книги из ГПНТБ / Арсенид галлия. Получение, свойства и применение
.pdf8.2] |
Э Я Е К Т Р О Л Ю М И Н Е С Ц Е Н Т Н Ы Е С В О Й С Т В А |
381 |
|||||
ток I-~-Un, |
где «=0,3—0,5 |
(рис. 8.14). При |
более низ |
||||
ких температурах п = |
0,5—0,8 и ток |
больше, чем дает |
|||||
теория |
[156], |
и зависит |
от |
качества |
обработки поверх |
||
ности. |
|
|
|
|
|
|
|
8.2.2. р—й-переходы |
в среднелегированиом |
арсениде |
|||||
галлия. |
Особенностью этих р—«-переходов |
является то, |
|||||
что при относительно малых прямых токах и низких тем
пературах |
наклон характеристики |
lg / = / (U) |
не за |
|||||
висит |
от температуры, |
т. е. |
|
|
|
|||
|
|
|
|
I— е х р V' |
|
|
|
|
где характеристическая |
энергия е = |
const. |
|
|||||
При |
больших |
токах |
и высоких |
температурах, |
однако, |
|||
причем |
параметр |
В в зависимости |
от напряжения |
может |
||||
быть |
равен |
двум, |
полутора и одному, а в некоторых слу |
|||||
чаях |
и |
половине. |
|
|
|
|
|
|
При |
обратных |
напряжениях ток значительно больше, |
||||||
чем дают классические теории Шоклп и Шокли—Нойса— Саа и зависит' от напряжения, сильнее, чем требуют эти теории.
Впервые независимость е от температуры была обна ружена в избыточном токе туннельных диодов [161, 162].
р—«-переходы этой группы являются весьма эффек тивными преобразователями электрического тока в свет.
Стимулированное излучение из р—«-перехода |
впервые |
|
было |
получено на р—«-переходе GaAs [186], и |
впервые |
был |
создан лазер с р—?г-переходом [187]. Исследование |
|
электролюминесценции дало много полезной информацпп
о рекомбинационных |
процессах в GaAs |
р—7г-структурах. |
Электролюминесценция исследовалась |
в ряде работ |
|
(см. например, [163, |
177]). |
|
В спектрах излучения наблюдается полоса с энергией фотонов в максимуме hv =1,508 эв (77° К), hv =1,423 эв (298° К), очень близкой к ширине запрещенной зоны, объясняющаяся рекомбинацией свободного электрона и дыркн [188, 189]. Полоса эта излучается в 7г-области и ее удобно наблюдать в гетеропереходах 7i-GaAs — p-GaP 1190].
382 |
Э Л Е К Т Р О Н Н О - Д Ы Р О Ч Н Ы Е П Е Р Е Х О Д Ы |
[ГЛ. 8 |
Обычно |
преобладает квазимежэонная полоса |
с hv= |
= 1,48 эв при 77° К и /tv=l,36 эв при 295° К (рис. 8.15), объясняющаяся рекомбинацией свободных электронов или электронов, находящихся на мелких донорных уровнях, с дырками, захваченными мелкими акцепторами. Эта полоса преимущественно излучается в р-области, по за метна также и в ?г-областп, если гг-область содержит мел кие акцепторы Zn, Cd, Be и др. Именно эта полоса
hv.oO
Рггс. 8.15. Т п п п ч п ы й спектр злектролюмппссиенппп GaAs п р п 295° К .
используется в полупроводниковых источниках некогерент ного света и в лазерах. Наиболее эффективными полупро водниковыми лампами в настоящее время являются CaAs р—«-структуры, легированные только амфотерной при месью кремнием.
В относительно несовершенных образцах наблюдаются
значительные |
полосы с |
/Yv=l,05 |
эв |
(77е К); 0,97 эв |
|
(295° К) и 1,26 |
эв (77° К), а также |
с |
Av = l,3—1,35 эв |
||
(77° К), которые |
можно |
объяспить рекомбинацией через |
|||
глубокие уровни, |
создаваемые дефектами [12, 191]. |
||||
Легирование кристалла примесями, создающими глу бокие уровни Мн, Fe, Си, Сг и др., приводит к появлению соответствующих длинноволновых полос излучения.
8.2] |
Э Л Е К Т Р О Л Ю М И Н Е С Ц Е Н Т Н Ы Е С В О Й С Т В А |
383 |
|
Кромо этих полос, еще наблюдается перемещающаяся |
|
полоса. Энергия фотонов в ее максимуме зависит от напря жения на потенциальном барьере, hv qU. Эта полоса при увеличении напряжения часто переходит в квазимежзоиную. Однако при низкой температуре удается наблю дать обе полосы раздельно. В сильно легированных р—«-переходах, используемых для изготовления туннель ных диодов, обе полосы паблюдаются раздельно и при комнатной температуре.
