Приложениеа

Міністерство освіти та науки України

Східноукраїнський національний університет

імені Володимира Даля

Кафедра “Обладнання електронної промисловості”

ПОЯСНЮВАЛЬНА ЗАПИСКА

до випускної кваліфікаційної роботи бакалавра на тему:

“Модернізація установки для іонної імплантації”

Студента групи НТ – 361 Богородченко В.М.

Керівник проекту доц. Логунов М.П.

Завідувач кафедри (проф. Єрошин С.С.)

Луганськ 2011

ПРИЛОЖЕНИЕ Б

СХІДНОУКРАЇНСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ

імені ВОЛОДИМИРА ДАЛЯ

Факультет Нанотехнологій та наноелектроніки

Кафедра Обладнання електронної промисловості

Спеціальність 6.050530 Обладнання електронної промисловості

“ЗАТВЕРДЖУЮ”

Зав. кафедри _______________

проф. Єрошин Сергій Сергійович

“6“ березня 2011р.

ЗАВДАННЯ

до випускної кваліфікаційної роботи бакалавра

1. Студент Богородченко Валерій Миколайович

2. Група НТ – 361

3. Тема випускной работы: “Модернізація установки для іонної імплантації”

Затверджена наказом по СНУ “13“ травня 2011 р. № 197-04

4. Термін здачі студентом закінченої роботи - 15 червня 2011 р.

5. Початкові дані до проекту: дози імплантації бором - у діапазоні від 2,0х10¹⁰ до 4,0х10¹⁴ іон/см², фосфором та миш'яком - від 2,0х10¹⁰ до 1,6х10¹⁵ іон/см². Виробнича спроможність – 40 пластин за годину. Розмір пластин – 150 мм. Вакуум – 10^-7 Па.

6. Зміст пояснювальної записки (основні питання): технологія іонного імплантації , моделювання процесу іонного легування, модернізація вакуумної камери, конструкція та робота установки.

7. Перелік графічного матеріалу (із зазначенням обов’язкових креслень): установки для іонної імплантації – загальний вигляд (2 л), вакуумна камера - (1л), пневматичний циліндр (1л), ёвакуумна схема (1л),

Продолжение приложения Б

8. Консультанти по проекту:

Розділ	Консультант	Підпис
1. Технологія іонної імплантації	доц. Логунов М.П.
2. Модернізація установки
3. Конструкція та робота установки

9. Календарний план виконання проекту:

Назва етапу	Термін виконання	Примітка
1. Аналіз технології іонної імплантації	1.04.03.
2.Модернізація установки – розрахунки, креслення загальних виглядів і деталювання. Оформлення специфікації.	5.05.03.
	5.06.03
	20.04.03
	15.04.03
	25.04.03
	5.06.03
	7.06.03

Студент – дипломник Богородченко Валерій Миколайович

^{(підпис)}

Керівник проекту доц. Логунов Микола Петрович

^{(підпис)}

Дата видачі завдання“12 “ березня 2011 р.