* Параметры, не зависящие от масштабирования
+ UO=80
*поверхностная подвижность носителей
+ PB=0.8
*напряжение инверсии приповерхностного слоя подложки
+ DELTA = 0.1
*коэффициент влияния ширины канала на пороговое напряжение
+ KAPPA= 0.2
*коэффициент насыщения поля
+ VMAX=2E5
*максимальная скорость дрейфа носителей
+ FC=0.5
*коэффициент нелинейности барьерной емкости прямосмещенного перехода *подложки
+ MJ=0.42
*коэффициент, учитывающий плавность перехода подложка – сток (исток)
+ MJSW=0.31)
*коэффициент наклона боковой поверхности перехода подложка-сток (исток)
* Задание на моделирование – построение ВАХ
.step param Length 0.55u 0.1u 0.1u
vds 1 0
vgs 2 0
mn1x 1 2 0 0 n1x
.dc vds 0 5 0.5 vgs 0 5 1
.probe ID(mn1x)
.end
Параметры, подставляемые в модель и являющиеся функциями от масштабируемых параметров, рассчитать по формулам (4) – (9). Поверхностная подвижность носителей:
UON=260 См2/(В·с); UOP=80 См2/(В·с)
Примечание. Запись в SPICE: SQRT(X) соответствует X1/2.
Таблица 3 Технологические параметры, полученные в результате применения законов масштабной миниатюризации
Параметр |
Технология |
||||||
LDRAW, мкм |
0.55 |
0.33 |
0.23 |
0.16 |
0.09 |
1/SL |
1/S |
LEFF, мкм |
0.41 |
0.25 |
0.18 |
0.12 |
0.07 |
1/SL |
1/S |
XJ, нм |
200 |
120 |
90 |
60 |
35 |
1/SL |
1/S |
VDD, В |
5.0 |
3.3 |
2.5 |
1.8 |
1.2 |
1/SV |
1/S0.078 |
TOX, нм |
9.8 |
6.5 |
4.9 |
3.5 |
2.5 |
1/ST |
1/S0.71 |
NSUB, см–3 |
3.5·1016 |
6.6·1016 |
10.0·1017 |
1.6·1017 |
3.1·1016 |
SSUB |
S1.27 |
VTO, В |
0.97 |
0.72 |
0.60 |
0.50 |
0.41 |
1/SVT |
1/S0.44 |
VTD, мВ |
170 |
120 |
100 |
80 |
60 |
1/SVTD |
1/S0.52 |
Таблица 4 Параметры масштабирования для SPICE-моделирования
Параметр масштабирования |
Технология |
|||||
0.55-мкм |
0.33-мкм |
0.23-мкм |
0.16-мкм |
0.09-мкм |
0.07-мкм |
|
BaseLength, нм |
550.0 |
550.0 |
550.0 |
550.0 |
550.0 |
550.0 |
S |
1.000 |
1.667 |
2.391 |
3.438 |
6.111 |
7.857 |
S_len |
1.000 |
1.667 |
2.391 |
3.438 |
6.111 |
7.857 |
S_tox |
1.000 |
1.437 |
1.857 |
2.403 |
3.615 |
4.322 |
S_vdd |
1.000 |
1.490 |
1.974 |
2.620 |
4.104 |
4.992 |
S_nsub |
1.000 |
1.913 |
3.026 |
4.798 |
9.963 |
1.371 |
S_vto |
1.000 |
1.252 |
1.468 |
1.722 |
2.218 |
2.477 |
S_dvt |
1.000 |
1.490 |
1.974 |
2.620 |
4.104 |
4.992 |
S_eta |
1.000 |
0.310 |
0.136 |
0.059 |
0.016 |
0.009 |