Две основные гипотезы были выдвинуты для объясне ния перемещения полос. Во-первых, межзонный или квазимежзонный туннельный эффект в р—/г-переходе с испу сканием фотона 1167]. Во-вторых, заполнение хвостов зон неосновными носителями до квазиуровня Ферми и после дующая рекомбинация их с основными носителями [168, 169, 1711. Хвосты зон — это разрешенные состояния в запрещенной зоне, плотность которых забывает в глубь запрещенной • эоны. Хвосты зоп, как следует из теории [179—1851, возникают при сильном легировании полупро водника. В работах [166, 170] приводится феноменологи ческий расчет тока, обусловленного межзонным туннель ным эффектом с излучением фотона. Как следует пз расче та, главный вклад в ток должна давать рекомбинация электронов и дырок, тунпелирующих в слой объемного заряда. Только при больших напряжениях некоторый вклад дает рекомбинация носителей, туннелпрующих сквозь барьер в толщу п- и р-области. Зависимость тока от напряжения имеет вид
где е не зависит от температуры, а для данного полупро водника зависят в основном от ширины потенциального барьера.
В работах [22, 24] приводится расчет тока, вызван ного заполнением хвостов зон. Ток зависит экспоненци ально от напряжения только тогда, когда плотность со стоянии убывает в глубь запрещенной зоны экспоненци ально, тогда как, согласно теории, плотность состояний в хвостах должна убывать по кривой функции ошибок как
384 |
Э Л Е К Т Р О Н Н О - Д Ы Р О Ч Н Ы Е П Е Р Е Х О Д Ы |
[ГЛ. 8 |
где е — эпергня электрона в хвосте, отсчитанпая от |
края |
|
разрешенной |
зоны в иелетированном полупроводнике, |
|
е0 — характеристическая энергия. Одпако надо отметить, что хвосты зон еще изучены теоретически и эксперименталь но недостаточно и возможны другие зависимости плотно сти состояний в хвостах от энергии.
Для межзоттого туннельного эффекта с излучением фотона проделан строгий теоретический расчет [178], дающий такой же характер зависимости тока от напряже ния, как п феноменологический расчет.
Одновременное наличие двух полос и их поремещеппе указывают, что осуществляются оба мохатшзма. Переме щение квазнмежзоняой полосы в этом случае вызвано заполнением хвостов зон. Поремещеппе длппповолновой полосы вызвано туннельным эффектом с излученном фо тона. Когда же наблюдается только одпа полоса и она перемещается, трудно выбрать прпчнпу перемещения. Если перемещение вызвано туннельным эффектом с излу чением фотона, то излучение оказывается поляризован ным [193], так как исходит из слоя объемного заряда, где имеется спльпое электрическое поле [194], а интенсив
ность излучения прп фиксированном hv |
< sg |
падает, |
когда qU > hv [172, 178]. |
|
|
Перемещение, связанное с заполпеппем хвостов зоны |
||
неосновных носителей, паблюдается только |
тогда, |
когда |
в области рекомбинации одновременно присутствуют и доноры и акцепторы [193]. Это указывает на то, что ак цепторы практически не дают хвостов около зоны прово димости, а доноры — около валентной зоны, как и следует
пз теоретических |
соображений [195]. |
||
В р—«-переходах |
GaAs был |
обнаружен еще один |
|
важный механизм |
тока — ударная |
безызлучательпая ре |
|
комбинация электронов и дырок, туппелпрующих в слой объемпого заряда [215, 216].
Этот механизм был привлечен для объяснения умепьшепия общего квантового выхода излучения при пониже
нии напряжения и наличия при низких |
папряжеинях |
п низких температурах квазимежзонного |
излучения, |
интенсивность которого па много порядков превышает ожидаемую для ппжекциоппого тока [1661. Схема меж зонной ударной рекомбинации в слое объемного заряда показана на рис. 8.16.
