ext_5251

ГЛАВА 4. Наноэлектроника и МЕМС

Диффузию используют для создания р и n областей. Для этого в кремний в качестве акцептора вносят бор (B), а в каче стве доноров – фосфор (P) и мышьяк (As). Процесс заключает ся в нагреве пластины и внедрении в нее ионов с высокой энер гией.

Металлизация завершает изготовление чипа. В ходе этого процесса осаждаются тонкие металлические пленки из алюми ния, золота или никеля, которые образуют электрические сое динения между активными областями и приборами на кристал ле те токопроводящие линии и контактные площадки, кото рые мы можем наблюдать на любой микросхеме.

Итак, процесс изготовления микросхем включает несколько технологических этапов: очистка, окисление, литография, травление, диффузия, осаждение и металлизация.

Развитие литографии

Бесспорно, для дальнейшего развития электроники, т.е. увеличения производительности за счет уменьшения размеров чипов, ключевым моментом является совершенствование ме тодов литографии.

Это значит, что толщина линий, наносимых светом на пове рхности фоторезиста в момент формирования “рисунка” мик росхемы, должна стремиться к уменьшению. Этого можно дос тичь уменьшением длины волны, ведь чем меньше длина волны, тем более мелкие детали рельефа она позволяет «нарисовать».

Первоначально засветка производилась инфракрасным из лучением с длиной волны чуть более 1 микрона – и ширина до рожек была примерно такой же. Затем стандартными стали длины волн 435 и 365 нм. При помощи источника излучения с длиной волны 365 нм вычерчивались линии толщиной до 0,35 микрон, что почти соответствует длине волны.

Затем благодаря переходу на источники, действующие в спектре глубокого УФ излучения (DUV*литография “Deep Ultra Violet”) с длиной волны 248 нм, полупроводниковая промыш ленность перешла на 0,18 микронную литографию. Достиже ние топологических размеров в 100 нм и меньше потребует уменьшения длины волны излучения, возможно, за счет при менения принципиально новых источников.

НАНОТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ ВСЕХ

В настоящее время интенсивно развивается EUV*литогра* фия (Extreme Ultra Violet) – литография в спектре жесткого ультрафиолета, обеспечивающая толщину линий проводников в 70 нм, что примерно в тысячу раз меньше толщины челове ческого волоса.

EUV литография является обычной литографией, но с ис пользованием излучения с длиной волны 11 14 нм, отража тельной оптикой и фотошаблонами. Оптическая система со держит набор зеркал между источником света и маской.

Рис 106. Схема оптической литографии

Чтобы дать читателю представление о преимуществах EUV литографии, приведем несколько наглядных примеров:

·EUV технология приводит к появлению микропроцес соров в 30 раз быстрее существующих. Процессор в 10 ГГц, нап ример, будет настолько быстрым, что, например, за время, по ка человек успевает моргнуть глазом (около 1/5 секунды), он сможет произвести порядка 2 млрд. вычислений.

·EUV литография предназначена для печати на кремни евой подложке элементов размером 0,07 мкм (70 нм) и менее. Это все равно, что рисовать изображение размером с двухрубле вую монету на поверхности Земли с космического корабля, а затем поверх него печатать другую картинку, четко совмещая их между собой. На одном кристалле соли (с ребром 0,25 мм) раз местилось бы около 3600 таких 70 нанометровых элементов.

·Элементы, нанесенные с помощью EUV и DUV литог рафии, примерно так же отличаются друг от друга, как две оди

184

ГЛАВА 4. Наноэлектроника и МЕМС

наковые линии, проведенные на бумаге шариковой ручкой (EUV) и маркером (DUV).

Переход к EUV литографии позволил пересечь 100 нм ру беж, оставаясь в рамках традиционной фотолитографии. Одна ко сложная зеркальная оптика и технология изготовления фо тошаблонов делает такой подход исключительно дорогим, ос тавляя место для разработки литографических процессов, ос нованных на иных физических принципах.

Проводящие полимеры

Долгое время основными материалами микроэлектроники считались кремний основа чипов, и медь, используемая в то копроводящих дорожках и контактах. Пластмассовым в компь ютере был разве что корпус монитора. Однако прогресс не сто ит на месте, и в последнее время все большую популярность за воевывают проводящие полимеры, которым, по прогнозам ма териаловедов, в ближайшие годы предстоит стать чуть ли не ос новным сырьем для производства полупроводниковой техни ки. Но прежде чем говорить об электропроводимости таких ве ществ, давайте вспомним, что же такое полимеры вообще.

