Список использованных источников
1
Диодная
система травления [Электронный ресурс].
– 2023. – Режим доступа:
https://studfile.net/preview/3676414/page:14/
2
Общее
описание рентгеновской литографии
[Электронный ресурс]. – 2020. – Режим
доступа: https://www.macro-econom.ru/economs-3507
3
Технология литографических процессов
[Электронный ресурс]. – 2023. – Режим
доступа: https://www.hse.ru/data/litograf_pro_vse
4
Рентгеновская литография [Электронный
ресурс]. – 2020. – Режим доступа:
https://ru.wikipedia.org/wiki/
5
Вторично-ионная
масс-спектрометрия [Электронный ресурс].
– 2023. – Режим доступа:
https://studfile.net/preview/9078602/page:2/
6
Рентгеновская
спектрометрия. Спектрометры [Электронный
ресурс]. – 2019. – Режим доступа:
https://eurolab.ru/rentgen_spektrometriya
