Зависимость толщины окисла от времени окисления

Р, Т газообразного окислителя – постоянные

I- линейный участок;

II- линейно-параболический;

III- параболический участок;

IV- логарифмический участок.

Анодное окисление (электрохимическое анодирование)

•GaAs, Al, Ti и Ta.

•Состав электролита:

•растворитель (вода или

органический, например, этиленгликоль);

•электропроводный компонент – неорганическая соль, кислота или щелочь, которая должна диссоциировать в растворе;

•прочие добавки, изменяющие свойства пленок.