Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Арсенид галлия. Получение, свойства и применение

.pdf
Скачиваний:
103
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
18.36 Mб
Скачать

8.3]

Ф О Т О Э Л Е К Т Р И Ч Е С К И Е

С В О Й С Т В А

411

 

Спектральное распределение

фоточувствительности

р—«-переходов в GaAs исследовалось также и при больших энергиях [232—234]. В работе [232] исследовались при комнатной температуре р—«-переходы, освещаемые с р-сторопы. Наблюдавшееся при этом сильное (примерно в 3 раза) увеличение фоточувствнтельности, начинающееся при / ш = 3 эв с последующим спадом после оо4,3 эв, свя­ зывалось с изменением времени жизни неосновных носи­ телей — электронов, созданных светом с Тш=3—4 эв. Такое изменепие может вызываться рассеянием этих

электронов

в минимум зоны

проводимости, лежащей

в точке X

зоны Бриллюэна

[233].

В работе [234] аналогичные измерения были проведены как иа образцах, освещаемых с р-стороны, так п па образ­ цах, освещаемых с «-стороны, при различных температу­ рах (рпс. 8.32). В области энергий фотонов /ш ^> 3 эв спектральное распределение фототока в расчете на один поглощенный фотон для образцов обоих типов было по­ добно. Начиная примерно с / ш = 3 , 2 эв (при комнатной температуре) наблюдается небольшой рост фоточувстви­ тельности, прекращающийся при Й(о»4,3 эв. Второй рост фоточувствительностп начинается при Тга 5 эв. Подобие спектров фоточувствительиости для образцов, освещаемых

с р-стороны (фототок определяется при / ш ^

3 эв электро­

нами из р-областн, так как из-за высокого

коэффициента

поглощения свет в гг-область не проходит) и с ?1-стороны (фототок определяется дырками из ?г-областп), показывает, что указанные особенности спектров не связаны с измене­ нием времени жизии и подвижности неосновных носителей из-за генерации их светом в различных частях энергети­ ческих зон. В этих условиях естественно предположить, что указанная структура определяется изменением кван­ тового выхода внутреннего фотоэффекта вследствие удар­ ной ионизации носителями, получившими высокую энер­ гию при поглощении фотонов с /г со ^> 3 эв. Начало роста при Ясоя^З,2 эв и дальнейшее изменение квантового выхода можно качественно объяснить, пеходя из зонной струк­ туры арсенида галлия на основе следующих предположе­ ний относительно процесса ударной поинзацни образовав­ шимися в результате этого поглощения носителями тока.

1. Вероятность ударной ионизации носителем тока, имеющим энергию выше пороговой, достаточно высока,

Q

Рпс. 8.32. Спектральное распределение эффективного квантового выхода р—п-переходов^в GaAs при апергнях фотопов до 5,4 ов. а) p-n-переход, освещаемый с р-стороны; б) р-н-переход, освещаемый с п-сто- роны.

8.3] Ф О Т О Э Л Е К Т Р И Ч Е С К И Е С В О Й С Т В А 413

чтобы можно было считать, что заметное число таких носи­ телей производит ионизацию непосредственно из того состояния, куда они переводятся квантами света.

2. Ударная ионизация происходит без участия фонопов; это накладывает определенные ограничения на на­ чальные и конечные состояния участвующих в ионизации частиц, связанные с требованием сохранения квазипмпульса и энергии.

Если учесть, что поглощение фотонов с энергией /ico ^> &g в арсениде галлпя происходит в основном за счет

с,3d

а)

4

Рдс. 8.33. Схемы возможных переходов при поглощенпп фотона п ударной ионизации без участия фононов в структуре энергети­ ческих зон арсенида галлпя.

