книги / Нанотехнология
..pdf2.2. Полевые методы |
51 |
Рис. 2.10. Схема полевого ионного микроскопа: 1 — острие эмиттера; 2 — микроканальная пластина; 3 — люминесцентный экран; 4 — силовые линии поля
и может осуществляться туннелирование электрона, причем вероятность туннелирования имеет вид подобный (2.14). Ширина потенциального барьера уменьшается при уменьшении расстояния атома до поверхно сти металла. Это уменьшение вызвано силами зеркального изображения или обменными и корреляционными выражениями, которые могут да вать вклад в потенциал. Однако существует кратчайшее расстояние х с, на котором атом все еще может быть ионизован полем, это расстояние определяется условием, чтобы уровень основного состояния атома распо лагался над уровнем Ферми металла и туннелировал на свободный уровень металла. При расстояниях меньших металл не может принять электрон, поскольку электронный уровень атома располагается ниже уровня Фер ми и переход на занятые уровни невозможен. Величина х с может быть
оценена |
исходя из равенства энергий атомного и ионного состояний |
eFxc = |
Ei - ф, |
|
(2.18) |
Если взять атом Не в качестве газа изображения, то для поверхности вольфрама получим х с = 4 А при ф = 4,5 эВ, Е( = 24,5 эВ и F = 5 В/ А.
Метод позволяет получать изображения отдельных атомов упоря доченной структуры поверхности металла, а также дефекты структуры. На рис. 2.12 показана фотография поверхности платины с дефектом структуры [5].
Необходимо отметить, что поскольку изображения получаются в весь ма специфических условиях: бомбардировка поверхности ионами гелия
52 |
Глава 2. Методы исследования |
Рис. 2.11. а) потенциальная энергия свободного атома; б) потенциальная энергия атома в сильном электрическом поле; в) потенциальная энергия атома вблизи по верхности металла: ф — работа выхода, Б,- — потенциал ионизации атома, х с — расстояние от плоскости зеркального изображения электрона (в первом приближе нии от поверхности), на котором электронный атомный уровень становится равным
уровню Ферми
или другого изображающего газа, высокие электрические поля и тонкие острия с нанометровым радиусом кривизны, происходит быстрое залечи вание вакансий, отрыв выступающих атомов и т. д., что приводит к полу чению равномерной картины с идеально упорядоченным расположением
54 |
Глава 2. Методы исследования |
изображающих газов дает возможность получения изображений поверхно стей легкоплавких металлов Си, Аи, А1. Качественные указания по выбору изображающего газа для металлов дают температуры плавления металлов. Например, металлы с температурой плавления 2 000° С могут изобра жаться с помощью Не. Ионы Ne и Аг можно использовать для металлов с температурами плавления 2 000-г 1 000° С и 1 000-г600° С соответственно.
2.3. Сканирующая зондовая микроскопия
Сканирующая зондовая микроскопия включает в себя туннельную и атомно-силовую микроскопию. Эти методы позволяют проводить ис следования поверхности на атомном, молекулярном или нанокластерном уровне.
2.3.1. Сканирующая туннельная микроскопия
Сканирующая туннельная микроскопия (СТМ) была разработана Биннигом и Рорером [6], а в 1986 г. им была присуждена Нобелевская премия (см. также [7,8]).
Схема туннельного микроскопа показана на рис. 2.13.
СТМ включает пьезокерамический сканер, меняющий свои геомет
рические размеры по X T Z -направлениям при наложении электрического |
||||||
/ --------\ |
напряжения с туннельным зон |
|||||
дом в виде иглы из вольфра |
||||||
|
||||||
|
ма, платино-иридиевого спла |
|||||
|
ва, углерода или других матери |
|||||
|
алов. Различные конструкции |
|||||
|
пьезосканеров позволяют пере |
|||||
|
мещать острие зонда на рас |
|||||
|
стояния от |
долей |
нанометра |
|||
|
до |
микрона. |
После |
подвода |
||
|
зонда к поверхности на рассто |
|||||
|
яние нескольких ангстрем тун |
|||||
|
нельный ток принимает значе |
|||||
|
ния |
порядка наноампера, при |
||||
Рис. 2.13. Схема СТМ: 1 — пьезокерамиче |
этом электронная |
схема с об |
||||
ратной связью позволяет ста |
||||||
ский сканер; 2 — туннельный зонд; 4 — элек |
||||||
тронная схема для поддержания напряжения |
билизировать эту величину, из |
|||||
и туннельного тока между исследуемым об |
меняя напряжение на Z - сек |
|||||
разцом (3), зондом и компьютерной системой |
ции |
пьезосканера, т. е. подни |
||||
регистрации и управления (5) |
мая или опуская зонд над по |
|||||
|
верхностью образца. |
Подавая |
линейно изменяющееся во времени напряжение на Х-секцию или Г-сек- цию пьезосканера и измеряя перемещение зонда по вертикали, можно просканировать участок поверхности и получить его топографическое изображение.