Полимеры это огромные молекулы цепочки (макромолекулы), состоящие из большого числа многократно повторяющихся однотипных молекул звеньев (мономеров). Греческая приставка "поли", означает "много".

Типичным полимером является уже знакомая нам молеку ла белка, состоящая из сотен молекул аминокислот. В природе полимеры встречаются на каждом шагу. Они – важная часть любого микроорганизма, растения, животного. Например, цел люлоза, крахмал, каучук, природные смолы – примеры поли меров растительного мира. В человеческом организме также немало полимеров: мышцы, кожа, волосы и др.

До недавнего времени полимеры создавала только природа. Но в 20 х годах прошлого столетия человек узнал ее секрет и научился синтезировать их самостоятельно. Искусственные по лимеры прочно вошли в наш быт под видом таких привычных веществ, как полиэтилен, капрон, нейлон и другие виды пласт масс. Сегодня благодаря своим ценным свойствам пластмассы повсеместно заменяют древесину, металл, стекло. Пластмассы

НАНОТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ ВСЕХ

не боятся влаги и едких кислот, не подвержены ржавчине и гни ли и к тому же изготавливаются из дешевого углеводородного сырья.

Меняя длину и способы переплетения цепочек полимеров, можно управлять прочностью и эластичностью пластмасс. Сто ит к цепочке добавить еще хотя бы одно звено или ввести не большое количество примесей — и у полимера появляются но вые свойства. Одни пластмассы по прочности сравнимы с са мой лучшей сталью, другие эластичнее резины, третьи прозрач ны, как хрусталь, но не разбиваются. Одни пластмассы мгно венно разрушаются под действием тепла, другие способны вы держивать очень высокую температуру. Зная все это, ученые на сегодняшний день создали сотни тысяч различных синтетичес ких полимеров.

Строение и состав полимеров

Однотипные атомы или группы атомов в макромолекуле могут иметь линейную, разветвленную или пространственную структуру. К линейным полимерам относится, например, нату ральный каучук. К разветвленным амилопектин, к сложным пространственным нанотрубки.

Образование полимеров

Природные полимеры образуются в процессе биосинтеза в клетках живых организмов. Они могут быть выделены из расти тельного и животного сырья. В основе получения синтетичес ких полимеров лежат химические процессы полимеризации и поликонденсации. Реакцией полимеризации называется получе ние новой макромолекулы с большим молекулярным весом из атомов или простых молекул мономеров, причем это новое соединение имеет одинаковый с мономерами состав. На рисун ке приведена условная схема реакций полимеризации (а) и по ликонденсации (б).

186

ГЛАВА 4. Наноэлектроника и МЕМС

Рис 108. Реакции образования полимеров: а) полимеризация, б) поликонденсация

Электропроводимость полимеров

Отличительным свойством синтетических полимеров до недавнего времени считалось их нулевая электропроводность. Все привычные типы пластмасс являются хорошими диэлект риками благодаря прочным ковалентным связям, образующим макромолекулярные соединения.

Однако эпохальное достижение трех нобелевских лауреатов 2000 года Алана МакДайармида (США), Алана Хигеру (США)

иХидеки Ширакаве (Японии) – круто изменило общеприня тую точку зрения. Этим ученым впервые удалось превратить пластмассу в электрический проводник.

Как это часто бывает в истории науки, открытию помогла случайность. Студент Ширакавы как то по ошибке добавил слишком много катализатора, в результате чего бесцветный пластик вдруг стал отражать свет подобно серебру, и это навело на мысль о том, что он перестал быть изолятором. Дальнейшие исследования привели к открытию полимера с проводимостью, в десятки миллионов раз превосходящей обычный пластик. Это открывает путь к новой электронике ХХI века, основанной на органических материалах. Ведь органические материалы легче

игибче традиционного кремния, им проще придать нужную форму, в том числе и трехмерную.

Что же представляют собой проводящие полимеры? Если коротко, то основой для них служат вещества с молекулами, в которых имеются чередующиеся двойные углеродные связи. В чистом виде они не являются проводниками, поскольку элект роны в них локализованы в силу их участия в образовании ко валентных химических связей. Для освобождения электронов применяются различные примеси, после их ввода появляется возможность перемещения зарядов (электронов и дырок) вдоль

НАНОТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ ВСЕХ

молекулярной цепи. Распространенным примером проводяще го полимера является полианилин.

