Презентации / ФХОТ Все Презентации
.pdf
Газовая смесь образующаяся в зоне источника – равновесна, но попав в зону подложки становиться неравновесной
|
|
|
a |
b c |
|
a |
b |
|
c |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
П( p ) |
pA |
pB pC |
|
pA pB pC |
|
|
|
K (T ) |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
i |
px |
|
|
|
p x |
|
|
|
|
|
|
p |
и |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
X |
|
|
|
|
X |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
T |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
и |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
G RT ln П( pi ) ln K p (T ) |
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
G(T ) RT |
ln П( p ) ln K |
p |
(T ) |
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
п |
|
п |
i |
|
|
|
п |
|
|
|
||||||
|
RT ln K |
p |
(T ) ln K |
p |
(T ) |
0 |
|
|
|
||||||||||
|
|
|
п |
|
|
и |
|
п |
|
|
|
|
|
|
|
||||
Знак возникающего пересыщения в области подложки соответствует сдвигу реакции в сторону осаждения тв. S
Выделяющийся транспортный агент Х диффундирует в обратном направлении, что создаёт пересыщение в зоне источника обеспечивающее травление источника S
Kр (Ти) > Kр (Тп)
химический перенос твердого вещества в газотранспортной системе всегда осуществляется из температурной зоны с бóльшим значением константы равновесия Kр (Ти) в зону с ее меньшим значeнием Kр (Тп)
Эндотермические реакции (с поглощением тепла)
транспорт вещества происходит из высокотемпературной зоны в низкотемпературную (Т2 Т1)
Kр (Т )
H > 0
Kр (Ти)
Kр (Тп) |
|
химический |
|
|
|
транспорт |
|
0 |
Т1 = Tп Т2 = Tи T |
|
|
|
|
|
|
С (т) + СО2 (г) 2СО (г) |
|
||
BaCO3 (т) |
|
ВаО (т) + СО2 (г) |
|
W (т) + 3Н2О (г) |
|
(г) |
|
WО3 (г) + 3Н2 |
|||
Экзотермические реакции ( с выделением тепла)
транспорт вещества осуществляется из низкотемпературной зоны в высокотемпературную (Т1 Т2)
Kр (Т )
H < 0
Kр (Ти)
Kр (Тп) |
химический |
|
|
транспорт |
|
||
|
|
||
0 |
Т1 = Tи |
Т2 = Tп |
T |
|
Ni (т) + 4СО (г) |
|
Ni (СО) (г) |
|||||
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
W (т) + 3Cl |
|
|
|
WCl |
|
(г) |
|
|
2 |
(г) |
6 |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
||
Химический транспорт веществ из холодной зоны в горячую особо опасен для электровакуумных приборов.
Возникает опасность переноса веществ на горячий катод и снижение его термоэмиссионных свойств.
При переносе химически активных веществ (Cl, S и др.) происходит химическое отравление катода.
При переносе инертных легкоплавких веществ происходит спекание оксидного слоя.
При переносе инертных тугоплавких веществ (углерод, карбид) происходит почернение оксидного слоя катода.
Роберт Бунзен 1852 год
