Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Арсенид галлия. Получение, свойства и применение

.pdf
Скачиваний:
103
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
18.36 Mб
Скачать

8.3]

Ф О Т О Э Л Е К Т Р И Ч Е С К ИЕ СВОЙСТВА

401

8.3.Фотоэлектрические свойства/?—л-переходов

варсениде галлия

['8.3.1. Основные закономерности вентильного фото­ эффекта в р—-я-переходах. 4*Как известно [220, М38], при освещении р—га-перехода светом из основной полосы поглощения ток, текущий во внешней цепи, в простейшем случае описывается выражением

1 = 1*(и)—1ф,

(8.16)

где — фототок, численно равный произведению заряда электрона на число генерируемых светом неравновесных электронно-дырочных пар, подходящих в единицу времени к области потенциального барьера, U — внешняя разность потенциалов на р—га-переходе, /т (£ /) — темновой ток, текущий через неосвещаемый рга-переход при напря­ жении U.

Это выражение справедливо как при включении осве­

щаемого р—га-перехода (фотоэлемента) в цепь,

содержа­

щую только сопротивление г (вентильный режим,

U=I-r),

так и в случае, если внешняя цепь

содержит

источник

напряжения UBB (фотодиодный режим, U = £ / в н + / • г) и озна­

чает, что ток через р—га-переход при

освещенип

целиком

определяется темновой составляющей тока /Т (С7), не зави­ сящей от освещения, и световой составляющей 1ф, не за­

висящей от напряжения

на

р—га-переходе.

 

Эта закономерность

не

выполняется,

если

параметры

р—га-перехода,

определяющие темновой

ток,

начинают

зависеть от освещения, а параметры, определяющие фототок, зависят от напряжения на р—га-переходе. Подобные явления, вообще говоря, могут наступить в следующих случаях: 1) при. высоких освещенностях образца или боль­ ших прямых напряжениях, когда из-за высокого уровня инжекции изменяются времена жизни неосновных носи­ телей тока; 2) при обратных напряжениях, близких к пробивному, когда уже нельзя пренебречь умножением фототока вследствие ударной ионизации; 3) если измене­ ние ширины слоя объемного заряда при изменении напря­ жения сравнимо или больше величины диффузионных длин неосновных носителей тока; в этом случае изменение

6 Арсенид галлия

402

Э Л Е К Т Р О Н Н О - Д Ы Р О Ч Н Ь Ш П Е Р Е Х О Д Ы

[ГЛ. 8

ширины объемного заряда сильно влияет на эффектив­ ность разделения неравновесных пар и изменяет фототок; 4) при освещении образца светом из области вблизи края основной полосы поглощения кристалла, когда обратное напряжение, изменяя электрическое по­ ле в слое объемного заряда, меняет коэффициент фо­ тоактивного поглощения света (например, из-за эффекта Келдыша—Франца).

Д л я обычных р—7г-переходов в GaAs, используемых в качестве фотоэлементов (ширина слоя объемного заряда прп нулевом смещении не превосходит 10_ Б см), выраже­ ние (8.16) выполняется достаточно точно для нагрузочного участка вольтамперной характеристики вплоть до освещенностей, в несколько раз превышающих интенсивность солнечного света на уровне моря [151, 152, 155, 95]. Это позволяет пользоваться общей теорией фотоэлектри­ ческих преобразователей энергии с р—га-переходом, в ос­ нову которой положено выражение (8.16), содержащее единственную «световую» величину — фототок короткого замыкания /ф(см. 8.3.8).

Эта величина, как з^же упоминалось, пропорциональна числу неосновных неравновесных носителей, достигающих р—тг-перехода в единицу времени и, следовательно, при одном и том же спектральном составе света должна быть пропорциональна интенсивности освещения. Коэффици­ ент пропорциональности или фототок короткого замыка­ ния, приходящийся на единицу падающего светового потока, называется фоточувствнтельностыо р7г-перехода. Пропорциональность нарушается только тогда, когда параметры р—n-перехода, определяющие фототок, начи­

нают

зависеть

от концентрации неравновесных

носителей

тока.

