Вакуумный практикум. Учебно-методическое пособие
.pdf
РЕКОМЕНДУЕМАЯ ЛИТЕРАТУРА
1.Иванов И. Г. Физические основы вакуумной техники. учеб.-метод. пособие. – Ростов-на-Дону, 1995.
2.Розанов Л. Н. Вакуумная техника. – М.: Высшая школа, 1990. – 320с.
3.Кучеренко Б. Т. Справочник по физическим основам вакуумной техники. –Киев: Изд. КГУ «Вища школа», 1981. – 264 с.
4.Пипко А. И., Плисковский В. Я., Пенчко В. А. Конструирование и расчет вакуумных систем. – М.: Энергия, 1970. – 504 c.
5.Технология тонких пленок. Справочник / под ред. Л. Майссела и Р. Глэнга. – М.: Советское радио, 1977. – 664 с.
6.Ивановский А. М., Петров С.А. Ионно-плазменная обработка материалов. – М., Радио и связь. 1991.
Приложение
Условные обозначения элементов вакуумных систем, применяемые на схемах и чертежах
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Вращательный |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Откачиваемый |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(ротационный) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
объем (общее |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
объемно- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
обозначение) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
механический |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
насос (число |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
окружностей |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
соответствует |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
числу ступеней |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
откачки) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Проходной кран |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Молекулярный |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(затвор) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(паромасляный или |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
парортутный) насос |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Манометр- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Проходной кран |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
вакуумметр |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
дозирующий |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
тепловой |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(термопарный) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Проходной затвор с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Манометр- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
электромагнитным |
|
|
|
|
|
|
или |
|
|
вакуумметр |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
управлением |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
ионизационный |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Трехходовой кран |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
или |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
Вакуумпровод |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(затвор) |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Двухходовой |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(угловой) кран |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(затвор) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
52
Учебное издание
ИВАНОВ Игорь Григорьевич
ВАКУУМНЫЙ
ПРАКТИКУМ
учебно-методическое пособие
Редактор Л. Г. Зайцева
Корректор Л. Г. Зайцева Технический редактор Д. В. Свавицкая Компьютерная верстка О. Ю. Лаврикова
Дизайнер обложки |
О. В. Чурбанова |
Лицензия ЛР № 65-41 от 01.09.1999
Подписано в печать 18.11.2009.
Формат 60х841/16. Бумага офсетная. Гарнитура Таймс. Печать офсетная. Усл. печ. л. 3,25. Уч.-изд. л. 6,0.
Тираж 100 экз. Заказ № 147.
Издательство Южного федерального университета.
344006, г. Ростов-на-Дону, ул. Пушкинская, 160.
Тел.: (863) 264-00-19.
Отпечатано в типографии ЮФУ. 344090, г. Ростов-на-Дону, пр. Стачки, 200/1.
Издательство Южного федерального университета
ПРИГЛАШАЕТ К СОТРУДНИЧЕСТВУ АВТОРОВ
•научной
•учебно-методической
•справочной
•научно-популярной литературы
работающих в областях
•социальных и естественных наук
•юриспруденции
•медицины
•программирования и вычислительной техники
Издательство оказывает полный комплекс услуг. Опыт и профессионализм сотрудников, высокое качество, доступные цены.
МЫ РАБОТАЕМ ДЛЯ ВАС. МЫ ЖДЕМ ВАС
344006, г. Ростов-на-Дону, ул. Пушкинская, 160, к. 12, 14.
Тел.: (863) 264-00-19
