на счетном входе он переключится.

На рис. 8.5 представлена функциональная схема четырехразрядного счетчика с параллельным переносом на JK-триггерах. На тактовые входы С всех триггеров счетные импульсы поступают одновременно с входа Т. Информационные входы J и К каждого триггера объединены. Триггер 77 переключается каждым счетным импульсом, так как на его входы J и К постоянно подается 1. Остальные триггеры переключаются счетными импульсами при следующих условиях: Т2 — при Ql=l;T3 — при Ql= *»Q2 = UT.4 —При Q—1,Q2—1,63 = 1. Недостатком описанного счетчика является необходимость иметь конъюнкторы с большим количеством входов, число которых должно возрастать с увеличением числа разрядов. Количество входов конъюнктора ограничено. Поэтому в многоразрядных счетчиках

используют конъюнкторы с небольшим числом входов, которыми составляют многовходовые. За счет последовательного включения конъюнкторов увеличивается время распространения логической 1 — сигнала, разрешающего переключение, т. е. уменьшается быстродействие счетчика. Однако время задержки сигнала логическим элементом в несколько раз меньше, чем триггером, поэтому выигрыш в быстродействии по сравнению со счетчиком с по­следовательным переносом все равно будет .