5 Применение

С помощью CVD-процесса получают материалы различных структур: монокристаллы, поликристаллы, аморфные тела. Особую роль играет CVD-процесс в синтезе наноматериалов. Примеры материалов: кремний, углеродное волокно, углеродное нановолокно, углеродные нанотрубки, SiO2, вольфрам, карбид кремния, нитрид кремния, нитрид титана, различные диэлектрики, а также синтетические алмазы.

Железные покрытия полученные методом CVD из карбонила железа Fe(CO)5, при различных температурах подложки: а - 400 °С (х27500); б - 500 °С (х27500); в- 600 °С (х15500)

Процесс часто используется в индустрии полупроводников для создания тонких плёнок. Широко используемая универсальная техника для покрытия больших площадей поверхности за короткое время. В промышленности эта техника часто включается в непрерывный процесс для производства керамических и полупроводниковых плёнок.

6 СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

1. Сыркин В.Г. CVD-метод. Химическое парофазное осаждение, М., Наука, 2000

2. Flahaut, E.; Bacsa, R; Peigney, A; Laurent, C (2003). "Gram-Scale CCVD Synthesis of Double-Walled Carbon Nanotubes". Chemical Communications 12 (12): 1442–1443

3. http://datchikisensor.narod.ru/0140.html