прямых оптпческих переходов (гл. 3), то, как видно из рассмотрения зонной структуры арсенида галлпя, мини­ мальная энергия фотонов, в результате поглощения кото­ рых создаются электроны, способные ударно ионизовать, равна примерно 3,2 эв [234]. Оптические переходы такого типа показаны на рис. 8.33 (переходы / ) . На этом же

рисунке

стрелками показаны переходы электронов при

ударной

ионизации.

Новый'

рост

фоточувствптельности

при 7ш-яь5 эв

может

быть связан

с ударной ионизацией

дырками,

образующимися за

счет оптических переходов

типа I I

u III

(рис.

8.33).

 

 

414

Э Л Е К Т Р О Н Н О - Д Ы Р О Ч Н Ы Е П Е Р Е Х О Д Ы

[ГЛ . 8

Следует отметить, что при энергии фотонов (~3,2 эв), соответствующей началу роста квантового выхода, почти вся избыточная энергия фотона переходит к электрону. Следовательно, пороговая энергия ионизации для электро­ нов в арсениде галлия должна быть не более чем 1,7— 1,8 эв, что хорошо согласуется с результатами определения пороговой энергии из умножения электронов [214].

8-3.5. Особенности фотоэффекта вблпзп края

основной

полосы поглощения. При подаче на р—га-переход

в GaAs

обратного напряжения длинноволновый край фотоэффекта сдвигается в сторону меньших энергий фотонов н несколько видоизменяется. Прп этом фоточувствитель­ ность в области длинноволнового края может увеличи­ ваться более чем в 10раз [105, 235, 230]. Это увеличение не может быть объяснено просто увеличением эффективной области разделения носителей тока вследствие расширения слоя объемного заряда, а является следствием изменения коэффициента фотоактпвиого поглощения в слое объем­ ного заряда при пзменеппп электрического поля. В этом случае, в силу слабого поглощения света в переднем слое п сравнительно больших коэффициентов поглощения в слое объемного заряда при больших обратных смещениях, заметная часть пар генерируется светом в слое объемного заряда, который дает существенный вклад в фототок. Поэтому при рассмотрении изменения длинноволнового края фотоэффекта из-за изменения напряжения на р—га-переходе необходимо пользоваться выражением для фоточувствптельпости к монохроматическому свету вида выражения (8.18). В этом случае при достаточно слабом

логлощенип

(KLn

<g! 1,

KLP<^

1, Kl<^

1, Kww

<^!l) изме­

нение эффективного квантового выхода р—га-перехода

при

подаче

обратного

напряжения

можно представить в

виде

 

 

=

л

 

л '

 

w

 

 

+

 

 

 

 

 

 

 

-д) = b!'AK(МУ

 

 

 

 

А<2

W

е

 

/ф(1

 

w д

 

d x

 

VKA'W

=

 

 

 

 

 

 

 

 

- J

wi)dx + $Kb?w.

(8.21)

Здесь

АКщ — изменение

коэффициента

фотоактпвиого

(т. е. создающего свободные

носители тока) поглощения ,

в слое

объемного заряда

при обратном

напряжении,

S.3]

 

 

Ф О Т О Э Л Е К Т Р И Ч Е С К И Е

С В О Й С Т В А

415

A'w

^

Aw,

где Aw — изменение ширины слоя

объемного

заряда

(w=w0-\-Aw).

Относительное

изменение

пропуска­

ния

света

образцом

в этом

случае

 

 

 

 

 

- JAKwdx

) ~ j AKwdx,

(8.22)

где

AKW

— изменение

полного

коэффициента поглощения

в слое объемного заряда при подаче обратного напряже­ ния. На длинноволновом крае собственного фотоэффекта

Щ

1,52

1,36

Ряс. 8.34.

Изменение длинноволнового края спектральной характе­

ристики

р—«-перехода

в GaAs

при обратном

смещении.

1 -

Q(C7=0); 2 — Q ( U = 1 0 я); 3

Q (17=0) + Д Н

.

поглощение

слабое,

и при достаточно высоких

полях

в слое объемного

заряда

fiKA'w [ AKwildx.