2.3. Сканирующая зондовая микроскопия |
55 |
Принцип работы СТМ основан на туннелировании электронов с по верхности твердого тела на зонд-острие микроскопа. Атомное и электрон ное строение токопроводящих поверхностей исследуется на расстояниях d = 0,5 -г 1,0 нм. На таких расстояниях перекрывание атомных орбиталей острия и поверхности очень мало, так что образуется наноконтакт с про водимостью а = d J /d V , определяемой вероятностью туннелирования электронов сквозь потенциальный барьер
D ~ ехр {-2 й у /2 ф }, |
(2.19) |
где ф » V — работа выхода электрона {V — напряжение на зонде) и плотностью электронов проводимости р(Е, г) в точке расположения острия
<T(V) ~ |
D p(E , R) E(V) = EF - |
V, |
(2.20) |
где E и г — энергия и |
координата электрона |
соответственно, |
R —- |
координата острия, Ер — уровень Ферми.
Таким образом, изменение тока, протекающего через контакт при смещении острия по поверхности (при некоторых выбранных значени ях V и d), пропорционально изменению электронной плотности р(Е , R), связанной с рельефом поверхности. Для «одноатомных» остриев (когда туннельный ток определяется перекрыванием с поверхностью орбитали одного, ближайшего к поверхности атома) 6J/6R « 1,0 нА/нм. Тако го изменения тока достаточно, чтобы, сканируя участок поверхности, получить его токовое изображение с разрешением в доли нанометра. Спектроскопические измерения зависимости а = f(V ) позволяют вос становить энергетическое распределение электронов в выбранных точках поверхности.
Необходимо отметить, что формулы (2.19), (2.20) справедливы для упруги* туннельных переходов, т. е. когда энергия электрона не меняется при переходе через через туннельный барьер.
Применение СТМ позволяет проводить исследования отдельных ато мов и молекул, нанокластеров, наблюдать процессы перестройки по верхности, процессы адсорбции и десорбции на атомно-молекулярном уровне отдельных атомов. СТМ может применяться также для создания искусственных поверхностных структур с помощью перенесения атомов с острия на поверхность.
Кроме электронного распределения СТМ позволяет также измерять колебательные спектры молекул.
Большой интерес представляют эффекты спин-зависящего и не упругого туннелирования электронов. Первые связаны с туннельными переходами, вероятность которых зависит от ориентации электронного спина, вторые —- с процессами, в которых туннелирующие электроны обмениваются энергией с электронными и колебательными степенями свободы адсорбированных частиц.
Эти процессы исследуются с помощью вольтамперных характери стик —- пороговых и резонансных. Пороговые особенности наблюдаются
56 |
Глава 2. Методы исследования |
||
-1------------------------ |
при напряжениях, соответствующих от- |
||
I |
|
крытию каналов неупругого туннели |
|
|
|
рования в процессе повышения напря |
|
|
|
жения между зондом и поверхностью. |
|
|
|
Читатель может легко себе представить, |
|
|
|
что ниже порога электрон не может не |
|
|
|
упруго туннелировать, поскольку, по |
|
|
|
теряв энергию на возбуждение части |
|
Рис. 2.14. Схема туннельных элек |
цы, находящейся под острием, он об |
||
ладал бы энергией, меньшей энергии |
|||
тронных переходов в |
наноконтакте |
уровня Ферми, ниже которого все элек |
|
при напряжениях V |
ф\ Je и J, — |
тронные состояния заполнены. Энерге |
|
токи упруго и неупруго туннелирую |
|||
тическая схема, представляющая кана |
|||
щих электронов соответственно |
|||
лы упругого и неупругого туннелирова |
|||
|
|
||
|
|
ния электронов, приведена на рис. 2.14. |
|
При пороговых напряжениях |
= ш — энергии возбуждения части |
цы, находящейся под острием СТМ, проводимость туннельных контактов меняется скачкообразно
|
<r(V) ~ V(V - Уш), |
(2.21) |
где |
х > 0; |
|
|
|
|
|
х ^ 0. |
|
Величина скачка да(Уш) пропорциональна вероятности возбуждения |
||
поверхностного комплекса |
. Резонансные особенности СТМ проявля |
ются при напряжениях, при которых увеличивается ток за счет резонанс ного туннелирования.
