книги из ГПНТБ / Арсенид галлия. Получение, свойства и применение
.pdf402 |
Э Л Е К Т Р О Н Н О - Д Ы Р О Ч Н Ь Ш П Е Р Е Х О Д Ы |
[ГЛ. 8 |
ширины объемного заряда сильно влияет на эффектив ность разделения неравновесных пар и изменяет фототок; 4) при освещении образца светом из области вблизи края основной полосы поглощения кристалла, когда обратное напряжение, изменяя электрическое по ле в слое объемного заряда, меняет коэффициент фо тоактивного поглощения света (например, из-за эффекта Келдыша—Франца).
Д л я обычных р—7г-переходов в GaAs, используемых в качестве фотоэлементов (ширина слоя объемного заряда прп нулевом смещении не превосходит 10_ Б см), выраже ние (8.16) выполняется достаточно точно для нагрузочного участка вольтамперной характеристики вплоть до освещенностей, в несколько раз превышающих интенсивность солнечного света на уровне моря [151, 152, 155, 95]. Это позволяет пользоваться общей теорией фотоэлектри ческих преобразователей энергии с р—га-переходом, в ос нову которой положено выражение (8.16), содержащее единственную «световую» величину — фототок короткого замыкания /ф(см. 8.3.8).
Эта величина, как з^же упоминалось, пропорциональна числу неосновных неравновесных носителей, достигающих р—тг-перехода в единицу времени и, следовательно, при одном и том же спектральном составе света должна быть пропорциональна интенсивности освещения. Коэффици ент пропорциональности или фототок короткого замыка ния, приходящийся на единицу падающего светового потока, называется фоточувствнтельностыо р—7г-перехода. Пропорциональность нарушается только тогда, когда параметры р—n-перехода, определяющие фототок, начи
нают |
зависеть |
от концентрации неравновесных |
носителей |
тока. |
Дл я |
типичных образцов GaAs-фотоэлементов |
|
с р—/г-переходом фототок 1ф, вызванный |
облучением |
||
светом из основной полосы поглощения кристалла, пропор ционален интенсивности освещения по крайней мере вплоть до уровней, в несколько раз превышающих солнеч ную освещенность на земной поверхности. Отступления от
этой пропорциональности, |
обнаруженные |
в образцах |
|
с высокоомной |
освещаемой |
поверхностью |
(концентрация |
дырок ниже 101 8 |
см ~ 3 ) [221], связаны с зависимостью ско |
||
рости поверхностной рекомбинации у освещаемой поверх ности таких образцов от интенсивности освещения. На по-
404 |
Э Л Е К Т Р О Н Н О - Д Ы Р О Ч Н Ы Е |
П Е Р Е Х О Д Ы |
[ Г Л . . 8 |
|
поле, |
то и оно |
должно влиять |
на движение |
носите |
лей к |
р—7г-переходу. |
р—«-перехода |
|
|
Теоретически |
чувствительность |
к моно |
||
хроматическому свету определяется из решения стацио нарного уравнения непрерывности тока неосновных но сителей для различных областей р—n-перехода при соот ветствующих граничных условиях и функции генерации,
отвечающей монохроматическому |
освещению. |
Часто для сравиенпя с теорией |
и анализа спектраль |
ных характеристик р—«-переходов |
вместо фототока, при |
ходящегося на единицу падающего светового потока, удобно пользоваться фототоком в электронах в секунду, рассчитанным на одпн квант света, прошедшего в мате риал р—«-перехода. Эта величина Q определяется выра жением
Q = / Ф / № , (1 - Л)Ь
где /ф— плотность фототока; N$—плотность падающегопотока фотонов; R — коэффициент отражения, и Q может быть названа эффективным квантовым выходом фотоэле мента с р—«-переходом. Эта величина всегда меньше квантового выхода внутреннего фотоэффекта из-за потерь неравновесных носителей вследствие рекомбинации.