Поэтому

 

 

 

 

6

 

 

 

 

 

 

W

 

 

 

'

AQ (U) ~

f АКифйх.

(8.23)

 

 

 

 

о

 

 

Однако

сопоставление

• изменения

пропускания

AH(U)/H(0)

и изменения

фоточувствительности

AQ(U),

проведенное в работе

[105] (рис. 8.34), показало, что

ниже

416

Э Л Е К Т Р О Н Н О - Д Ы Р О Ч Н Ы Е П Е Р Е Х О Д Ы

[ГЛ. S

некоторой энергии фотонов

AQ (U)> AH(U)П(0)

Таким образом, изменение фоточувствптельиостп в силу эффекта Келдыша — Фрапца, которое полностью опреде­ ляется АКШ [105], составляет лишь часть полного измене­ ния фоточувствительиости при приложении обратного смещения. Для объяснения механизма этого явления было предположено, что часть поглощения, нанес бывшая нефотоактнвпой, при увеличении напряжеппости электри­ ческого поля в слое объемного заряда р — /г-перехода становится фотоактпвной. Этот эффект может осуществ­ ляться в случае оптического поглощения за счет межпрнмесных переходов электронов с заполненного уровня, расположенного у валентной зопы, па свободный уровень вблизи зоны проводимости. Подобные переходы не дают свободных носителей и потому поглощение пефотоактивио. Вклад в стационарный фотоэффект не дают также переходы примесный уровень — зона, если прп этом ие создаются пары свободных носителей тока. В сильном электрическом поле носители тока, заброшенные па примесный уровень светом, благодаря туннельному эффекту пли просто пони­ жению потенциального барьера примесного центра могут быть -выброшены с него в соответствующую зону и дадут вклад фотоэффект. Описанная ситуация может иметь место >в слое объемного заряда р -перехода, где уровень Ферми расположен далеко от краев зон, и'потому верхние уровни пусты, а нижние всегда заполнены, и прп обратном смещении существует достаточно сильное электрическое

поле. С увеличением поля разница AQ> (и) — ^ '

должна вначале быстро увеличиваться, а затем оставаться постоянной, когда вероятность выбрасывания с уровня приблизится к единице. Это и наблюдалось иа опыте [105]. Коэффициент поглощения, вызванный межпрггаеснымн переходами при концентрации прпмеспых центров по­ рядка 101 7 может достигать 102 см _ I [237]. Эта величина по порядку согласуется с величинами, оцененными по из­ менениям фоточувствительности (на основапии формулы (8.23)) при электрических полях более 105 в/см в слое

8.3] Ф О Т О Э Л Е К Т Р И Ч Е С К И Е С В О Й С Т В А 417

объемиого заряда. Таким образом, изменение фотоактивиого поглощения вблизи края основной полосы в слое объемного заряда р—«-переходов GaAs при обратном смещении обусловлено, по-видимому, двумя механизмами:

1) сдвигом длинноволнового края собственного погло­ щения в электрическом поле (эффект Келдыша—Франца (см. гл. 3));

2) туннельным перебросом в зону неравновесных носителей, возбужденных светом, на мелкие примесные центры.

Следует отметить, что второй эффект очень похож на первый. Разница заключается лишь, в том, что в этом случае промежуточные состояния, на которые возбуж­ даются носители светом, не являются виртуальными и

существуют и без

электрического

поля.

р—п-пе-

8.3.6. Кинетика

собственного фотоэффекта в

реходах.

Кинетика

фотоэффекта

в р—«-переходах в

GaAs в

настоящее

время исследована мало.

Как

известно из общей теории [М38], инерционность фотоэле­ ментов в режиме фотодиода в предельном случае опре­ деляется временем диффузии неосновных носителей к р—га-переходу t0=l2/2D. (В достаточно чувствительных фотоэлементах t0<^ т.) Поскольку время жизни неоснов­ ных носителей в р7г-переходах в GaAs т может достигать

10~°—10~10

сек, . правильпо

сконструированные

фото­

детекторы с р—«-переходом

должны быть весьма

мало­

инерционными.