С использованием пороговых особенностей СТМ исследуются одно квантовые колебательные переходы и электронные переходы единичных адсорбированных молекул. Однако вероятность одноквантовых колеба тельных переходов невелика и составляет 0,01 -г 0,05.
Более чувствительны методы СТМ с использованием резонансных особенностей к исследованиям многоквантовых и комбинированных ко лебательных переходов единичных молекул, адсорбированных на по верхности. На рис. 2.15 приведены вольтамперные характеристики ко лебательных спектров молекул воды, адсорбированной на поверхности окисленного титана [7].
Отчетливо заметны резонансы, соответствующие одноквантовым
hw1 « |
е(Уз - V\) |
& |
0,5 эВ, |
hw2 « e(V2 - Vi) « |
0,2 эВ, двухквантовым |
Йа;з « |
e(Vs —Vi) |
« |
2hu)\ и |
комбинированным |
(V4 - Vi) « hw\ + hw2 |
колебательным переходам молекул воды. Значения квантов hw\ и hw2 близки к известным из ИК спектроскопии значениям квантов валент ных и деформационных колебаний молекул воды (/iu;i(HK) = 0,46 эВ, hw2{}\K) = 0,20 эВ), адсорбированных на поверхности окисленного титана. Области поверхности, в которых наблюдались спектры типа,
J, нА
J, нА
2.3. Сканирующая зондовая микроскопия |
57 |
J, нА
Рис. 2.15. Колебательные спект ры молекул воды, адсорбирован ной при комнатной температуре на поверхности окисленного ти тана: а) после очистки поверхно сти от адсорбированных молекул; б) для молекул Н20 ; в) для моле
кул D20
представленного на рис. 2.15 5, имели островковую структуру с разме рами островков от 10 до 50 нм. В контрольных экспериментах с тя желой водой (D20) были получены аналогичные спектры (рис. 2.15 в), в которых проявлялись резонансы с энергиями hw(D20) « 0,35 эВ, fiu>2(D20) « 0,15 эВ, которые соответствуют ожидаемому изотопическому эффекту Йд;(Н20)/Йд;(020) «
2.3.2. Атомно-силовая и магнитно-силовая микроскопия
Читатель уже убедился, что в СТМ решающее значение для получения атомного разрешения играет экспоненциальная зависимость туннельного тока от расстояния между зондом и поверхностью. В атомно-силовой микроскопии (ACM) такое значение имеет резкая зависимость силы взаимодействия молекул от расстояния между ними R (вандерваальсовы взаимодействия):
С\ Сг
58 |
Тлава 2. Методы исследования |
о)
Фотодиод
о |
f = | |
7
Т
Рис. 2.16. Схема атомно-силового микроскопа (обозначения в тексте)
где С\, Сг — константы. Первый член в уравнении (2.22) соответ ствует короткодействующим си лам отталкивания, а второй — си лам притяжения. Одним из взаи модействующих тел является зонд (игла 1 на плоской пружине 2, но сящие название кантилевер), вто рым —*исследуемая поверхность 3 (см. рис. 2.16).
Подвод зонда на необходи мые расстояния к поверхности и сканирование на ней осуществ
ляется так |
же, как и в СТМ, |
с помощью |
пьезокерамического |
X Y Z -транслятора 6, причем вер тикальные перемещения зонда ре гистрируются либо с помощью оп тической системы, при которой лазерный луч отражается от зер кала 4 и попадает на фотодиод 5 (рис. 2.16 а), либо с помощью тун нельного зонда 7, смонтирован ного над пружиной (рис. 2.16 б)). Работа ACM возможна в двух ре жимах.
1. Бесконтактное взаимодействие — силы притяжения зонда к иссле дуемой поверхности больше сил отталкивания. С помощью пьезокристал ла кантилевер колеблется с частотой, близкой к колебанию пружины vr, и амплитудой 2 нм (расстояние между иглой и поверхностью должно быть больше). В этом случае сила притяжения определяется выражением
dF(R) |
„ А и |
dR |
(2.23) |
vT ' |
где Аи = v - vT — изменение частоты колебаний, вызванное притяже нием зонда к поверхности, к —- константа упругости пружины. Величина Д|/ определяется по изменению амплитуды колебаний в процессе скани рования иглы по поверхности образца, изображение силы формируется
ввиде зависимости силы от ХГ-координат зонда.
2.Контактное взаимодействие —- на малых расстояниях преобладают силы отталкивания. В простейшем случае зонд действует как граммофон ная игла и ее колебания по вертикали отражают рельеф поверхности.
Вдругом варианте игла и пружина колеблются при достаточно большой частоте несколько сотен герц с амплитудой 0,5 -г 2,0 нм. Уменьшение ам
2.3. Сканирующая зондовая микроскопия |
59 |
плитуды колебаний иглы за счет взаимодействия зонда с шероховатостью поверхности пропорционально высоте ее рельефа.