Если предполагать, что 1) р—«-переход плоский, свет падает на р-область перпендикулярно плоскости перехода, освещая достаточно большую площадь, так что можно пренебречь краевыми эффектами и решать одномерную- задачу;-2) р—«-переход оптически однороден, параметры п- и р-областей не зависят от координаты; 3) в передней
освещаемой области |
р—?г-перехода из-за |
градиента |
кон |
|
центрации примеси |
существует постоянное |
электрическое |
||
поле Ev (в частном случае £ ^ = 0 ) , |
но выполняется условие |
|||
квазинейтральности |
^ < ^ - ^ ~ \ |
толщина |
базовой |
обла |
сти р—«-перехода велика по сравнению с |
диффузионной |
|||
длиной неосновных носителей тока в этой области и эффек тивной глубиной проникновения света; 5) толщина слоя объемного заряда р—«-перехода мала по сравнению- с толщиной переднего слоя и диффузионными длинами неосновных носителей, так что генерацией носителей в ней светом можно пренебречь; то выражение для эффективного-
406 |
Э Л Е К Т Р О Г Ш О - Д Ы Р О Ч Н Ы Е П Е Р Е Х О Д Ы |
[ГЛ. 8 |
где Kw |
и |3w — коэффициент поглощения и |
квантовый |
выход внутреннего фотоэффекта в слое объемного заряда,
которые |
могут |
отличаться от соответствующих величин |
|
в нейтральных |
областях |
и меняться с координатой; w — |
|
ширина |
слоя объемного |
заряда. |
|
Последний и предпоследний члены в (8.18) представ ляют собой соответственно фототок, возникающий из-за поглощения света в слое объемного заряда, и фототок из-за поглощения света в базовом га-слое, который по
сравнению с соответствующим членом в |
(8.17) уменьшен |
||
в ехр |
§KW (х) dx |
раз из-за поглощения |
света в слое объ- |
|
.6 |
|
|
емного заряда. |
|
|
|
8.3.3. Спектры фоточувствительности в области энер |
|||
гий |
фотонов Лоо |
2eg . Спектральные |
характеристики |
р—га-переходов в GaAs в области основной полосы поглоще ния приводятся в ряде работ [152, 95, 96, 81, 13, 14, 225— 229]. В большинстве работ р—га-переход освещался со стороны р-области, полученной в результате диффузии.
Типичное |
спектральное |
распределение фоточувствитель |
||
ности для одного из таких образцов с толщиной |
переднего |
|||
слоя |
- o l |
мкм [13] представлено на рис. 8.31. Как пока |
||
зываютt |
оценки [13], в зависимости от режимов изготовле |
|||
ния таких р—га-переходов |
среднее равновесное |
электри |
||
ческое |
поле в р -слое Ev |
из-за градиента концентрации |
||
примеси может лежать в пределах 0—103 в/см. Согласно
теоретическим расчетам [224] поле Ер£ы№3 |
в/см при |
Z ? » L n « d O - 4 см может существенно влиять на |
эффектив |
ность разделения неравновесных пар, генерируемых у ос вещаемой поверхности.
Детальное |
сопоставление спектральных характеристик |
р—«-переходов |
в GaAs с теорией показало, что в интервале |
температур 78—430 °К спектральное распределение фото чувствительности в области энергий фотонов 1,6—2,7 эв большинства образцов может быть достаточно точно ап проксимировано формулой (8.17) [13]. При этом толщина освещаемой р-области определялась независимыми изме рениями, среднее электрическое поле оценивалось по дан
ным |
о концентрации носителей на |
поверхности образца |
и у |
границы объемного заряда, а |
величины L n , L p и |
DJSn |
подбирались, исходя из условия наилучшего соот- |
|
8,3] |
Ф О Т О Э Л Е К Т Р И Ч Е С К И Е С В О Й С Т В А |
407 |
ветствия |
формулы (8.17) и экспериментальной |
кривой |