На проводящих полимерах основана молекулярная элект роника. Например, ученые из Аризонского университета созда ли ограничитель напряжения из семи анилиновых фрагментов. Разрабатываются молекулярные транзисторы, конденсаторы, диоды.

Американская компания Superconnect разработала матери ал, который в будущем поможет ускорить передачу данных в Интернете в сто раз! Это особый полимер, склеенный с набо ром фуллеренов, позволяющий управлять потоками света при помощи других потоков (т.е. чисто фотонный транзистор).

Это — первый шаг на пути создания полностью оптических маршрутизаторов в Интернете. Сейчас для управления по токами данных (которые между крупны ми узлами передаются по оптоволокну), их преобразовывают из оптических им пульсов в электронные. Чипы определя ют направление передачи и переключа ют канал, после чего поток битов в виде электронов снова переводят в световые

импульсы и отправляют к месту назначения. Такие двойные преобразования — одно из узких мест, снижающих общую про пускную способность Интернета. Заменив обычные маршрути заторы, сочетающие оптические и электронные компоненты, на полностью оптические, можно будет повысить скорость пе редачи данных в сто раз.

Дешевизна производства полимеров открывает перед орга нической электроникой новые области применения. Напри мер, такие полимеры позволят печатать любую ИС на простых компьютерных принтерах, используя особый химический раст вор вместо чернил. Это — колоссальное технологическое и эко номическое преимущество, ведь принтер прост в обращении и стоит копейки по сравнению с традиционным дорогостоящим оборудованием для изготовления интегральных микросхем.

На принтерах, например, в ближайшее время сотрудники британской компании Cambrige Display Technologies собирают ся наладить выпуск видеодисплеев для мобильных телефонов и

188

ГЛАВА 4. Наноэлектроника и МЕМС

других переносных устройств. Ис ходным материалом для таких дисплеев будут новые светоизлу чающие полимеры, где излучение происходит в результате рекомби нации электронов и дырок. Также в скором времени следует ожидать массового производства новых пластиковых мониторов на основе полимерных матриц. На фото изображен один из лабораторных образцов таких дисплеев компа нии Universal Display.

Более того – если можно печатать и проводники, и полиме ры, то почему бы не напечатать на принтере сам принтер? Именно это и стремятся сделать добровольцы проекта RepRap – самореплицирующийся принтер, который сможет печатать все детали для своих копий из проводящих, полупроводящих и неп роводящих полимерных чернил. Конечно же, он сможет не только размножаться на таком принтере можно будет запросто «распечатать» цифровую фотокамеру или мобильный телефон!

Появление и развитие MЕMS и NEMS технологии

Итак, мы вкратце рассмотрели процесс развития полупро водниковой электроники от элементарного селенового фоторе зистора до изготовления сложных интегральных микросхем. Появление и развитие МЕМS технологий явилось следующим шагом на пути эволюции полупроводниковой техники.

Английская аббревиатура “MEMS” (или по русски “МЭМС”) расшифровывается как микроэлектромеханические системы. Соответственно, NEMS технология использует на ноэлектромеханические системы. Понятно, что приставки “микро” и “нано” характеризуют уже привычные для нас чрез вычайно малые масштабы. Поэтому сначала нужно понять – а что же такое электромеханическая система.

Без особого преувеличения можно сказать, что начало сов ременной электротехники положил гениальный английский ученый Макс Фарадей, открывший в 1873 году явление элект

* Перепечатано с www.universaldisplay.com

НАНОТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ ВСЕХ

ромагнитной индукции. Суть его чрезвычайно проста: если рамку из металлической проволоки вращать в магнитном поле, то по ней потечет электрический ток. Другими словами, меха ническая энергия перейдет в электрическую.

И наоборот, если по рамке, находящейся в магнитном поле, пропустить ток, то рамка начнет вращаться. Это иллюстрирует работу простейшего электродвигателя, где вращающаяся рамка выполняет функцию ротора.

Вращающаяся металлическая рамка в магнитном поле это прообраз генератора электрического тока.

Мы видим, что рассмотренные выше процессы взаимооб ратимы, то есть одну и ту же электромеханическую систему можно использовать и как двигатель, и как генератор. При ны нешнем уровне развития науки и техники изготовление элект ромеханических устройств в масштабе, скажем, миллиметров или даже сотен микрон не составляет принципиальных труд ностей. Такие устройства и получили название микро или на ноэлектромеханические системы.