 

 

Однако релаксация фотосигиала экспериментально ис­ следована только в фотодиодном режиме с высоким сопро­ тивлением нагрузки и в режиме вентильной фото-э.д.с. В условиях экспериментов сопротивление нагрузки фото­ диода г и его внутреннее сопротивление в нуле напряже­

ния ?'о значительно

превышали величину т/С, где

С —

емкость р—«-перехода

[14]. Характер релаксации

фото-

э.д.с. и фотодиодиого напряжения в этих случаях соответ­ ствовал теоретическим представлениям [М38] и опреде­

лялся зарядом и разрядом емкости

р—«-перехода.

8.3.7. Примесной фотоэффект в р—«-переходах.

Появ­

ление фото-э.д.с. на р—«-переходе

возможно

и в

области

энергий фотонов /г со < Eg, если

при

этом

происходит

генерация свободных неравновесных носителей, например за счет возбуждения их с уровней, вводимых примесями

27 А р с е н и д г а л л н я

418 Э Л Е К Т Р О Н Н О - Д Ы Р О Ч Н Ы Е П Е Р Е Х О Д Ы [ГЛ. 8

в запрещенную зону [М38] . При этом может наблюдаться как стационарная, так и нестационарная фото-э.д.с, возникающая только в моменты включения и выключения света. Первая связана с генерацией неосновных носителей тока. Вторая возникает при геиерацип основных носите­ лей и обусловлена различными временами установления фото-э.д.с. в различных частях р—«-перехода. Поскольку относительное количество генерируемых светом основных п неосновных носителей зависит от энергии фотона, спект­ ральное распределение стационарной и нестационарной фото-э.д.с. различны. Примером стационарной фото-э.д.с, связанной с примесным возбуждением в />—«-переходах в GaAs, является фото-э.д.с. в области ступеньки иа длин­ новолновом крае фоточувствительности (ool,3G эв при комнатной температуре). Однако в ряде случаев в р—«-пе­ реходах в GaAs с большой концентрацией примесей, дающих глубокие уровни, наблюдалась фоточувствительиость, про­ стирающаяся до энергий фотонов менее г8/2 1238]. При этом наблюдалась как стационарная, так и нестационар­ ная фото-э.д.с. с относптельио большой постоянной времени релаксации 1 — 2 м с е к прп температуре ~ 9 0 ° К. На рпс. 8.35 представлены спектры фото-э.д.с. одного из таких р—«-переходов при освещении непрерываемым светом и прямоугольными световыми импульсами длительностью - о 2 , 5 мсек с частотой повторения ^200гц . В первом случае возникает только стационарная фото-э.д.с, во втором — вместе со стационарной возникает и регистрируется и иестацпонарная фото-э.д.с. С этим и связаны различия в спектрах п величине фоточувствительности при различ­ ных способах освещения. На кривой фоточувствитель­ ности, простирающейся далеко в область /ico <^ sg, при низкой температуре отчетливо видны несколько ступенек, по началу которых можно определить энергетическое положение примесных уровней, с которых происходит возбуждение неравновесных носителей, обусловливающих фото-э.д.с. Большинство этих уровней можно связать с присутствием в образце наиболее часто встречающихся

технологических примесей:

меди, кислорода и железа

(см. гл. 1). Стационарная

фото-э.д.с. и, следовательно,

генерация неосновных носителей наблюдались только при

/ ш > ге/2,

тогда как нестационарная фото-э.д.с. (при

90° К) имела

заметную величину и при 7ш

eg /2. Гене-

S.3]

Ф О Т О Э Л Е К Т Р И Ч Е С К И Е С В О Й С Т В А

419

рация основных носителей, обеспечивающая нестационар­ ную фото-э.д.с., легко осуществляется за счет одноступен­ чатых оптических переходов при всех энергиях фотонов как в «-области (за счет переходов электронов с примес­ ных уровней, лежащих ниже уровня Ферми, в зону про­ водимости), так и в р-области (за счет переходов из валент­ ной зоны на примесные уровни, лежащие выше уровня

 

 

 

"I

i

и

 

,

 

 

I

 

 

 

ОМ

0,60

0,80

1,00

1,20

Ш

 

Рис.

