6. Требования к отчету

Отчет составляется индивидуально на листах формата А4. При домашней подготовке необходимо изучить содержание работы, а основные аналитические соотношения внести в заготовленный отчет. Подготовленный для защиты отчет должен содержать:

- теоретическую часть (домашнюю подготовку),

- расчетные формулы,

- описание основных узлов установки,

- теоретические и экспериментальные результаты,

- анализ полученных результатов и выводы,

- ответы на все контрольные вопросы.

7. Контрольные вопросы

1. От каких факторов зависит коэффициент распыления?

2. Как связано количество распылённого материала с К_р?

3. В чём трудности распыления диэлектриков?

4. Какие вы знаете теории процесса распыления?

5. Какие варианты устройств для распыления вы знаете?

6. Какие блоки входят в конструкцию изучаемой установки?

7. Как зависит коэффициент распыления от давления рабочего газа?

8. Каков диапазон энергий распылённых атомов?

9. Каковы основные преимущества метода катодного распыления по сравнению с термовакуумным испарением?

10. В чём основные недостатки метода катодного распыления?

11. В чём особенности процесса конденсации материала при катодном распылении?

8. Библиографический список

1. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника: физические и технологические основы, надежность/Уч. пособие. М.: Высшая школа, 1986, с. 256-262.

1. Карабанов С.М., Чижиков А.Е. Технология материалов и изделий электронной техники. Пленочная электроника.//Учеб. пособие.Рязань. РГРТУ. 2009. С. 50-60.

2. Попов В.Ф., Горин Ю.Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии/Учеб. пособие. М.: Высш. школа. 1988, с. 106-150.

Варианты заданий

№ группы	120								121
№ подгруппы	1				2				1				2
№ бригады (Вариант)	1 (1)	2 (2)	3 (3)	4 (4)	1 (5)	2 (6)	3 (7)	4 (8)	1 (1)	2 (2)	3 (3)	4 (4)	1 (5)	2 (6)	3 (7)	4 (8)
Раб. газ	He	Ne	Ar	Xe	He	Ne	Ar	Xe	He	Ne	Ar	Xe	He	Ne	Ar	Xe
Ji, мкА/см2	100	110	120	130	140	150	160	170	100	110	120	130	140	150	160	170

№ группы	124
№ подгруппы	1				2
№ бригады (Вариант)	1 (1)	2 (2)	3 (3)	4 (4)	1 (5)	2 (6)	3 (7)	4 (8)
Раб. газ	He	Ne	Ar	Xe	He	Ne	Ar	Xe
Ji, мкА/см2	120	140	110	160	150	170	110	100

№ группы	122								123
№ подгруппы	1				2				1				2
№ бригады (Вариант)	1 (1)	2 (2)	3 (3)	4 (4)	1 (5)	2 (6)	3 (7)	4 (8)	1 (1)	2 (2)	3 (3)	4 (4)	1 (5)	2 (6)	3 (7)	4 (8)
Раб. газ	He	Ne	Ar	Xe	He	Ne	Ar	Xe	He	Ne	Ar	Xe	He	Ne	Ar	Xe
Ji, мкА/см2	110	130	140	140	110	140	150	160	100	120	150	160	120	130	140	160

Характеристики применяемых газов

Род газа	Гелий	Неон	Аргон	Ксенон	Воздух
Z1, отн. ед.	2	10	18	54	-
M1, г/моль	4	20,17	40	131,3	-
d, Ǻ	2,15	3,54	3,6	4,0	-
, нм, (00С, 760 тор)			63		60
, мм.(00С, 10-1 тор)			0,4788		0,47

Характеристики распыляемых материалов

Материал	Mg	Al	Ti	Cr	Ni	Cu	Ag	Au
Z2, отн. ед.	12	13	22	24	28	29	47	79
M2, г/моль	24,3	27	47,9	52	58,7	63,54	107,87	196,97
d2, Ă	1,33	1,3	1,44	1,24	1,24	1,28	1,3	1,3
, г/см3	1,74	2,7	4,5	7,15	8,9	8,93	10,5	19,3
, мм.(00С, 10-1 тор)	0,5	0,45	0,42	0,43	0,43	0,44	0,45	0,45