Презентации / ФХОТ Все Презентации
.pdf
предварительная обработка деталей вакуумных приборов (обезгаживание)
Химические методы очистки
Удаляем поверхностные загрязнения и газы I (и частично II) групп
Термические методы очистки
Пиролиз остатков промывочных жидкостей и хим. растворителей, восстановления ( разложения) окислов на поверхности металлов и удаления растворенных газов II и III группы
Рафинирующий термический отжиг –
завершающий этап очистки металлических деталей (по эффективности превосходит предыдущие этапы, сглаживая технологические шероховатости различных химических обработок)
5.6 Роль диффузии в газопроницаемости вакуумных оболочек
Вакуумные оболочки
Металлические |
Керамические |
|
Стеклянные
примерный состав атмосферного воздуха (в парциальных давлениях)
О2 - 159 тор |
|
Н2О - 12 тор |
|
Ar - 7 тор |
CO2 - 0,25 тор, |
|||
Ne - 1,4 10 −2 тор, |
|||
He - 4 10 −3 |
N2 - 595 тор |
||
тор, |
|||
H |
2 |
- 4 10 −4 |
тор |
|
|
|
|
Металлические оболочки проницаемы только для атомов газа
O2, N2 |
|
H2O, CO2 |
|
Ar, He, Ne |
|
H2 |
Металлическая оболочка
Образуют |
Диффундируют |
Не |
|
||
хим. |
в виде атомов |
растворяются |
|
||
соединения |
с образованием |
в металлах |
|
||
|
|
|
|
|
|
на пов-ти |
молекулы на |
|
|
|
|
|
пов-ти |
|
|
Высокая |
|
|
|
|
|||
проницаемость
атомы H2 образуют с большинством металлов гидриды и твердые растворы, но энергия их связи с решеткой невелика =>диффузия возможна.
+ |
+ |
|
|
|
|
r |
эфф |
уменьшается в 104 раза |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Металлы (298 K): |
|
|
|
|||||
K |
Н2 |
10 −6 |
(Pd), 10 −9 (Fe), 10 −11 (Ni), 10 −14 (Cu), 10 −20 |
(Al) |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
эффективные диаметры молекул газов:
He — 2,0 Å, H2 — 2,5 Å, Ar — 3,1 Å, O2 — 3,2 Å, N2 — 3,4 Å, H2O — 4,6 Å
Стекла (298 K):
K Не 10 −8 (SiO2), 10 −10 10 −14 (щелочные стекла), 10 −12 (БСС), 10 −13
(ФСС)
