Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Нанотехнология

..pdf
Скачиваний:
1
Добавлен:
19.11.2023
Размер:
33.02 Mб
Скачать

2.2. Полевые методы

51

Рис. 2.10. Схема полевого ионного микроскопа: 1 — острие эмиттера; 2 — микроканальная пластина; 3 — люминесцентный экран; 4 — силовые линии поля

и может осуществляться туннелирование электрона, причем вероятность туннелирования имеет вид подобный (2.14). Ширина потенциального барьера уменьшается при уменьшении расстояния атома до поверхно­ сти металла. Это уменьшение вызвано силами зеркального изображения или обменными и корреляционными выражениями, которые могут да­ вать вклад в потенциал. Однако существует кратчайшее расстояние х с, на котором атом все еще может быть ионизован полем, это расстояние определяется условием, чтобы уровень основного состояния атома распо­ лагался над уровнем Ферми металла и туннелировал на свободный уровень металла. При расстояниях меньших металл не может принять электрон, поскольку электронный уровень атома располагается ниже уровня Фер­ ми и переход на занятые уровни невозможен. Величина х с может быть

оценена

исходя из равенства энергий атомного и ионного состояний

eFxc =

Ei - ф,

 

(2.18)

Если взять атом Не в качестве газа изображения, то для поверхности вольфрама получим х с = 4 А при ф = 4,5 эВ, Е( = 24,5 эВ и F = 5 В/ А.

Метод позволяет получать изображения отдельных атомов упоря­ доченной структуры поверхности металла, а также дефекты структуры. На рис. 2.12 показана фотография поверхности платины с дефектом структуры [5].

Необходимо отметить, что поскольку изображения получаются в весь­ ма специфических условиях: бомбардировка поверхности ионами гелия

52

Глава 2. Методы исследования

Рис. 2.11. а) потенциальная энергия свободного атома; б) потенциальная энергия атома в сильном электрическом поле; в) потенциальная энергия атома вблизи по­ верхности металла: ф — работа выхода, Б,- — потенциал ионизации атома, х с — расстояние от плоскости зеркального изображения электрона (в первом приближе­ нии от поверхности), на котором электронный атомный уровень становится равным

уровню Ферми

или другого изображающего газа, высокие электрические поля и тонкие острия с нанометровым радиусом кривизны, происходит быстрое залечи­ вание вакансий, отрыв выступающих атомов и т. д., что приводит к полу­ чению равномерной картины с идеально упорядоченным расположением

54

Глава 2. Методы исследования

изображающих газов дает возможность получения изображений поверхно­ стей легкоплавких металлов Си, Аи, А1. Качественные указания по выбору изображающего газа для металлов дают температуры плавления металлов. Например, металлы с температурой плавления 2 000° С могут изобра­ жаться с помощью Не. Ионы Ne и Аг можно использовать для металлов с температурами плавления 2 000-г 1 000° С и 1 000-г600° С соответственно.

2.3. Сканирующая зондовая микроскопия

Сканирующая зондовая микроскопия включает в себя туннельную и атомно-силовую микроскопию. Эти методы позволяют проводить ис­ следования поверхности на атомном, молекулярном или нанокластерном уровне.

2.3.1. Сканирующая туннельная микроскопия

Сканирующая туннельная микроскопия (СТМ) была разработана Биннигом и Рорером [6], а в 1986 г. им была присуждена Нобелевская премия (см. также [7,8]).

Схема туннельного микроскопа показана на рис. 2.13.

СТМ включает пьезокерамический сканер, меняющий свои геомет­

рические размеры по X T Z -направлениям при наложении электрического

/ --------\

напряжения с туннельным зон­

дом в виде иглы из вольфра­

 

 

ма, платино-иридиевого спла­

 

ва, углерода или других матери­

 

алов. Различные конструкции

 

пьезосканеров позволяют пере­

 

мещать острие зонда на рас­

 

стояния от

долей

нанометра

 

до

микрона.

После

подвода

 

зонда к поверхности на рассто­

 

яние нескольких ангстрем тун­

 

нельный ток принимает значе­

 

ния

порядка наноампера, при

Рис. 2.13. Схема СТМ: 1 — пьезокерамиче­

этом электронная

схема с об­

ратной связью позволяет ста­

ский сканер; 2 — туннельный зонд; 4 — элек­

тронная схема для поддержания напряжения

билизировать эту величину, из­

и туннельного тока между исследуемым об­

меняя напряжение на Z - сек­

разцом (3), зондом и компьютерной системой

ции

пьезосканера, т. е. подни­

регистрации и управления (5)

мая или опуская зонд над по­

 

верхностью образца.