8.2] |
ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЩЕНТНЫЕ СВОЙСТВА |
385 |
Электроны и дырки за счет туннельного эффекта при сутствуют в слое объемного заряда, создавая электроннодырочное облако. Плотность электронного и дырочного облака можно описать квадратом функции Эйри, если считать электрическое поле однородным:
п (х) ) |
|
ехр| |
|
(8.7) |
|
|
4 |
|
|
|
|
р(х) |
|
exp |
|
(8.8) |
|
|
2mnq |
(UK |
U) |
|
(8.9) |
|
|
|
|
|
|
i P = |
{w — |
x) |
tl2W |
i |
(8.10) |
|
|
|
|
||
Хотя средняя |
плотность |
облака |
практически не зави |
||
сит от времени, вероятность пребывания каждого отдель ного электрона в слое объем ного заряда колеблется с соб
ственной частотой колебаний
электрона
где б п — энергия электрона. Эта частота представляет со
бой частоту актов взаимо действия каждого электрона с электронно-дырочным об
лаком. В результате взаи
модействия электрон может передать другому электрону энергию r^qU и занять место
ДЫР™1' |
|
Рис. 8.16. |
Схема туннельного |
|||
Суммарная энергия элект- |
эффекта |
с |
отдачей |
энергии |
||
ронов и проекция их импуль- |
электрону |
в |
р—л-переходе. |
|||
Са На ПЛОСКОСТЬ, ПврпеНДИКу- |
J y — плотность |
тока, |
обусловлен- |
|||
ЛЯрную электрическому |
ПО- |
ного ударной рекомбинацией. |
||||
лю, сохраняются. Изменяется |
только импульс вдоль элект |
|||||
рического поля за счет |
взаимодействия |
|
электронов с |
|||
электрическим полем. Дл я |
д в у х электронов вероятности |
|||||
остаться в старом состоянии |
и л и перейти в новое |
пропор- |
||||
25 Арсенид галлия |
|
|
|
|
|
|
386 |
|
Э Л Е К Т Р О Н Н О - Д Ы Р О Ч Н Ы Е П Е Р Е Х О Д Ы |
|
|
[ГЛ. |
8 |
|||||
циональны |
плотности старых и |
новых |
состояний |
соот |
|||||||
ветственно. |
Не все электроны могут принимать |
учас |
|||||||||
тие |
в ударной |
рекомбинации, |
а только те, |
для |
кото |
||||||
рых |
имеются |
места |
с подходящим |
импульсом |
в новом |
||||||
состоянии. |
В однородном полупроводнике, |
как |
показа |
||||||||
ли |
Битти и |
Ландсберг [198], |
только |
несколько |
про |
||||||
центов всех электронов может принимать участие |
в |
||||||||||
ударной рекомбинации. В однородном арсениде |
галлия |
||||||||||
межзонная |
ударная |
рекомбинация |
маловероятна, |
так |
|||||||
как для выполнения |
условия |
сохранения |
суммарного |
||||||||
импульса электронов дырка должна иметь довольно
большой импульс и естественно большую |
кинетическую |
|||
энергию. Термических дырок с такой |
энергией |
крайне |
||
мало [198]. В |
электрическом поле |
составляющая им |
||
пульса вдоль поля может меняться, и межзонная |
ударная |
|||
рекомбинация |
становится осзчгцествимой. |
Долю |
элект |
|
ронов, способных участвовать в ударной рекомбинации, обозначим буквой к п .
Наибольшая скорость рекомбинации будет в середпне барьера, где плотности электронного и дырочного облака равны и соответственно примерно равны плотности нового и старого состояний. Здесь для /«„-электронов равноверо
ятно остаться в старом |
состоянии или перейти |
в новое. |
||||
В сторону га-области скорость |
рекомбинации |
спадает, |
||||
так" как уменьшается |
плотность |
новых |
состояний. В сто |
|||
рону р-области скорость рекомбинации |
спадает, |
так как |
||||
уменьшается плотность |
электронного |
облака. |
|
|||
Таким |
образом, |
плотность |
тока, обусловленного |
|||
межзонной |
ударной |
рекомбинацией, |
можно |
выразить |
||
формулой: |
|
|
|
|
|
|
|
/у — VtqLnfa) |
v n j |
|
(8.11) |
||
х0 — координата, где скорость ударной рекомбинации максимальна; L — эффективная ширина области рекомби нации (сумма расстояний, на которых скорость рекомби нации в сторону га- и р-области от точки х0 спадает в е раз):
£ « 2 / . ю / $ / 2 . |
(8.12) |
Д л я межзонной ударной рекомбинации, в которой уча ствуют две дырки и электрон, формула для тока аналогич на, только коэффициент kv имеет другую величину, повидимому меньшую, чем к п , и другую частоту взаимодей-
8.2] |
Э Л Е К Т Р О Л Ю М И Н Е С Ц Е Н Т Н Ы Е С В О Й С Т В А |
387 |