Дл я

типичных образцов GaAs-фотоэлементов

с р—/г-переходом фототок 1ф, вызванный

облучением

светом из основной полосы поглощения кристалла, пропор­ ционален интенсивности освещения по крайней мере вплоть до уровней, в несколько раз превышающих солнеч­ ную освещенность на земной поверхности. Отступления от

этой пропорциональности,

обнаруженные

в образцах

с высокоомной

освещаемой

поверхностью

(концентрация

дырок ниже 101 8

см ~ 3 ) [221], связаны с зависимостью ско­

рости поверхностной рекомбинации у освещаемой поверх­ ности таких образцов от интенсивности освещения. На по-

8.3]

Ф О Т О Э Л Е К Т Р И Ч Е С К И Е С В О Й С Т В А

403

верхности

p-GaAs существует потенциальный

барьер,

приводящий к образованию обедненного основными носи­ телями слоя (изгиб энергетических зон вниз) [221]. Генери­ руемые светом носители тока частично разделяются этим барьером, что, как обычно, приводит к уменьшению его высоты. Это вызывает уменьшение скорости поверхностной рекомбинации [222] и ускоренный рост фототока с интен­ сивностью освещения. Подобные эффекты наблюдались и в кремниевых р—«-переходах [223]. Отсутствие нелиней­ ного фотоэффекта в образцах с высоколегированной осве­ щаемой поверхностью можно связать с большей концентра­ цией акцепторов у поверхности и с меньшей шириной по­ верхностного барьера.

Пропорциональность фототока короткого замыкания интенсивности освещения и независимость параметров материала р7г-перехода от концентрации неравновесных носителей позволяет определять величину фототока при любом спектральном составе освещения простым суммиро­ ванием фототоков от отдельных участков спектра, опреде­ ляемых на основе спектрального распределения фоточув­ ствительности р—«-перехода к монохроматическому свету.

8.3.2. Теоретическое выражение для чувствительности

р —п-перехода

к монохроматическому

свету. Чувстви­

тельность р—«-перехода

к монохроматическому

свету,

очевидно, должна быть пропорциональна

среднему

числу

электронно-дырочных пар, генерируемых на один погло­ щенный фотон, т. е. квантовому выходу внутреннего фотоэффекта. Эта величина должна также зависеть от скорости поверхностной рекомбинации, коэффициентов диффузии и диффузионных длин неосновных носителей тока, поскольку рекомбинация неосновных носителей у поверхности и в толще материала уменьшает число электронно-дырочных пар, подходящих к р—«-переходу. С этим же связана зависимость фоточувствительности от

расстояния р—«-перехода

от освещаемой поверхности,

направления падения и коэффициента поглощения света,

так как эти параметры

определяют путь, который

необходимо

пройти неравновесным электронно-дырочным

парам

до

р—«-перехода,

и эффективность диффузии

носителей

в других направлениях. Наконец, если в

толще

р-

или «-областей

существует электрическое

26*

404

Э Л Е К Т Р О Н Н О - Д Ы Р О Ч Н Ы Е

П Е Р Е Х О Д Ы

[ Г Л . . 8

поле,

то и оно

должно влиять

на движение

носите­

лей к

р7г-переходу.

р—«-перехода

 

Теоретически

чувствительность

к моно­

хроматическому свету определяется из решения стацио­ нарного уравнения непрерывности тока неосновных но­ сителей для различных областей р—n-перехода при соот­ ветствующих граничных условиях и функции генерации,

отвечающей монохроматическому

освещению.

Часто для сравиенпя с теорией

и анализа спектраль­

ных характеристик р—«-переходов

вместо фототока, при­

ходящегося на единицу падающего светового потока, удобно пользоваться фототоком в электронах в секунду, рассчитанным на одпн квант света, прошедшего в мате­ риал р—«-перехода. Эта величина Q определяется выра­ жением

Q = / Ф / № , (1 - Л)Ь

где /ф— плотность фототока; N$—плотность падающегопотока фотонов; R — коэффициент отражения, и Q может быть названа эффективным квантовым выходом фотоэле­ мента с р—«-переходом. Эта величина всегда меньше квантового выхода внутреннего фотоэффекта из-за потерь неравновесных носителей вследствие рекомбинации.