Подавая

линейно изменяющееся во времени напряжение на Х-секцию или Г-сек- цию пьезосканера и измеряя перемещение зонда по вертикали, можно просканировать участок поверхности и получить его топографическое изображение.

2.3. Сканирующая зондовая микроскопия

55

Принцип работы СТМ основан на туннелировании электронов с по­ верхности твердого тела на зонд-острие микроскопа. Атомное и электрон­ ное строение токопроводящих поверхностей исследуется на расстояниях d = 0,5 1,0 нм. На таких расстояниях перекрывание атомных орбиталей острия и поверхности очень мало, так что образуется наноконтакт с про­ водимостью а = d J /d V , определяемой вероятностью туннелирования электронов сквозь потенциальный барьер

D ~ ехр {-2 й у /2 ф },

(2.19)

где ф » V — работа выхода электрона {V — напряжение на зонде) и плотностью электронов проводимости р(Е, г) в точке расположения острия

<T(V) ~

D p(E , R) E(V) = EF -

V,

(2.20)

где E и г — энергия и

координата электрона

соответственно,

R —-

координата острия, Ер — уровень Ферми.

Таким образом, изменение тока, протекающего через контакт при смещении острия по поверхности (при некоторых выбранных значени­ ях V и d), пропорционально изменению электронной плотности р(Е , R), связанной с рельефом поверхности. Для «одноатомных» остриев (когда туннельный ток определяется перекрыванием с поверхностью орбитали одного, ближайшего к поверхности атома) 6J/6R « 1,0 нА/нм. Тако­ го изменения тока достаточно, чтобы, сканируя участок поверхности, получить его токовое изображение с разрешением в доли нанометра. Спектроскопические измерения зависимости а = f(V ) позволяют вос­ становить энергетическое распределение электронов в выбранных точках поверхности.

Необходимо отметить, что формулы (2.19), (2.20) справедливы для упруги* туннельных переходов, т. е. когда энергия электрона не меняется при переходе через через туннельный барьер.

Применение СТМ позволяет проводить исследования отдельных ато­ мов и молекул, нанокластеров, наблюдать процессы перестройки по­ верхности, процессы адсорбции и десорбции на атомно-молекулярном уровне отдельных атомов. СТМ может применяться также для создания искусственных поверхностных структур с помощью перенесения атомов с острия на поверхность.

Кроме электронного распределения СТМ позволяет также измерять колебательные спектры молекул.

Большой интерес представляют эффекты спин-зависящего и не­ упругого туннелирования электронов. Первые связаны с туннельными переходами, вероятность которых зависит от ориентации электронного спина, вторые —- с процессами, в которых туннелирующие электроны обмениваются энергией с электронными и колебательными степенями свободы адсорбированных частиц.

Эти процессы исследуются с помощью вольтамперных характери­ стик —- пороговых и резонансных. Пороговые особенности наблюдаются

56

Глава 2. Методы исследования

-1------------------------

при напряжениях, соответствующих от-

I

 

крытию каналов неупругого туннели­

 

 

рования в процессе повышения напря­

 

 

жения между зондом и поверхностью.

 

 

Читатель может легко себе представить,

 

 

что ниже порога электрон не может не­

 

 

упруго туннелировать, поскольку, по­

 

 

теряв энергию на возбуждение части­

Рис. 2.14. Схема туннельных элек­

цы, находящейся под острием, он об­

ладал бы энергией, меньшей энергии

тронных переходов в

наноконтакте

уровня Ферми, ниже которого все элек­

при напряжениях V

ф\ Je и J, —

тронные состояния заполнены. Энерге­

токи упруго и неупруго туннелирую­

тическая схема, представляющая кана­

щих электронов соответственно

лы упругого и неупругого туннелирова­

 

 

 

 

ния электронов, приведена на рис. 2.14.

При пороговых напряжениях

= ш — энергии возбуждения части­

цы, находящейся под острием СТМ, проводимость туннельных контактов меняется скачкообразно

 

<r(V) ~ V(V - Уш),

(2.21)

где

х > 0;

 

 

 

 

х ^ 0.

 

Величина скачка да(Уш) пропорциональна вероятности возбуждения

поверхностного комплекса

. Резонансные особенности СТМ проявля­

ются при напряжениях, при которых увеличивается ток за счет резонанс­ ного туннелирования.

С использованием пороговых особенностей СТМ исследуются одно­ квантовые колебательные переходы и электронные переходы единичных адсорбированных молекул. Однако вероятность одноквантовых колеба­ тельных переходов невелика и составляет 0,01 -г 0,05.

