10 Рекомендуемая литература
10.1 Основная литература
1. Парфенова, Е.Л.
Физические основы микро- и наноэлектроники/
Е.Л.Парфенова., Л.А. Теретьева, Хусаинов
М.Г. – М.: Феникс, 2012.
2. Епифанов, Г.И.
Физические основы микроэлектроники /
Г.И. Епифанов,- М.: Советское радио, 1971.
3. Шалимова, К.В.
Физика полупроводников / К.В. Шалимова,-
СПб: Лань, 2010.
4. Фроленков, К.Ю.
Лабораторный практикум по курсу
«Физические основы микроэлектроники»
/ С.И. Матюхин, К.Ю. Фроленков, - Орел:
ОрелГТУ, 1998.
10.2 Дополнительная литература
5. Епифанов, Г.И.
Физика твердого тела / Г.И. Епифанов,-
СПб.: Лань, 2011.
6. Фистуль В.И.
Введение в физику полупроводников /
В.И. Фистуль,- М.: Высшая школа, 1984.
7. Пул Ч. Нанотехнологии
/ Ч. Пул, Ф.Оуэнс.- М.:Техносфера, 2009.
8. Пасынков, В.В.
Полупроводниковые приборы / В.В. Пасынков,
Л.К. Чиркин. – СПб.: Лань, 2006.
