Список использованных источников

1 Диодная система травления [Электронный ресурс]. – 2023. – Режим доступа: https://studfile.net/preview/3676414/page:14/

2 Общее описание рентгеновской литографии [Электронный ресурс]. – 2020. – Режим доступа: https://www.macro-econom.ru/economs-3507

3 Технология литографических процессов [Электронный ресурс]. – 2023. – Режим доступа: https://www.hse.ru/data/litograf_pro_vse

4 Рентгеновская литография [Электронный ресурс]. – 2020. – Режим доступа: https://ru.wikipedia.org/wiki/

5 Вторично-ионная масс-спектрометрия [Электронный ресурс]. – 2023. – Режим доступа: https://studfile.net/preview/9078602/page:2/

6 Рентгеновская спектрометрия. Спектрометры [Электронный ресурс]. – 2019. – Режим доступа: https://eurolab.ru/rentgen_spektrometriya