Более чувствительны методы СТМ с использованием резонансных особенностей к исследованиям многоквантовых и комбинированных ко­ лебательных переходов единичных молекул, адсорбированных на по­ верхности. На рис. 2.15 приведены вольтамперные характеристики ко­ лебательных спектров молекул воды, адсорбированной на поверхности окисленного титана [7].

Отчетливо заметны резонансы, соответствующие одноквантовым

hw1 «

е(Уз - V\)

&

0,5 эВ,

hw2 « e(V2 - Vi) «

0,2 эВ, двухквантовым

Йа;з «

e(Vs —Vi)

«

2hu)\ и

комбинированным

(V4 - Vi) « hw\ + hw2

колебательным переходам молекул воды. Значения квантов hw\ и hw2 близки к известным из ИК спектроскопии значениям квантов валент­ ных и деформационных колебаний молекул воды (/iu;i(HK) = 0,46 эВ, hw2{}\K) = 0,20 эВ), адсорбированных на поверхности окисленного титана. Области поверхности, в которых наблюдались спектры типа,

J, нА

J, нА

2.3. Сканирующая зондовая микроскопия

57

J, нА

Рис. 2.15. Колебательные спект­ ры молекул воды, адсорбирован­ ной при комнатной температуре на поверхности окисленного ти­ тана: а) после очистки поверхно­ сти от адсорбированных молекул; б) для молекул Н20 ; в) для моле­

кул D20

представленного на рис. 2.15 5, имели островковую структуру с разме­ рами островков от 10 до 50 нм. В контрольных экспериментах с тя­ желой водой (D20) были получены аналогичные спектры (рис. 2.15 в), в которых проявлялись резонансы с энергиями hw(D20) « 0,35 эВ, fiu>2(D20) « 0,15 эВ, которые соответствуют ожидаемому изотопическому эффекту Йд;(Н20)/Йд;(020) «

2.3.2. Атомно-силовая и магнитно-силовая микроскопия

Читатель уже убедился, что в СТМ решающее значение для получения атомного разрешения играет экспоненциальная зависимость туннельного тока от расстояния между зондом и поверхностью. В атомно-силовой микроскопии (ACM) такое значение имеет резкая зависимость силы взаимодействия молекул от расстояния между ними R (вандерваальсовы взаимодействия):

С\ Сг

58

Тлава 2. Методы исследования

о)

Фотодиод

о

f = |

7

Т

Рис. 2.16. Схема атомно-силового микроскопа (обозначения в тексте)

где С\, Сг — константы. Первый член в уравнении (2.22) соответ­ ствует короткодействующим си­ лам отталкивания, а второй — си­ лам притяжения. Одним из взаи­ модействующих тел является зонд (игла 1 на плоской пружине 2, но­ сящие название кантилевер), вто­ рым —*исследуемая поверхность 3 (см. рис. 2.16).

Подвод зонда на необходи­ мые расстояния к поверхности и сканирование на ней осуществ­

ляется так

же, как и в СТМ,

с помощью

пьезокерамического

X Y Z -транслятора 6, причем вер­ тикальные перемещения зонда ре­ гистрируются либо с помощью оп­ тической системы, при которой лазерный луч отражается от зер­ кала 4 и попадает на фотодиод 5 (рис. 2.16 а), либо с помощью тун­ нельного зонда 7, смонтирован­ ного над пружиной (рис. 2.16 б)). Работа ACM возможна в двух ре­ жимах.

1. Бесконтактное взаимодействие — силы притяжения зонда к иссле­ дуемой поверхности больше сил отталкивания. С помощью пьезокристал­ ла кантилевер колеблется с частотой, близкой к колебанию пружины vr, и амплитудой 2 нм (расстояние между иглой и поверхностью должно быть больше). В этом случае сила притяжения определяется выражением

dF(R)

„ А и

dR

(2.23)

vT '

где Аи = v - vT — изменение частоты колебаний, вызванное притяже­ нием зонда к поверхности, к —- константа упругости пружины. Величина Д|/ определяется по изменению амплитуды колебаний в процессе скани­ рования иглы по поверхности образца, изображение силы формируется

ввиде зависимости силы от ХГ-координат зонда.

2.Контактное взаимодействие —- на малых расстояниях преобладают силы отталкивания. В простейшем случае зонд действует как граммофон­ ная игла и ее колебания по вертикали отражают рельеф поверхности.

Вдругом варианте игла и пружина колеблются при достаточно большой частоте несколько сотен герц с амплитудой 0,5 -г 2,0 нм. Уменьшение ам­

2.3. Сканирующая зондовая микроскопия

59

плитуды колебаний иглы за счет взаимодействия зонда с шероховатостью поверхности пропорционально высоте ее рельефа.

