1.4.1 Требования к конструкции вакуумной камеры

Основное распространение получили установки с передней дверью, размеры которой делают равными или близкими к размерам осевого сечения камеры, с целью обеспечения максимальной загрузки, которая выполняется через дверь. Типичная форма камеры — цилиндр или куб правильной или несколько «бочкообразной» формы. Этот тип камеры используется также и в вакуумных установках микроэлектронной промышленности, часть которых до настоящего времени выпускается в универсальном исполнении, обеспечивающем возможность их использования для той и другой области, при этом основным отличием установок для оптики является наличие технологического спектрофотометра. Однако быстрый рост потребностей в оптических покрытиях для изделий фотокинооптики, лазерной и инфракрасной техники, очков, биноклей и т. д. создали предпосылки для организации производств по выпуску установок специально для оптической технологии, как универсальных, так и узкоспециализированных.

Важным условием правильного выбора конструкции вакуумной камеры является определение оптимальной геометрии относительного расположения источника и подложки, обеспечивающей максимальную равномерность осаждения пленкообразующего материала, с высокими требованиями к однородности слоев по толщине при нанесении покрытий одновременно на большое количество деталей или на детали максимальных размеров. Как правило, для этого расстояние от источника испарения до подложки должно оставаться больше, чем диаметр камеры.

Конструкция камеры с передней дверью, в отличие от подъемного колпака, представляет целый ряд преимуществ. Во-первых, появляется возможность перенести откачной патрубок на боковую стенку и тем самым освободить место на днище камеры и под ним для размещения разнообразной внутри- и внекамерной арматуры и обеспечить к ней свободный доступ. Во-вторых, обеспечивается стабильность юстировки оптической схемы фотометрии, которая не нарушается за счет подъема колпака. В-третьих, неподвижная верхняя крышка позволяет размещение на ней, кроме фотометрических устройств, некоторой части вакуумных вводов: вращения арматуры с электроприводом, вакуумметрических и масс-спектрометрических датчиков и т. д. В-четвертых, появляется возможность разделения перегородкой технологического пространства от помещения обслуживания установки, т. е. устройства гермозоны («чистой комнаты» или «обеспыленного модуля»), где ведутся работы с оптическими деталями и подколпачной арматурой.

Наличие передней двери облегчает чистку стенок камеры или замену экранов, которыми закрывают от запыления стенки и днище камеры. При необходимости, может быть предусмотрена дополнительная дверь в камеру для чистки со стороны вспомогательного помещения. Размеры двери обычно делают максимальными по высоте и ширине для установки через нес арматуры наибольшего диаметра, с целью достижения максимальной производительности установки.

Типичная конструкция вакуумной установки для нанесения оптических покрытий схематически представлена на рисунке 9:

Рис. 9, Схема вакуумной установки дли нанесения оптических покрытии

термическими способами

1 — форвакуумный насос (агрегат); 2 — двухроторный насос; 3 — линия форвакуумной откачки; 4 — диффузионный насос; 5 — форвакуумные клапаны; 6 — термопарный датчик; 7 сорбционная ловушка; 8 — высоковакуумный датчик; 9 — криоловушка;10 – антитурбулентное устройство; 11 -высоковакуумный затвор; 12— гидропривод затвора; 13 – защитная решетка; 14— клапаны напуска атмосферы и технологических газов; 15 — привод вращения подложек; 16 — датчик масс-спектрометра; 17 – спектрофотометр; 18 – купол планетарного устройства; 19—нагреватель подложек; 20- кварцевый датчик; 21 - PH; 22 —ЭЛИ; 23 — электрод тлеющего разряда; 24 — привод тигля