8.35.

Спектральное

распределение

фоточувствительности

р— л-перехода,

полученного

диффузией

серы в области

энергий

 

 

 

 

 

фоТОИОВ

h(a<Bg.

 

 

 

 

1 и 2

Т = 2 9 0 °

К ,

3 и 4

— Т = 8 0 " К . г п

4 — о с в е щ е н и е непрерываемым

светом;

1 и

з

о с в е щ е н и е

п р я м о у г о л ь н ы м и

и м п у л ь с а м п

света с

частотой

 

 

 

 

 

п о в т о р е ш ш ~ 2 0 0

гц.

 

 

 

Ферми). Генерация неосновных носителей, продолжаю­ щаяся, как видно из спектров фото-э.д.с, вплоть до энер­ гий вообще говоря, может происходить либо путем одноступенчатых оптических переходов, либо путем двухступенчатых термооптпческих нлн двойных оптиче­ ских переходов. В случае достаточно глубоких примесных уровней вкладом термооптическпх переходов прп ипзкпх температурах можно пренебречь.

27*

420

Э Л Е К Т Р О Н Н О - Д Ы Р О Ч Н Ы Е П Е Р Е Х О Д Ы

[ГЛ. 8

 

Еслп существенны двойные оптические переходы в ква­

зинейтральных областях р—7г-перехода,

стационарный

ток должен квадратично меняться с изменением интенсив­ ности света. Однако экспериментальная зависимость ста­

ционарного

тока от интенсивности

освещения в

области

e g > /гсо >

г8/2 имела вид 1 ф с т ^

iV?, где 1 <^ у

^ 0,83.

Одноступенчатые оптические переходы дают неосновные носнтелп лпшь в том случае, если глубокие примесные уровни, лежащие в полупроводнике гг-тппа, пусты, а в р-полупроводнпке заняты электропамп. В спльно легированных квазпнейтральиых областях р—?г-порехода подобные переходы невозможны. Указанные соображения позволяют сделать вывод, что генерация электронов и дырок происходит в переходном слое р—?г-перехода. В этой области, в которой существует сильпое электри­ ческое поле, разделяющее носители тока разного знака, двойные оптические переходы могут давать стационарный фототок, зависящий от интенсивности света линейно [239].

8.3.8. Фотоэлектрическое преобразование

энергии

в р—/г-переходах. Фотоэлектрические приборы с

р—п-пе-

реходом могут быть подразделены на два класса: 1) преоб­ разователи энергии излучения (электромагнитного или корпускулярного) в электрическую; 2) преобразователи

световых ( П Л И корпускулярных) сигналов

в электриче­

ские.

 

К настоящему времени из арсенида галлия

изготовлены

приборы как первой (солнечные элементы), так и второй групп (детекторы видимого и инфракрасного света, рентге­ новского и у-излучений, ионизующих частиц). Приборы первого класса н большинство приборов второго класса основаны на использовании явления вентильного фото­ эффекта в р—?г-переходах и часто могут различаться только некоторыми деталями устройства и схемой при­ менения.

В соответствии с приведенным в этой главе общим уравнением фотодиода (8.16) эквивалентная схема идеаль­ ного фотоэлемента, описывающая его работу при постоян­ ном освещении, может быть представлена в виде параллельного соединения генератора тока/ф и нефотоактивиого р—тг-перехода, имеющего вольтампериую характери­

стику I=IT (U), совпадающую с

темповой

характеристи­

кой фотоэлемента. При работе в

условиях

быстроменяю-

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