Магнитно-силовой микроскоп (МСМ) [9] использует кроме вандерваальсовых сил магнитные дипольные силы. При удалении на 10 50 нм на зонд оказывают влияние практически только магнитные си
лы. В этом случае отклоне |
|
|
||
ние зонда от прямолинейно |
|
|
||
го движения связано имен |
|
|
||
но с магнитным взаимодей |
|
|
||
ствием (рис. 2.17). |
|
|
|
|
В силу малых размеров |
|
|
||
иглу МСМ можно аппрок |
|
|
||
симировать магнитным ди |
|
|
||
полем. Сила F , действую |
|
|
||
щая на |
иглу, определяется |
|
|
|
соотношением |
|
|
|
|
F = m0grad Я , |
(2.24) |
Рис. 2.17. Схема |
действия магнитно-силового |
|
где то |
— магнитный мо |
микроскопа. Стрелки показывают ориентацию |
||
магнитных доменов на поверхности образца |
||||
мент иглы, Я — напряжен |
|
|
||
ность магнитного поля. |
|
|
||
Магнитный кластер на поверхности будет создавать вокруг себя |
||||
магнитное поле, напряженность которого на расстоянии R от него равна |
||||
|
|
|
Зг(гш) - т |
(2.25) |
|
|
H(R) = |
||
|
|
|
W |
’ |
где г — единичный радиус-вектор вдоль выбранного направления, т — магнитный момент кластера. Таким образом, сила взаимодействия между иглой МСМ и магнитным кластером равна
З(гга)2 - ш то ]
F = grad |
(2.26) |
R 3 |
У |
Для дипольных моментов по оси z сила взаимодействия между иглой и кластером равна Fz = - 6 m0m /z4, а величина градиента силового поля dF/dz = 24m0m /z4.
Например, для двух кластеров железа диаметром 10 нм (то = т ~ 9* 10~29 А-м2), расположенных на расстоянии 10 нм, значение магнитной силы взаимодействия составляет ~4,9 • 10-11 Н, а градиент силы — ~ 1,9 • 10-2 Н/м. Такие величины и регистрирует МСМ. Чувствительность по магнитному потоку составляет 10“4 Тл.
Схема механической системы МСМ показана на рис. 2.18. Кантилевер размещается над образцом, при этом, магнитная сила F ,
действующая на образец, приводит к изгибу кантилевера и вертикаль ному перемещению иглы. В соответствии с законом Гука это перемеще ние определяется механической жесткостью кантилевера со значениями
60 |
1лава 2. Методы исследования |
Рис. 2.18. Схема механической системы МСМ (а), игла кантилевера с ферромагнит ным покрытием (б), траектория движения микроострия (в), а) 1 — датчик малых перемещений; 2 — фотодетектор; 3 — лазер; 4 — кантилевер; 5 — образец; 6 — пьезосканер; в) 1 — траектория при регистрации профиля поверхности; 2 — траек тория при записи магнитного профиля; 3 — отклонение от выбранной траектории
в результате взаимодействия микроострия с магнитным доменом образца
0,1 -г 10 нм” 1. Изгиб кантилевера фиксируется с помощью датчика малых перемещений. Наиболее распространенный оптический датчик регистри рует угловые перемещения светового луча, отраженного от поверхности кантилевера, а измененное положение отраженного луча, свидетельству ющее об изгибе кантилевера, определяется с помощью двухсекционного фотодетектора по разностной схеме. Результаты измерений после компью терной обработки представляют трехмерное изображение поверхности.
При сканировании поверхности с находящимися на ней частицами необходимо отделить отделить геометрический фактор рельефа от магнит ного. Для этого во время сканирования зонд проходит по одному и тому же месту дважды. Первый раз он движется по поверхности образца в контакте ней, при этом запоминается траектория его движения. Второй раз игла проходит по запомненной траектории над тем же участком поверхности, не соприкасаясь с ней. При повторном движении на зонд действуют уже не контактные силы, а дальнодействующие. Отклонение зонда от заранее обусловленной траектории будет определяться магнитными свойствами поверхности (рис. 2.18 в).
МСМ примеряется для исследования тонких пленок, нанокласте ров, нанокомпозитов и наноструктур, магнитных носителей информации, используется при оптимизации магнитной записи. Метод позволяет уви деть отдельные магнитные области и домены с размерами от нескольких единиц до нескольких десятков нанометров.
2.4. Рентгеновская спектроскопия и дифракция
Рентгеновское излучение может взаимодействовать с веществом за счет упругих и неупругих процессов. Упругое (без потери энергии), ко-