Добавил:
Адепт твердотельной электроники, последователь учений Михайлова Н.И. Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Презентации / ФХОТ Все Презентации

.pdf
Скачиваний:
76
Добавлен:
21.06.2024
Размер:
18.7 Mб
Скачать

S (т) + xX (г)

 

 

aA (г) + bB (г) + cC (г) …

 

pa

pb

pc

 

K p (T )

A

B

C

 

 

 

px

 

 

 

 

 

X

 

 

Большие значения Кр соответствуют большему выходу газообразных продуктов реакции А. В. С …

Уменьшение Кр означает сдвиг реакции в сторону образования твердого продукта S

Зона с большим значением Кр – зона источника (травления)

Зона с меньшим значением Кр – зона подложки (осаждения)

Газовая смесь образующаяся в зоне источника – равновесна, но попав в зону подложки становиться неравновесной

 

 

 

a

b c

 

a

b

 

c

 

 

 

 

 

 

 

 

П( p )

pA

pB pC

 

pA pB pC

 

 

 

K (T )

 

 

 

 

 

 

i

px

 

 

 

p x

 

 

 

 

 

 

p

и

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

X

 

 

 

 

X

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

T

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

и

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

G RT ln П( pi ) ln K p (T )

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

G(T ) RT

ln П( p ) ln K

p

(T )

 

 

 

 

 

 

п

 

п

i

 

 

 

п

 

 

 

 

RT ln K

p

(T ) ln K

p

(T )

0

 

 

 

 

 

 

п

 

 

и

 

п

 

 

 

 

 

 

 

Знак возникающего пересыщения в области подложки соответствует сдвигу реакции в сторону осаждения тв. S

Выделяющийся транспортный агент Х диффундирует в обратном направлении, что создаёт пересыщение в зоне источника обеспечивающее травление источника S

Kр (Ти) > Kр (Тп)

химический перенос твердого вещества в газотранспортной системе всегда осуществляется из температурной зоны с бóльшим значением константы равновесия Kр (Ти) в зону с ее меньшим значeнием Kр (Тп)

Эндотермические реакции (с поглощением тепла)

транспорт вещества происходит из высокотемпературной зоны в низкотемпературную (Т2 Т1)

Kр (Т )

H > 0

Kр (Ти)

Kр (Тп)

 

химический

 

 

 

транспорт

 

0

Т1 = Tп Т2 = Tи T

 

 

 

 

 

С (т) + СО2 (г) 2СО (г)

 

BaCO3 (т)

 

ВаО (т) + СО2 (г)

W (т) + 3Н2О (г)

 

(г)

3 (г) + 3Н2

Экзотермические реакции ( с выделением тепла)

транспорт вещества осуществляется из низкотемпературной зоны в высокотемпературную (Т1 Т2)

Kр (Т )

H < 0

Kр (Ти)

Kр (Тп)

химический

 

транспорт

 

 

 

0

Т1 = Tи

Т2 = Tп

T

 

Ni (т) + 4СО (г)

 

Ni (СО) (г)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

4

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

W (т) + 3Cl

 

 

 

WCl

 

(г)

 

 

2

(г)

6

 

 

 

 

 

 

 

 

Химический транспорт веществ из холодной зоны в горячую особо опасен для электровакуумных приборов.

Возникает опасность переноса веществ на горячий катод и снижение его термоэмиссионных свойств.

При переносе химически активных веществ (Cl, S и др.) происходит химическое отравление катода.

При переносе инертных легкоплавких веществ происходит спекание оксидного слоя.

При переносе инертных тугоплавких веществ (углерод, карбид) происходит почернение оксидного слоя катода.

Роберт Бунзен 1852 год