Магнитно-силовой микроскоп (МСМ) [9] использует кроме вандерваальсовых сил магнитные дипольные силы. При удалении на 10 50 нм на зонд оказывают влияние практически только магнитные си­

лы. В этом случае отклоне­

 

 

ние зонда от прямолинейно­

 

 

го движения связано имен­

 

 

но с магнитным взаимодей­

 

 

ствием (рис. 2.17).

 

 

 

В силу малых размеров

 

 

иглу МСМ можно аппрок­

 

 

симировать магнитным ди­

 

 

полем. Сила F , действую­

 

 

щая на

иглу, определяется

 

 

соотношением

 

 

 

F = m0grad Я ,

(2.24)

Рис. 2.17. Схема

действия магнитно-силового

где то

— магнитный мо­

микроскопа. Стрелки показывают ориентацию

магнитных доменов на поверхности образца

мент иглы, Я — напряжен­

 

 

ность магнитного поля.

 

 

Магнитный кластер на поверхности будет создавать вокруг себя

магнитное поле, напряженность которого на расстоянии R от него равна

 

 

 

Зг(гш) - т

(2.25)

 

 

H(R) =

 

 

 

W

где г — единичный радиус-вектор вдоль выбранного направления, т — магнитный момент кластера. Таким образом, сила взаимодействия между иглой МСМ и магнитным кластером равна

З(гга)2 - ш то ]

F = grad

(2.26)

R 3

У

Для дипольных моментов по оси z сила взаимодействия между иглой и кластером равна Fz = - 6 m0m /z4, а величина градиента силового поля dF/dz = 24m0m /z4.

Например, для двух кластеров железа диаметром 10 нм (то = т ~ 9* 10~29 А-м2), расположенных на расстоянии 10 нм, значение магнитной силы взаимодействия составляет ~4,9 • 10-11 Н, а градиент силы — ~ 1,9 • 10-2 Н/м. Такие величины и регистрирует МСМ. Чувствительность по магнитному потоку составляет 10“4 Тл.

Схема механической системы МСМ показана на рис. 2.18. Кантилевер размещается над образцом, при этом, магнитная сила F ,

действующая на образец, приводит к изгибу кантилевера и вертикаль­ ному перемещению иглы. В соответствии с законом Гука это перемеще­ ние определяется механической жесткостью кантилевера со значениями

60

1лава 2. Методы исследования

Рис. 2.18. Схема механической системы МСМ (а), игла кантилевера с ферромагнит­ ным покрытием (б), траектория движения микроострия (в), а) 1 — датчик малых перемещений; 2 — фотодетектор; 3 — лазер; 4 — кантилевер; 5 — образец; 6 — пьезосканер; в) 1 — траектория при регистрации профиля поверхности; 2 — траек­ тория при записи магнитного профиля; 3 — отклонение от выбранной траектории

в результате взаимодействия микроострия с магнитным доменом образца

0,1 -г 10 нм” 1. Изгиб кантилевера фиксируется с помощью датчика малых перемещений. Наиболее распространенный оптический датчик регистри­ рует угловые перемещения светового луча, отраженного от поверхности кантилевера, а измененное положение отраженного луча, свидетельству­ ющее об изгибе кантилевера, определяется с помощью двухсекционного фотодетектора по разностной схеме. Результаты измерений после компью­ терной обработки представляют трехмерное изображение поверхности.

При сканировании поверхности с находящимися на ней частицами необходимо отделить отделить геометрический фактор рельефа от магнит­ ного. Для этого во время сканирования зонд проходит по одному и тому же месту дважды. Первый раз он движется по поверхности образца в контакте ней, при этом запоминается траектория его движения. Второй раз игла проходит по запомненной траектории над тем же участком поверхности, не соприкасаясь с ней. При повторном движении на зонд действуют уже не контактные силы, а дальнодействующие. Отклонение зонда от заранее обусловленной траектории будет определяться магнитными свойствами поверхности (рис. 2.18 в).

МСМ примеряется для исследования тонких пленок, нанокласте­ ров, нанокомпозитов и наноструктур, магнитных носителей информации, используется при оптимизации магнитной записи. Метод позволяет уви­ деть отдельные магнитные области и домены с размерами от нескольких единиц до нескольких десятков нанометров.

2.4. Рентгеновская спектроскопия и дифракция

Рентгеновское излучение может взаимодействовать с веществом за счет упругих и неупругих процессов. Упругое (без потери энергии), ко-

Соседние файлы в папке книги