в области энергий фотонов 1,6—2,7 эв. Квантовый выход внутреннего фотоэффекта; В принимался равным 1, так как, с одной стороны, энергия фотона недостаточна для создания носителя тока, способного ударно ионизовать,
QV-R)
,78'К
''у 226 (,327
\f t 1
ю-'
Ч
1 с \
|
|
|
/А |
1,8 |
|
8,2 • |
2,6 |
3.0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Ьсо.эв |
|
Рис. |
8.31. Спектральное |
распределение фоточувствительностп |
|||||||
р—/г-перехода |
в GaAs |
с |
толщиной |
передней |
области —«1лмйм. |
||||
а |
с |
другой |
стороны, |
в |
области |
/газ ^> |
коэффициент |
||
собственного |
поглощения |
в арсениде |
галлия, связанный |
||||||
с генерацией |
электронно-дырочных пар с 6 = 1 , превышает |
||||||||
10й |
см~1 и значительно превосходит коэффициент поглоще |
||||||||
ния из-за нефотоактивных механизмов. Слой объемного
заряда исследованных |
образцов при нулевом смещении |
имел ширину менее Ю - 5 |
см и при Нсо 1,6 эв существенно |
не влиял на разделение электронно-дырочных пар. |
|
При комнатной температуре для ряда р—п-переходов |
|
с толщиной переднего слоя 0,2—2 мкм, полученных диф
фузией цинка в арсенид галлия с концентрацией |
электро |
||||
нов г о 10 " см~3, |
значение |
рекомбинационных |
парамет |
||
ров лежали |
в следующих |
пределах: £ „ = 0 , 4 — 1 , 3 мкм, |
|||
L P = 0 , 1 —1 |
мкм, |
Dn/Sn=0f01—0,2 |
мкм. |
|
|
408 |
Э Л Е К Т Р О Н Н О - Д Ы Р О Ч Н Ы Е П Е Р Е Х О Д Ы |
[ГЛ . 8 |
|
Средние значения диффузионных длин неосновных |
|||
носителей тока при комнатной температуре |
соответствуют |
||
временам жизни Ю - 8 — Ю - 1 0 |
сек. |
|
|
|
Диффузионные длины дырок до 3 мкм были получены |
||
для |
сравнительно глубоких |
р—«-переходов |
с освещаемой |
«-областью, изготовленных диффузией серы в р-материал [229].
При изменении температуры от 78 до 430° К диффузи онные длины неосновных носителей в р- и «-областях увеличиваются в несколько раз.
Некоторое несоответствие формулы (8.17) экспери менту в области 1,6—2,7 эв было обнаружено для образцов с высоко-легированной освещаемой поверхностью, которая не травилась после диффузии. Это несоответствие качест венно можно связать с наличием у поверхности таких образцов слоя с пониженным временем жизни неосновных носителей [13].
При малых коэффициентах поглощения, когда выпол
няются |
условия |
|
|
|
КЬп<^1, |
KLv<gl, |
К1<*1, |
согласно |
выражению |
(8.17), |
фоточувствительность |
должна |
быть пропорциональна |
коэффициенту фотоак |
|
тивного поглощения. Коэффициент пропорциональнос ти зависит от параметров р—«-перехода и характери зует размеры эффективной области, откуда носители, обра зованные светом, достигают р—«-перехода. Для типичных фотоэлементов на основе р—«-переходов в арсениде галлия
(Ьп^аЬр^1^Ю~й |
см) |
эта |
пропорциональность |
должна |
|||
наблюдаться при i f ^ |
103 |
см~г. Поскольку температурная |
|||||
зависимость |
рекомбинационных постоянных |
р—«-перехо |
|||||
дов не |
слишком сильна, |
температурный сдвиг длинновол |
|||||
нового |
края |
фотоэффекта |
в |
р—«-переходах |
в |
основном |
|
определяется сдвигом края полосы собственного погло щения из-за температурного изменения ширины запрещен ной зоны и характеризуется приблизительно тем же тем пературным коэффициентом. Так, для энергии фотонов, соответствующей чувствительности вдвое меньше макси мальной в области температур 100—430° К было найдено, что
(Г) = [Наъ (0) - (4,7 ± 0,2)-*0-4 Г] эв.