Если предполагать, что 1) р—«-переход плоский, свет падает на р-область перпендикулярно плоскости перехода, освещая достаточно большую площадь, так что можно пренебречь краевыми эффектами и решать одномерную- задачу;-2) р—«-переход оптически однороден, параметры п- и р-областей не зависят от координаты; 3) в передней

освещаемой области

р—?г-перехода из-за

градиента

кон­

центрации примеси

существует постоянное

электрическое

поле Ev (в частном случае £ ^ = 0 ) ,

но выполняется условие

квазинейтральности

^ < ^ - ^ ~ \

толщина

базовой

обла­

сти р—«-перехода велика по сравнению с

диффузионной

длиной неосновных носителей тока в этой области и эффек­ тивной глубиной проникновения света; 5) толщина слоя объемного заряда р—«-перехода мала по сравнению- с толщиной переднего слоя и диффузионными длинами неосновных носителей, так что генерацией носителей в ней светом можно пренебречь; то выражение для эффективного-

8.3]

Ф О Т О Э Л Е К Т Р И Ч Е С К И Е С В О Й С Т В А

405

квантового выхода фотоэлемента имеет вид [224]

( KL.

 

X ехр(— Kl)

+

{ans-

; +

кьпГ^Ь^1

+

 

 

 

 

 

 

KLpexV(-Kl)

 

(8.17)

 

 

 

 

 

 

+

KL„ + 1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Здесь

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ЕЪ

=•

o , p m

n ;

б/

^ s h S H + c b S u ,

 

 

 

 

2кТ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

•El

ch

+ shgti,

^ = 2T»

 

 

 

 

VE'Z

+

 

 

 

 

I

 

 

 

 

 

flns =

S„L

» Си =

£/ ]/"-Sp" +

1,

 

 

 

 

 

 

где Z — толщина

переднего р-слоя

p—тг-перехода;

D n и

L

n — коэффициент диффузии и диффузионная длина

элект­

ронов в

р-области;

Ьр — диффузионная

длина

дырок

в

n-области;

Sn

— эффективная скорость

поверхностной

рекомбинации на освещаемой поверхности. Электрическое поле, способствующее движению электронов в р-области к р—re-переходу, считается отрицательным.

Если учитывать поглощение света в слое объемного заряда, в котором благодаря сильному электрическому полю электронно-дырочные пары полностью разделяются, фоточувствительность будет определяться следующим вы­ ражением:

0=

^

Е; - кьп -

УЕР +1 j^j х

КЧ<-2Е;КЬп-1

X ехр ( -

Kl) + [аш -

2Е*Р

+

КЬп)

 

+

?KLp

Kl

 

\ K w

(Х) dx +

KLp + l ехр

+ ехр ( - Kl) • j ?,WKW (x) exp - J Kw (y) dy dx, (8.18)

406

Э Л Е К Т Р О Г Ш О - Д Ы Р О Ч Н Ы Е П Е Р Е Х О Д Ы

[ГЛ. 8

где Kw

и |3w — коэффициент поглощения и

квантовый

выход внутреннего фотоэффекта в слое объемного заряда,

которые

могут

отличаться от соответствующих величин

в нейтральных

областях

и меняться с координатой; w —

ширина

слоя объемного

заряда.

Последний и предпоследний члены в (8.18) представ­ ляют собой соответственно фототок, возникающий из-за поглощения света в слое объемного заряда, и фототок из-за поглощения света в базовом га-слое, который по

сравнению с соответствующим членом в

(8.17) уменьшен

в ехр

§KW (х) dx

раз из-за поглощения

света в слое объ-

 

.6

 

 

емного заряда.

 

 

8.3.3. Спектры фоточувствительности в области энер­

гий

фотонов Лоо

2eg . Спектральные

характеристики

р—га-переходов в GaAs в области основной полосы поглоще­ ния приводятся в ряде работ [152, 95, 96, 81, 13, 14, 225— 229]. В большинстве работ р—га-переход освещался со стороны р-области, полученной в результате диффузии.

Типичное

спектральное

распределение фоточувствитель­

ности для одного из таких образцов с толщиной

переднего

слоя

- o l

мкм [13] представлено на рис. 8.31. Как пока­

зываютt

оценки [13], в зависимости от режимов изготовле­

ния таких р—га-переходов

среднее равновесное

электри­

ческое

поле в р -слое Ev

из-за градиента концентрации

примеси может лежать в пределах 0—103 в/см. Согласно

теоретическим расчетам [224] поле Ер£ы№3

в/см при

Z ? » L n « d O - 4 см может существенно влиять на

эффектив­

ность разделения неравновесных пар, генерируемых у ос­ вещаемой поверхности.