ствия. Обозначим vn fcn 4-vp 7 «p=v/c. Тогда плотность сум марного тока, обусловленного ударной рекомбинацией, равна:
|
7 у ^ |
kvND |
^ |
ехр ( - |
- | - С0а/ |
(8.13) |
|
з, |
w |
(2m„q)':' |
|
|
|
|
|
где Со'3 — - jf - \ |
" / |
{UK-U) |
в |
случае |
резкого р - га - |
||
перехода, |
B = l-f-(7?in //7Zp)^, |
Ы70 — ширина |
потенциального |
||||
барьера при (7=0. Тогда плотность суммарного тока в ин тересующем нас интервале No и w
|
7У ~А:-105 ехр^ |
— £ 0 7 j |
[а - сж -2]. |
|
(8.13а) |
||||||
Рассчитаем также феноменологически ток, вызванный |
|||||||||||
межзонным туннельным эффектом |
с испусканием |
фотона |
|||||||||
|
|
|
/ф |
^ |
q J Ягар da:, |
|
|
(8.14) |
|||
|
|
|
|
|
о |
|
|
|
|
|
|
где В — коэффициент скорости межзонной |
нзлучательной |
||||||||||
рекомбинации. |
В |
однородном |
|
полупроводнике |
5 = |
||||||
= 5 • |
10-8см3/сек. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Поскольку rap мало |
зависит от |
координаты, |
|
||||||||
/ ф « |
д£и;/1а (*0) « |
9 Яи;Л& - щ - ехр ( - |
~ |
^ / |
з ) , |
(8.15) |
|||||
т . е . . |
|
у ф _ ; - 2 . |
|
|
|
|
( 8 |
- 1 5 а у |
|
||
Экспериментальный |
прямой |
ток |
в |
р—га-переходах: |
|||||||
GaAs, |
имеющих |
ширину |
слоя |
объемного |
заряда |
200— |
|||||
о
1000 А, оказывается близким к расчетному для ударной межзонной рекомбинации в слое объемного заряда. На рис. 8.17 показаны расчетные величины этого тока д л я р—га-переходов, исследованных Думиным и Пирсоном
[80].Превышение расчетного тока над экспериментальным
вслучае образца 2, по-видимому, связано с неточностью-
ойределения площади р—/г-перехода, а следовательно, и ширины слоя объемного заряда. Это лишний раз указы вает на трудности исследования туннельных р—га-пере-- ходов, так как в них очень сильно сказываются йеодно^ 5*
388 Э Л Е К Т Р О Н Н О - Д Ы Р О Ч Н Ы Е П Е Р Е Х О Д Ы [ГЛ . 8
родности ширины слоя объемного заряда. Одним из дока
зательств наличия |
межзонной |
ударной |
рекомбинации |
|
в |
р—га-переходах |
GaAs можно |
считать |
возникновение |
в |
них квазимежзонного излучения, интенсивность кото |
|||
рого больше, чем может дать термическая |
инжекция — |
|||
|
/, а/см2 |
|
|
|
10°
ЯГ*
Щ'6
о |
Gfi |
0,8 |
/,г |
|
|
|
и , в |
Рис. 8.17. Экспериментальные |
вольтамперные характеристики [80] |
||
и теоретические (штриховые) для туннельного эффекта с отдачей энергии электрону для р—n-переходов в GaAs при 4,2 °К,-
ток Шокли. Часть электронов высокой энергии, возбуж денных ударной рекомбинацией, может при напряжениях, превышающих половину контактной разности потенци
алов, попадать |
в р-область и в ней рекомбинировать |
с дырками. |
|
Межзонная |
ударная безызлучательная рекомбинация |
и межзонньгй излучательный туннельный эффект действу ют параллельно. Поскольку второй зависит от напряже ния резче первого, то, согласно, формуле (8.15а), кванто вый выход, излучения при малых токах должен быть примерно.'пропорционален току, как и наблюдается на опыте. - •
8.2] |
Э Л Е К Т Р О Л Ю М И Н Е С Ц Е Н Т Н Ы Е С В О Й С Т В А |
389 |
|
Таким |
образом, в р—«-переходах |
с относительно |
|
узким потенциальным барьером проявляются две разно видности межзонного или квазимежзонного туннельного эффекта с отдачей энергии c^qU: туннелирование с излу чением фотопа и туннелирование с отдачей энергии вто рому электрону или дырке. Последний является безызлучательным. Не исключено, что последний в р—re-перехо дах GaAs всегда преобладает над первым. Наличие дополни
тельных |
«горбов» |
иа |
характеристике |
ток—напряжение |
можно |
объяснить туннельным эффектом |
зона—уровень. |
||
Глубокие |
уровни в барьере могут, кроме |
того, создавать |
||
дополнительный |
ток, |
экспоненциально |
зависящий от |
|
напряжения. |
|
|
|
|
При обратных напряжениях до пробоя туннелирование играет главную роль в протекании тока. Обратный ток часто оказывается близок к ожидаемому для прямого туннелирования зопа—зона [80], а в некоторых образцах, отличающихся повышенной плотностью обратного тока, погвидимому, происходит туннелирование через глубокие уровни.