8.3] |
ФОТО Э Л Е К Т Р И Ч Е С К И Е СБ ОЯ С Т В А |
409 |
Однако точного соответствия между краем |
поглощения |
|
исходного |
арсенида галлия и фоточувствлтелыюстыо |
|
в указанной области ие наблюдается. Это связано с суще ственным изменением края поглощения при введении примесей в процессе создания р—«-перехода. Как известно (см. гл. 3), край основной полосы поглощения в арсениде галлия сильно зависит от концентрации свободных носи телей и примесных центров за счет эффекта Мосса—Бур- штейна и появления «хвостов» разрешенных состояний. Кроме того, заметное фотоактивное поглощение в области края основной полосы могут дать и оптические переходы из валентной зоны на свободный уровень мелкого донора в 72.-области пли с занятого уровня мелкого акцептора в зону проводимости. Поскольку концентрация свободных носителей и примесей в р —7г-переходах в GaAs меняется с координатой, возникает оптическая неоднородность образца вблизи края основной полосы поглощения. Эта неоднородность пе позволяет пользоваться для определе ния рекомбинациопных постоянных выражением (8.17) в области энергий фотонов 1,3—1,6 эв, поскольку оно справедливо для коэффициента поглощения, не завися щего от координаты.
Подробные исследования р—?г-переходов в GaAs [105, 229, 230], изготовленных диффузией цинка в специально нелегированиый материал ?г-тнпа и диффузией серы в мате риал р-тнпа, легированный цинком, обнаружили на длин новолновом крае фотоэффекта ступеньку. Усредненный коэффициент поглощения света в области ступеньки был ~о(1—2)-10' см—1 и заметио не менялся с изменением тем пературы в диапазоне 430—78 °К. На спектре поглощения чистого арсенида галлия подобной ступеньки обнаружено ие было [231], Появление подобной ступеньки на краю фотоэффекта, как показывает анализ экспериментальных данных, вызывается, по-видимому, присутствием примес ных уровней. Например, образование светом неосновных свободных носителей и, следовательно, стационарный фотоэффект возможны за счет переходов с заполненного акцепторного уровня в зону проводимости (в квазинейт ральной р-области и части слоя объемного заряда). Энер гетическое положение ступеньки совпадает с положением пика рекомбинационного излучения при подаче на иссле дуемый р—«-переход прямого напряжения.
410 |
Э Л Е К Т Р О Н Н О - Д Ы Р О Ч Н Ы Е П Е Р Е Х О Д Ы |
[ГЛ. 8 |
8.3.4. Спектры фоточувствнтелыюсти и кваптовый вы ход внутреннего фотоэффекта при 7ш ^> 2eg. Теоретиче ские расчеты и оценки, сделанные иа основании измерений отражения (см. гл. 3), показывают, что прп увеличении энергии фотонов выше 2,7 эв коэффициент поглощения света должен возрастать. Поэтому, если другие параметры р—«-перехода будут оставаться неизменными, при увели чении энергии фотонов следует на основании выражения (8.17) ожидать монотонного падения фотот ка, приходя щегося на одпи поглощеппый фотон. При дальнейшем увеличении энергии фотонов, когда будут выполняться условия
|
|
|
|
(8.19) |
эффективный |
квантовый выход фотоэлсмеита |
но |
зависит |
|
от коэффициента поглощения |
и равен |
|
|
|
|
|
|
|
(8.20) |
Однако прп |
возрастании |
эпергип фотонов |
может |
|
произойти: 1) увеличение квантового выхода |
внутреннего |
|||
фотоэффекта |3, поскольку энергия носителей |
тока, обра |
|||
зовавшихся в результате поглощепия фотона, может ока заться достаточной для ударной ионизации; 2) изменение подвижности, времепн жизни и диффузионной длины неосновных носителей тока, возбужденных светом, по скольку время потери ими избыточной энергии, получен ной от фотона, может оказаться сравнимым со временем жизни. Эти факторы могут влиять на вид спектральной характеристики. Рост квантового выхода внутреннего фотоэффекта за счет процессов междузоннои ударпой иони зации возможен лишь при йсо ]> 2eg. Хорошее соответ ствие выражения (8. 17) при В = 1 и постоянных рекомбипа-
ционных параметрах |
р—«.-перехода |
экспериментальным |
|
спектральным характеристикам |
р—«-переходов в GaAs |
||
в области энергий |
фотонов до |
2,7 эв показывает, что |
|
рекомбинациопные постоянные, характеризующие неоснов ные носители тока, также не изменяются при энергии генерирующих фотонов меньше 2,7 эв.