Детальное

сопоставление спектральных характеристик

р—«-переходов

в GaAs с теорией показало, что в интервале

температур 78—430 °К спектральное распределение фото­ чувствительности в области энергий фотонов 1,6—2,7 эв большинства образцов может быть достаточно точно ап­ проксимировано формулой (8.17) [13]. При этом толщина освещаемой р-области определялась независимыми изме­ рениями, среднее электрическое поле оценивалось по дан­

ным

о концентрации носителей на

поверхности образца

и у

границы объемного заряда, а

величины L n , L p и

DJSn

подбирались, исходя из условия наилучшего соот-

8,3]

Ф О Т О Э Л Е К Т Р И Ч Е С К И Е С В О Й С Т В А

407

ветствия

формулы (8.17) и экспериментальной

кривой

в области энергий фотонов 1,6—2,7 эв. Квантовый выход внутреннего фотоэффекта; В принимался равным 1, так как, с одной стороны, энергия фотона недостаточна для создания носителя тока, способного ударно ионизовать,

QV-R)

,78'К

''у 226 (,327

\f t 1

ю-'

Ч

1 с \

 

 

 

1,8

 

8,2 •

2,6

3.0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ьсо.эв

 

Рис.

8.31. Спектральное

распределение фоточувствительностп

р—/г-перехода

в GaAs

с

толщиной

передней

области —«1лмйм.

а

с

другой

стороны,

в

области

/газ ^>

коэффициент

собственного

поглощения

в арсениде

галлия, связанный

с генерацией

электронно-дырочных пар с 6 = 1 , превышает

10й

см~1 и значительно превосходит коэффициент поглоще­

ния из-за нефотоактивных механизмов. Слой объемного

заряда исследованных

образцов при нулевом смещении

имел ширину менее Ю - 5

см и при Нсо 1,6 эв существенно

не влиял на разделение электронно-дырочных пар.

При комнатной температуре для ряда р—п-переходов

с толщиной переднего слоя 0,2—2 мкм, полученных диф­

фузией цинка в арсенид галлия с концентрацией

электро­

нов г о 10 " см~3,

значение

рекомбинационных

парамет­

ров лежали

в следующих

пределах: £ „ = 0 , 4 — 1 , 3 мкм,

L P = 0 , 1 —1

мкм,

Dn/Sn=0f01—0,2

мкм.

 

408

Э Л Е К Т Р О Н Н О - Д Ы Р О Ч Н Ы Е П Е Р Е Х О Д Ы

[ГЛ . 8

Средние значения диффузионных длин неосновных

носителей тока при комнатной температуре

соответствуют

временам жизни Ю - 8 — Ю - 1 0

сек.

 

 

Диффузионные длины дырок до 3 мкм были получены

для

сравнительно глубоких

р—«-переходов

с освещаемой

«-областью, изготовленных диффузией серы в р-материал [229].

При изменении температуры от 78 до 430° К диффузи­ онные длины неосновных носителей в р- и «-областях увеличиваются в несколько раз.

Некоторое несоответствие формулы (8.17) экспери­ менту в области 1,6—2,7 эв было обнаружено для образцов с высоко-легированной освещаемой поверхностью, которая не травилась после диффузии. Это несоответствие качест­ венно можно связать с наличием у поверхности таких образцов слоя с пониженным временем жизни неосновных носителей [13].

При малых коэффициентах поглощения, когда выпол­

няются

условия

 

 

 

КЬп<^1,

KLv<gl,

К1<*1,

согласно

выражению

(8.17),

фоточувствительность

должна

быть пропорциональна

коэффициенту фотоак­

тивного поглощения. Коэффициент пропорциональнос­ ти зависит от параметров р—«-перехода и характери­ зует размеры эффективной области, откуда носители, обра­ зованные светом, достигают р—«-перехода. Для типичных фотоэлементов на основе р—«-переходов в арсениде галлия

п^аЬр^1^Ю~й

см)

эта

пропорциональность

должна

наблюдаться при i f ^

103

см~г. Поскольку температурная

зависимость

рекомбинационных постоянных

р—«-перехо­

дов не

слишком сильна,

температурный сдвиг длинновол­

нового

края

фотоэффекта

в

р—«-переходах

в

основном

определяется сдвигом края полосы собственного погло­ щения из-за температурного изменения ширины запрещен­ ной зоны и характеризуется приблизительно тем же тем­ пературным коэффициентом. Так, для энергии фотонов, соответствующей чувствительности вдвое меньше макси­ мальной в области температур 100—430° К было найдено, что

(Г) = [Наъ (0) - (4,7 ± 0,2)-*0-4 Г] эв.