Именно диффузионный ток может быть наиболее полно преобразован в свет. Поэтому для полупроводниковых ламп используются р—«-структуры с относительно широ ким потенциальным барьером, чтобы исключить туннели рование. Рекомбинация через глубокие уровни неконтро лируемых примесей и дефектов сказывается только при малых токах. При больших токах эти уровни насы щаются [211].
К а к статические, так и релаксационные характери стики полупроводниковых ламп не описываются в пол ной мере теорией Шокли или Шокли—Нойса—Саа даже при инжекционном механизме переноса носителей через потенциальный барьер. Коэффициент В при экспоненци альной зависимости плотности тока от напряжения на барьере типа
/~ехр(?/7/В/сГ)
отличается от 1 или 2, а время релаксации импульсов света зависит от напряжения (рис. 8.18). Наблюдающиеся на опыте значения В около 1,5 и 0,6 (рис. 8.19) не удается объяснить в рамках этих теорий. Однако при наличии ударной рекомбинации, осуществляющейся через примес ные уровни, такие значения |3 возможны.
390 |
|
|
Э Л Е К Т Р О Н Н О - Д Ы Р О Ч Н Ы Е |
П Е Р Е Х О Д Ы |
|
[ГЛ . 8 |
|||||||
Можно полагать, что главную роль в рекомбинации |
|||||||||||||
играют |
примесные центры, |
поскольку |
экстраполяция |
||||||||||
зависимости напряжения на барьере при |
фиксированном |
||||||||||||
|
|
|
|
|
токе |
от температуры к нулю тем |
|||||||
|
|
|
|
|
ператур не дает &g/q |
(рис. 8.19, |
|||||||
|
|
|
|
173"УУ |
8.20). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Анализ обоблгенного |
выраже |
||||||||
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
ния |
для |
рекомбинации |
через |
|||||
|
|
|
|
|
примесный |
уровень показал, что |
|||||||
|
|
|
|
|
рекомбинация |
в |
слое |
объемного |
|||||
|
|
|
V |
|
заряда может вызвать ток с раз |
||||||||
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
личными р=1/2, |
2/3,3/4, |
3/2, |
2, |
|||||
|
|
|
|
|
3 или со в зависимости от того, |
||||||||
1,2 |
|
|
1,3 |
1,4 |
какие |
коэффициенты |
рекомбина |
||||||
|
|
|
. |
и , в |
ции оказываются |
преобладающи |
|||||||
|
|
|
|
|
|||||||||
Рис. |
8.18. |
Зависимость |
ми. Дл я рекомбинации в толще |
||||||||||
времени, в |
течение ко |
возможны |
[5=2/3, 1, 2 |
в |
случае |
||||||||
торого |
импульс |
излу |
резкого р—тг-перехода. |
Близкие к |
|||||||||
чения |
спадает в |
е раз |
этим |
значения |
(3 получаются |
в |
|||||||
после |
прекращения им |
||||||||||||
плавном р—га-переходе, |
в котором |
||||||||||||
пульса |
тока, от напря |
||||||||||||
жения |
на |
потенциаль |
концентрация |
рекомбинационных |
|||||||||
ном барьере для р—п- |
центров и |
концентрация |
приме |
||||||||||
переходя GaAs, |
легиро |
сей не меняется существенно на |
|||||||||||
ванного |
Si, при темпера |
||||||||||||
|
туре 173 °К. |
расстоянии, равном глубине ин- |
|||||||||||
жекции.
Ростом концентрации свободных дырок и соответствуюгцим ускорениям ударной рекомбинации при повышении температуры объясняется в работах [204, 213] уменьше ние квантового выхода излучения при повышении темпе
ратуры. |
р—га-структур |
Заметим, что разброс характеристик |
GaAs весьма значителен даже среди образцов, изготов ленных одинаковым образом из одного кристалла. В ос нове этого разброса, по-видимому, лежит преимуществен ное проявление тех или иных конкурирующих рекомбина ционных процессов в зависимости от местных условий в кристалле. Количественные величины коэффициентов рекомбинации в арсениде галлия пока не определены.
8.2.3. Туннельные р— «-переходы. Отличительной осо бенностью этих р—га-переходов является то, что их вольтамперная характеристика имеет iV-образную форму. Возможность туннельного эффекта в р—га-переходах была
