Московский Государственный
Институт Электронной Техники
(Технический Университет)
Курсовая работа
по курсу
“ Оборудование и автоматизация технологических процессов”
тема:
“Установка для термического отжига структуры GaAs”
Выполнил: Салуев В.В.
Группа: ЭТМ-41
Преподаватель: Шарапов В.И.
Москва 2001 г.