8.3]

ФОТО Э Л Е К Т Р И Ч Е С К И Е СБ ОЯ С Т В А

409

Однако точного соответствия между краем

поглощения

исходного

арсенида галлия и фоточувствлтелыюстыо

в указанной области ие наблюдается. Это связано с суще­ ственным изменением края поглощения при введении примесей в процессе создания р—«-перехода. Как известно (см. гл. 3), край основной полосы поглощения в арсениде галлия сильно зависит от концентрации свободных носи­ телей и примесных центров за счет эффекта Мосса—Бур- штейна и появления «хвостов» разрешенных состояний. Кроме того, заметное фотоактивное поглощение в области края основной полосы могут дать и оптические переходы из валентной зоны на свободный уровень мелкого донора в 72.-области пли с занятого уровня мелкого акцептора в зону проводимости. Поскольку концентрация свободных носителей и примесей в р 7г-переходах в GaAs меняется с координатой, возникает оптическая неоднородность образца вблизи края основной полосы поглощения. Эта неоднородность пе позволяет пользоваться для определе­ ния рекомбинациопных постоянных выражением (8.17) в области энергий фотонов 1,3—1,6 эв, поскольку оно справедливо для коэффициента поглощения, не завися­ щего от координаты.

Подробные исследования р—?г-переходов в GaAs [105, 229, 230], изготовленных диффузией цинка в специально нелегированиый материал ?г-тнпа и диффузией серы в мате­ риал р-тнпа, легированный цинком, обнаружили на длин­ новолновом крае фотоэффекта ступеньку. Усредненный коэффициент поглощения света в области ступеньки был ~о(1—2)-10' см—1 и заметио не менялся с изменением тем­ пературы в диапазоне 430—78 °К. На спектре поглощения чистого арсенида галлия подобной ступеньки обнаружено ие было [231], Появление подобной ступеньки на краю фотоэффекта, как показывает анализ экспериментальных данных, вызывается, по-видимому, присутствием примес­ ных уровней. Например, образование светом неосновных свободных носителей и, следовательно, стационарный фотоэффект возможны за счет переходов с заполненного акцепторного уровня в зону проводимости (в квазинейт­ ральной р-области и части слоя объемного заряда). Энер­ гетическое положение ступеньки совпадает с положением пика рекомбинационного излучения при подаче на иссле­ дуемый р—«-переход прямого напряжения.

410

Э Л Е К Т Р О Н Н О - Д Ы Р О Ч Н Ы Е П Е Р Е Х О Д Ы

[ГЛ. 8

8.3.4. Спектры фоточувствнтелыюсти и кваптовый вы­ ход внутреннего фотоэффекта при 7ш ^> 2eg. Теоретиче­ ские расчеты и оценки, сделанные иа основании измерений отражения (см. гл. 3), показывают, что прп увеличении энергии фотонов выше 2,7 эв коэффициент поглощения света должен возрастать. Поэтому, если другие параметры р—«-перехода будут оставаться неизменными, при увели­ чении энергии фотонов следует на основании выражения (8.17) ожидать монотонного падения фотот ка, приходя­ щегося на одпи поглощеппый фотон. При дальнейшем увеличении энергии фотонов, когда будут выполняться условия

 

 

 

 

(8.19)

эффективный

квантовый выход фотоэлсмеита

но

зависит

от коэффициента поглощения

и равен

 

 

 

 

 

 

(8.20)

Однако прп

возрастании

эпергип фотонов

может

произойти: 1) увеличение квантового выхода

внутреннего

фотоэффекта |3, поскольку энергия носителей

тока, обра­

зовавшихся в результате поглощепия фотона, может ока­ заться достаточной для ударной ионизации; 2) изменение подвижности, времепн жизни и диффузионной длины неосновных носителей тока, возбужденных светом, по­ скольку время потери ими избыточной энергии, получен­ ной от фотона, может оказаться сравнимым со временем жизни. Эти факторы могут влиять на вид спектральной характеристики. Рост квантового выхода внутреннего фотоэффекта за счет процессов междузоннои ударпой иони­ зации возможен лишь при йсо ]> 2eg. Хорошее соответ­ ствие выражения (8. 17) при В = 1 и постоянных рекомбипа-

ционных параметрах

р—«.-перехода

экспериментальным

спектральным характеристикам

р—«-переходов в GaAs

в области энергий

фотонов до

2,7 эв показывает, что

рекомбинациопные постоянные, характеризующие неоснов­ ные носители тока, также не изменяются при энергии генерирующих фотонов меньше 2,7 эв.

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