Список сокращений
ИМ – инерционная масса ИС – инерциальная система
КМОП - комплементарная структура металл-оксид-полупроводник ММА – микромеханический акселерометр ММГ – микромеханический гироскоп ММДД – микромеханические датчики давления ММП – микромеханические приборы
МОЭМС - микро-оптоэлектромеханические системы МСТ – микросистемная техника МЭМС – микроэлектромеханические системы
НиМЭМС – нано- и микроэлектромеханические приборы РД – режим движения РЧ – режим чувствительности
САПР – система автоматизированного проектирования ФЧХ – фазово-частотная характеристика ЧЭ – чувствительный элемент УЭ – упругий элемент
41
Заключение
Рассмотрены технологические особенности реализации структур МЭМС, приведены методы анализа устройств МЭМС, в частности, описан перспективный метод электромеханических аналогий. Описаны различные типы систем автоматизированного проектирования, которые базируются на использовании специализированного программного обеспечения мировых лидеров в области разработки МЭМС.
Можно указать три основных пути миниатюризации электронной аппаратуры.
1.Уменьшение числа функциональных элементов в схеме. Этот путь может быть реализован за счет успехов схемотехники, однако наилучший результат дает создание элементов или устройств с функционально новыми свойствами.
2.Уменьшение габаритных размеров отдельных элементов при сохранении их электрических параметров. Этого можно достигнуть, в основном путем использования новых материалов и новых технологических приемов изготовления материалов и элементов.
3.Уплотнение взаимного расположения элементов. Наибольшие успехи достигнуты в этом направлении. Они связаны с использованием новых материалов, технологических процессов и принципов конструирования.
42
Контрольные вопросы
1.Что понимают под технологией MEMS?
2.Каковы физические размеры устройств в МЭМС?
3.Какие структурные элементы входят в МЭМС?
4.Как классифицируются МЭМС в соответствии с областью их применения?
5.Перечислите основные методы микрообработки изготовления МЭМС устройств?
6.Перечислите виды датчиков МЭМС?
7.На какие группы делятся актюаторы МЭМС?
9.Что содержит измерительная цепь микродатчика с точки зрения теории измерений?
10.Как называются акселерометры, предназначенные специально для измерения углов наклона?
11.Что отображает статическая характеристика микродатчика?
12.Что характеризует чувствительность микродатчика?
13.Микромеханические датчики можно подразделить на…?
14.Как ММА классифицируют по виду движения?
15.К основным характеристикам MMA относятся:…?
16.Какими классификационными признаками характеризуются ММГ?
17.На какие группы по виду измеряемого давления делятся ММДД?
43