МЭМС представляют собой трехмерные микрообъекты и микромашины: моторы, насосы, турбины, микророботы, микродатчики или целые аналитические микролаборатории, выполненные на кремниевой подложке.

Их размеры могут быть меньше спичечной головки, и поэ тому использование МЭМС позволит резко уменьшить массу и объем традиционной электронной техники, а также значитель но снизить ее стоимость.

Впервые о возможностях таких устройств заговорили еще в 1959 году. Но для превращения МЭМС из любопытных лабора торных “игрушек” в реальные изделия, пользующиеся спросом на рынке, потребовалось целых 40 лет. Только в конце 90 х на чалось освоение промышленного производства МЭМС, а сей час МЭМС широко используются в самых различных сферах человеческой деятельности: в телекоммуникациях, медицине, транспорте и т.д. MEMS системы на сегодняшний день явля ются ключевым фактором в развитии нанотехнологий. Именно на базе таких систем планируется создание наноманипуляторов и нанороботов.

190

ГЛАВА 4. Наноэлектроника и МЕМС

Традиционный микропроцессор способен лишь на то, чтобы решать определенный алгоритм и выдавать тот или иной результат вычислений. Микроэлектромеханические же уст ройства способны не только обрабаты вать определенные данные, но и вы полнять некоторые движения, то есть выступать в роли микророботов.

Если ИС обеспечила проводникам возможность “думать”, то МЭМС поз воляет им “ощущать”, общаться и взаимодействовать с внеш

ним миром. Поэтому без преувеличения можно сказать, что МЭМС – это новая волна полупроводниковой революции. По мнению экспертов, развитие МЭМС аппаратуры может иметь такие же последствия для научно технического прогресса, ка кие оказало появление микроэлектроники на становление и современное состояние ведущих областей науки и техники.

Изготовление МЭМС очень похоже на создание микросхем. Здесь также ис пользуется кремний – самый популярный в микроэлектро нике материал, а технология создания МЭМС устройств очень напоминает процедуру создания ИС. И в той, и в дру гой имеется замечательная возможность создавать необ

ходимые структуры в едином технологическом процессе. И планарной, и МЭМС технологии присущи осаждение мате риала, перенос изображений и удаление промежуточных слоев (в МЭМС для отделения механических частей).

Как правило, создание микромеханических изделий требует создания более толстых пленок, более глубокого травления, а сам технологический процесс имеет значительно больше этапов.

* Пперепечатано с www.memx.com

** Перепечатано с www.cmp.caltech.edu

НАНОТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ ВСЕХ

Как ни удивительно, но МЭМС системы могут выступать не только в роли сенсоров и «мускулов» микро и нанороботов. Они также могут быть основой нанокомпьютеров.

История создания компьютеров начинается в девятнадца том веке с универсальной механической машины Чарльза Бэб биджа. В 1833 г. английский ученый, профессор Кембриджского университета Чарльз Бэббидж разработал гигантский арифмо метр с программным управлением, арифметическим и запоми нающим устройствами. Аналити ческая машина Бэббиджа стала предшественницей и прообразом современных компьютеров и ма шин с программным управлени ем. Как ни странно, но она была полностью механической. И это не мешало ей выполнять простей шие арифметические и логичес кие операции, а также хранить

Рис 113. Машина Чарльза Бэббиджа*

полученные результаты.

Подобие машины Бэббиджа ученые собираются создать в наномасштабе, используя «НЭМС арифмометры».

Эрик Дрекслер предложил проект механокомпьютера – компьютера, в котором все логические операции, хранение и обработка информации производятся с помощью последова тельных движений системы стержней. Используя нанотехноло гически измененные материалы (например, алмаз или сапфир), можно добиться высокой скорости распространения информа ции. Дрекслер составил детальное описание подобного компь ютера на основе механотранзисторов, причем размеры подоб ного устройства составят всего 400х400х400 нм.

При этом его вычислительная мощность 1016 операций в секунду, что можно приравнять к производительности совре менного персонального компьютера Penthium IV с тактовой частотой 1 ГГц. Если представить себе такой механокомпьютер в сравнении с красной кровяной клеткой (эритроцитом), то эритроцит будет больше в 10 15 раз!

Если использовать эти наноустройства для хранения ин формации, то полученная механическая память будет выгоднее

* Перепечатано с http://old.ej.ru/033/btw/any/

192